저전압 초소형 전자 칼럼에서 이중 편향기의 효과 (Double-deflector effects on a low voltage microcolumn)

서지정보

· 발행기관 : 한국산학기술학회
· 수록지 정보 : 한국산학기술학회논문지 / 10권 / 10호 / 2628 ~ 2633페이지
· 저자명 : 장원권

초록

초소형 전자 칼럼에서 이중 편향기는 칼럼의 왜곡 수차의 최소화 및 FOV(field of view)의 극대화 효과를 위하여 사용하고 있다. 이러한 효과를 관찰하기 위하여 이중 편향기에 서로 반대로 전압을 인가한 상태에서 FOV와 주사 폭의 변화에 대한 실험을 진행하였으며, 최대 FOV와 주사 폭에 대한 적정 조건을 얻기 위한 각 편향기의 인가 전압과 전자 방출 팁 전압의 관계를 조사하였다. 또한 전자 방출 팁 전압에 의한 줌 기능의 선형성과 줌 한계를 측정하여 분석하였다.

영어초록

In a double deflector employed microcolumn, the variation of FOV and scan field width was investigated in mode of conversely biased double deflector to eliminate barrel distortion caused by aberration. The relationship between biased voltage of each deflector and electron emission tip voltage was studied for the maximum FOV and scan field width. The limitation and the linearity of zooming current image are also estimated as a function of electron emission tip voltage.

참고자료

· 없음