반도체공정에서 배출되는 불소계 온난화 기체의 촉매분해 기술 (Catalytic decomposition process for fluorine based global warming gases exhausted in semiconductor production process)

서지정보

· 발행기관 : 한국에너지기후변화학회
· 수록지 정보 : 에너지기후변화학회지 / 10권 / 1호 / 39 ~ 51페이지
· 저자명 : 이진욱, 박노국, 이태진, 장원철

초록

본 논문에서는 반도체 공정에서 배출되는 불소계 화합물(SF6, NF3 등)의지구 온난화에 미치는 영향을 소개하고 이들 물질들을 처리하기 위한 여러 가지 방법들중에서 촉매분해 반응에서 발생되는 문제점과 해결방안 등을 제안하였다. 촉매분해반응에의한 불소계화합물의 처리는 가수분해가 가장 적합한 반응이라 할 수 있다. 그럼에도불구하고 가수분해과정에서 불소와 촉매의 금속성분이 결합한 금속불화물의 형성으로인한 촉매의 비활성화가 초래되기 때문에 이를 억제하기 위한 방법들이 요구된다. 금속불화물의 형성을 억제하는 방법으로 조촉매를 적용한 알루미나 기반의 촉매가 개발되고 있으며, 운전조건에 따른 조촉매의 함량과 종류가 선택적으로 이용되어야 한다. 궁극적인 촉매비활성화를 억제하는 방안으로 고체 산 특성을 유지하면서 불소와 결합하지 않거나 불소와의 반응성이 매우 낮은 금속산화물을 찾는 것이 기술의 핵심이라 할 수 있다.

영어초록

The grobal warming effects of fluoride-based compounds, such as SF6 and NF3 etc., influenced in the manufacturing process of semi-conductive materials were introduced and the problem of catalytic decomposition process for the fluoride compounds and the solution were suggested in this study. Hydrolysis of fluoride compounds is the suitable reaction for their catalytic decomposition. However, metal-fluoride compounds are formulated by the reaction between metal components contained in solid acid catalyst and fluorine of fluoride compounds and that leads the catalytic deactivation. Therefore, the catalytic arts for prevention of deactivation were demanded. The alumina-based promoted catalysts have been developed and the kind and amount of promoters should be selectively used with the operation condition of catalytic process. Ultimately, the key-technology is to found the non-chemical bondable or the weakly reactive solid acid catalysts with fluorine component.

참고자료

· 없음