DC Sputtering시 진공펌프의 종류서론DC Sputtering시에는 전자들의 이동을 용이 하게 하기 위해서 반드시 진공 상태를 만들어 줘야 하는데 이러한 진공의 정도는 곧 도금층의 밀도와 질을 결정한다. 진공펌프의 방식과 원리는 그전의 실험 수업에서 한번 들은 경험이 있고 이러한 원리를 토대로 하여 종류를 조사하여 보았다.펌프의 종류? 건식 로타리 베인 펌프 (DRY-RUNNING ROTARY VANE PUMP)? 만유식 로타리 베인 펌프 (OIL FLOODED ROTARY VANE PUMP)? 순환 급유식 로타리베인 펌프 (OIL CIRCULATED INJECRED ROTARY VANE PUMP)? 배출 급유식 로타리 베인 펌프 (ONCE -THROUGH OIL INJECTED ROTARY VANE PUMP)? 로타리 피스톤 펌프 (ROTARY PISTON PUMP)? 로타리 기어 펌프 (ROTARY GEAR PUMP)? 피스톤 펌프 (PISTON PUMP)? 다이아후렘펌프 (DIAPHRAM PUMP)? 루츠 펌프 (ROOTS PUMP)? 수봉식 펌프 (LIQUID RING PUMP)? 터보 분자 펌프 (TURBO MOLECULAR PUMP)? 확산 펌프 (DIFFUSION PUMP)? 이젝타펌프 (STEAM EJECTOR/GAS EJECROR)? 흡착 펌프 (ABSORPTION PUMP)? 이 온 펌프 ( ION PUMP)? 게터 펌프 (GETTER PUMP)? 승화펌프 (SUBLIMATION PUMP)? 저온 펌프 (CRYO PUMP)?펌프의 기본 원리이와 같이 진공펌프의 종류가 여러 가지로 구분되고 있는 것은, 각 펌프의 작동 원리가 서로 다르고, 이에 따라 펌프의 최대 진공도 및 쓰이는 용도가 각기 다르기 때문이다.1.로타리 베인 펌프일반적으로 가장 많이 쓰이는 진공펌프로, 기본원리는 옆의 그림과 같다. 그림에서 보면 내부 구조가 로타 베인 및 실린더로 되어 있는데, 로타의 중심과 실린더의 중심은 편심되어 있다.베인은 스프링 또는 원심력에 의해서 실린더 내면에 밀착된 상태로 돌아가게 되는데, 이때 베인과 베인 사이에 공간이 생기게 되고, 이 공간은 로타의 회전에 따라 용적이 달라지게 된다.한쪽, 베인이 흡기부를 지나면서 공간의 용적은 점차 커지게 되고, 다음 베인이 흡기부 끝단을 통과할 때 공간용적은 최대가 된다. 이렇게 하여 흡기부로부터 빨아들인 공기는 다음 단계에서 압축이 되고 이것이 배기부를 지나면서 배출이 되는 것이다.로타리 베인 펌프의 최대 진공도는 1+10Torr정도의 영역에 그치고 있으나, 루츠펌프 및 확산펌프와 연결되어 고진공이 요구되는 공정에도 다양하게 쓰이고 있으므로, 오늘날 산업 전반에 걸쳐 가장 널리 쓰이고 있고 기종이라 할 수 있다.< 그림 1. 로타리 베인 펌프의 구조와 원리 >? ? ? ? a. 확장 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? b. 팽창 ? ? ? ? ? ? ? ? c. 압축 ? ? ? ? ? ? ? ? ? d. 배기① 실린더 (Cyliner) ? ② 로타 (Rotor) ? ③ 베인 (Vane) ? ④ 배기밸브 (Discharge Valve)2.부스터 펌프두개의 리본모양의 회전 로타가 쌍을 이루며 회전함으로써 공기를 함입하여 배기시키는 것이다. 주로 저진공, 중진공 영역에서 많이 쓰이며, 용량이 대용량이므로 다량의 공기를 배기시키는데 유리하다.특히1Torr부터 10Torr 의 영역에서 대용량의 배기능력을 가지고 있으므로, 식품의 동결건조 공정등에서 우수한 성능을 발휘한다. 그러나 배기부가 대기압인 경우 배기 능력을 상실하므로, 로타리 베인 펌프 등 다른 보조펌프와 연결하여 사용되고 있다.< 그림 2. 부스터 펌프의 구조와 원리 >2. 확산 펌프확산펌프는 액체(일반적으로 확산유)를 가열하여 증발시킨 다음, 이를 노즐을 통해 고속으로 분사 시킴으로써, 이때 충돌하는 공기입자를 아래로 끌어 내려 보조펌프(일반적으로 로타리 베인 펌프)를 통해 배출시키는 것이다.이 기종의 펌프들은 대체로 구조가 간단하고 기계적인 운동을 하지 않으므로 사용이 간편하여, 고진공을 얻는데 많이 사용되고 있습니다. 그러나 다른 고진공용 펌프와 마찬가지로 반드시 보조펌프를 써야만 한다.< 그림 3. 확산 펌프의 구조와 원리 >3. 크라이오 펌프
습식 건식 제련의 원리와전반적인 특성서론제련이란, 보통 금속재료를 순수한 형태로 얻는 것을 말한다. 보통 산화물이나 황화물을 제거하는 것을 말하는데 따라서 환원시켜주는 것이 그 목적이다. 건식제련은 보통 적당한 개스를 불어 넣어 주면서, 어떤 온도를 유지함으로서 어떤 금속을 환원시키는 것이고 습식제련은 물을 사용하는 제련법인데, 물에 금속재료를 담그고, 전기를 걸어줌으로써 물속에서 금속재료가 환원되도록 하는 것이다. 물속 금속표면에서 부터 이온상태로 반응이 진행되는 것이 그 특징이다.건식제련건식제련은 광석을 녹여서 필요로 하는 금속을 불순물과 분리하여 제련하는 방법으로 크게 용융제련(熔融製鍊:smelting)과 휘발제련(揮發製鍊:vaporization metallurgy)으로 나눈다.용융제련은 광석에서 얻은 정광(精鑛)·배소광·소결광을 높은 온도의 용광로 안에서 녹여서 제련하는 방법이다.용광로에는 광석 외에도 용융을 쉽게 하기 위하여 용제와 적절한 온도, 환원제, 공기 등을 공급한다. 이 방법으로 필요한 금속을 조금속(粗金屬:crude metal)으로 만들거나, 매트(matte)·스파이스(speiss) 등의 중간 제품으로 농축하여 원래의 광석에 들어 있는 맥석(脈石:무용광물)과 불순물을 슬래그(slag)로 만들어 분리한다.산출물 가운데 슬래그는 폐기하거나 건설 자재 등으로 사용하고, 매트나 스파이스는 필요로 하는 금속을 얻기 위하여 다시 제련한다.용융제련법에는 매트나 스파이스를 만드는 방법과 매트 농축으로 하는 방법 등이 있다. 앞의 것은 황화광(黃化鑛)과 비화광(砒化鑛) 등의 원광석에서 구리(Cu)·니켈(Ni)·코발트(Co)를 제련할 때 사용한다. 뒤의 것은 여러 금속이 들어 있는 황화석 등에 쓰는데, 먼저 다른 금속 화합물 일부를 산화하여 슬래그를 만들고, 얻으려는 금속의 황화물은 남아 있는 다른 금속 황화물과 함께 용융매트를 만들어 슬래그에서 분리한 뒤 매트를 처리하여 조금속을 얻는 방법이다.휘발제련은 증기압이 큰 금속 화합물을 고온 처리하거나 환원하여 금속증기로 만들고 이것을 응축하여, 얻으려는 금속을 고체인 맥석과 분리하는 방법이다. 수은(Hg)·아연(Zn)·카드뮴(Cd) 등을 제련할 때 쓴다.※ 매 트 : 구리 ·니켈 등을 제련할 때 중간생산물로서 생기는 중금속(重金屬)으로, 황화물이 섞여 있는 혼합물. 제련되는 금속에 따라 구리매트 ·니켈매트로 구별한다. 이 밖에 납을 융해 제련할 때도 소량의 납매트가 생긴다. 예를 들면, 구리 제련에서 황동광을 태워 얻은 산화철과 황화제일구리의 혼합물을 반사로(反射爐)에 넣고 가열하면, 산화철은 광석 속에 함유된 이산화규소와 화합하여 규산염이 되어 위로 뜨고, 황화제일구리는 이 과정에서 생긴 산화제일구리와 함께 녹아 밑으로 가라앉는다. 이 밑에 가라앉은 것이 매트이고 위로 뜬 것이 슬래그(slag)이다. 구리나 니켈의 매트는 그 속에 금 ·은이 잘 흡수되므로 귀금속을 부산물로 얻기 위해 중요한 것이다.※ 스파이스 : 염화물 또는 안티모니물이 함유되어있는 혼합물습식 제련습식제련은 광석 중의 목적 금속을 적당한 용매로 용출시켜 용액으로 만든 다음, 화학적 또는 전기화학적 방법으로 금속 또는 금속화합물을 얻어내는 방법을 말한다.건식제련의 하나인 용융제련이 고온의 화학반응에 기초를 두는 것과는 달리, 습식제련에서는 수용액의 화학반응이 주로 이루어진다.광석을 처리할 때 습식제련과 건식제련 중 어느 방법을 택할 것인가는 여러 복잡한 조건들을 고려해야 한다.따라서 다음의 습식제련 특징을 감안하여 선택하는 것이 좋다.① 저품위의 광석, 용융하기 힘든 광석, 분광(粉鑛) 형태의 광석 등은 습식제련으로 하는 것이 용이하고 경제적이다.② 화학적 친화력이 큰 금속일 때에는 습식법으로 중간물질을 만들어, 이로부터 금속을 얻는 방법을 쓰는 것이 좋다.③ 연료의 사용량은 거의 없으나, 침출용액을 만들 때는 특수한 약품이 필요하다.④ 금·은 등은 이에 적합한 침출액이 아니면 용출하지 않으므로, 금 ·은 등의 산화광처리에는 적합하지 않다. 하지만 일반 황화광을 습식법으로 처리할 때에는 침출잔사(殘渣) 속에 금 ·은이 남게 되어 손실이 생기기 때문에 금 ·은을 함유한 황화광의 처리에는 건식법이 적합하다.오늘날 보크사이트로부터 알루미나를 제조할 때, 구리 ·아연 ·니켈 ·크롬 ·몰리브덴 ·텅스텐 등과 그 밖의 희유금속 원소의 제조에 습식제련이 대규모로 실시된다
박막의 두께 측정 방법서문반도체 제조 공정 중 중요한 공정인 두께 측정에 대한 조사를 동하여 반도체 설계 시 표면의 거칠기와 두께 측정이 얼마나 반도체의 성능을 좌우 할 수 있는가에 대하여 조사하고 또한 종류는 어떤 것 들이 있는지에 관하여 조사한다.반도체 박막두께 인증표준물질최근 반도체 소자가 고집적화ㆍ소형화됨에 따라 반도체 소자 제조공정에서 사용되는 박막의 두께가 단일 원자층 수준으로 급격히 얇아지고 있다.반도체 소자는 실리콘 웨이퍼에 얇은 막을 입힌 후 그 표면에 식각이나 산화ㆍ증착ㆍ배선 등 다양한 공정을 거쳐 만들어지는데 이때 각 과정에서 사용되는 박막의 두께가 균일하지 않으면 제대로 된 성능의 반도체 소자를 얻을 수 없게 된다.일례로 단일 품목으로 현재 세계 1위의 시장점유율을 차지하고 있는 우리나라의 반도체 메모리 산업의 경우 국내업체들은 엄격한 품질관리를 통해 생산성을 높여 세계 최고의 수율과 수익을 달성하고 있다.하지만 수율이 1%만 낮아져도 국내 반도체 업계에는 매출액 대비 수천억원의 손실을 가져올 수 있다. 반도체 수율에 직접적인 영향을 주는 요인은 여러 가지가 있지만 반도체 제조공정 중에서의 정확한 박막 두께 측정이 매우 중요한 부분을 차지하고 있다고 할 수 있다.반도체 제조업체에서는 박막 두께의 정확한 측정을 위해 수백대의 박막 두께 계측장비들을 이용하고 있다. 또 이들간의 측정값을 일정하게 유지하기 위해 반도체 공정용 박막두께 인증표준물질을 이용, 계측기기들간의 측정값 교정작업을 한다.만약 부정확한 표준물질로 계측기기를 교정하였을 경우에는 수십만, 수백만개의 반도체 칩을 폐기해야 하는 불상사가 발생할 수도 있다.반도체 공정용으로 사용되는 박막 두께 인증표준물질은 실리콘 웨이퍼 위에 두께가 10~30,000㎚ 정도로 성장된 이산화규소(SiO2) 박막과 10~450㎚ 정도로 성장된 실리콘질화(Si3N4) 박막이 주로 사용된다.여기서 1㎚는 사람의 머리카락 두께의 약 10만분의1 정도며 가장 작은 원소인 수소 원자의 지름 크기에 10배에 해당될 정도로 매우 얇은 두께다. 256Mb D램 이상의 고집적 메모리 생산을 위해서는 두께가 5㎚ 이하인 초미세 산화박막에 대한 인증표준물질이 필요한데 이를 위해 1.5∼5㎚ 두께의 나노 박막 두께 인증표준물질들의 개발을 위한 연구도 전세계적으로 활발히 진행되고 있다.중성자 반사율 측정장치(REF)중성자 반사율 측정장치는 대상물질의 표면에서 반사되는 중성자의 양을 측정함으로써 박막의 두께, 거칠기 등을 포함하는 기본 구조 및 대상 분자의 깊이에 따른 농도를 나노 미터 이내의 정밀도로 측정할 수 있는 장치이다. 이러한 중성자 반사율 측정장치는 현재 하나로의 ST3 수평공에 개발 중에 있으며 유기물질, 무기물질, 자성체, 고분자 및 생체물질 등의 계면의 물리적, 화학적 성질을 연구할 수 있는 중요한 장치이다......장치 측면도Ellipsometry두께 측정법Ellipsometry는 균일한 박막의 두께와 굴절률 (refractive index)을 측정하는 광학적 방법이다. 평면편광 (plane-polarized light)이 표면과 일정한 각도로 조사되었을 때, 편광은 표면에 대한 평행성분 (parallel component)인 p-편광과 수직성분 (perpendicular component)인 s-편광의 두 성분으로 분리될 수 있다. 이러한 두 성분은 표면과 각기 다른 정도로 상호작용을 하므로, 반사 후에는 두 성분의 상과 진폭이 서로 다르게 변하게 된다. 반사 후의 p-편광과 s-편광이 합쳐지면 타원형편광(elliptically polarized light)을 형성하게 된다. 따라서 전체적으로 합쳐진 빛의 파장과 편극이 변하게 되는 것이다. Ellipsometry는 이와 같은 현상을 p-편광과 s-편광의 반사 계수인 γp와 γs사이의 비율을 측정함으로써 표면과 공기 사이의 전이범위 (transition region)의 두께를 측정하는 방법이다. 측정된 γp와 γs 는 아래와 같은 식에 의해서 psi(Ψ) 와 delta(Δ)로 표현된다.ρ= γp/γs = tan(Ψ)eiΔEllipsometry는 편광된 빛을 사용하여 표면이나 박막의 두께 및 굴절률과 소광계수 측정하는데, 반사되어 나오는 편광의 상대적인 상 변화로부터 이러한 값들을 측정하기 때문에 보통의 반사측정 장치 (reflection measure)보다 감도 (sensitivity)가 뛰어나다.모든 파장의 빛을 쪼여 주는 분광학적 측정법 (spectroscopic measurement)과 입사각에 변화를 줄 수 있는 장치의 결합은 박막 표면으로부터 더 많은 데이터를 얻게 해 주고, 박막의 두께나 광학적 상수와 같은 변수를 결정하는데 가장 적합한 spectral acquisition range와 입사각을 사용할 수 있게 된다. 결과적으로 입사각을 변화시킬 수 있는 분광학적 ellipsometer는 다양한 종류의 분자 층을 측정할 수 있다는 장점이 있으므로, 하나의 입사각을 가지고 측정을 하는 ellipsometer나 단파장의 ellipsometer로는 측정할 수 없는 복잡한 구조의 분자 층을 측정하는데 매우 유용하다.
5052,6061 Al합급 마찰교반접합부 조직관찰 및 특성에 미치는 접합인자의(회전속도 및 이동속도) 영향1.실험목적마찰교반접합은 1991년 영국 용접 연구소(TWI)에서 개발되었으며 고상 상태의 접합 공정으로 용융 용접에 비해 더 나은 기계적 특성과 접합부에 결함이 없는 우수한 특성을 가지고 있다. 특히 알루미늄 합금의 경우 마찰교반접합법에 의해 용접부에 충분한 마찰열과 강한 소성 변형이 발생하여 매우 미세한 재결정 조직 및 우수한 기계적 특성을 얻을 수 있다고 알려졌다.이번 실험에서는 이러한 마찰교반접합(FSW)에 의한 5052,6061 Al합금을 접합시켰을때 나타나는 접합부위별(접합부, 열영향부, 모재) 조직의 특성관찰 및 접합인자(회전속도 및 이동속도)에 따른 특성을 관찰해보고 이에 대해 서술해보고자 한다.2.실험배경● 마찰 교반 접합(FSW) 과정Fig.1 은 마찰교반접합 과정을 보여주고 있다.Fig.1 의 A는 맞대기 용접을 하기 위해 용접할 시편(Plate)을 후판(Backing plate)에 올려놓고, 루트 간격이 없이 고정시켜놓는다.그림 B는 돌기부를 부착한 환봉이 회전하면서 천천히 용접면에 접촉한다. 이 돌기부의 길이는 얻은 용접깊이와 비슷하다. 돌기부가 용접면과 접촉을 할 때 접촉접 끝에 마찰열이 발생한다. 돌기부에 기계적인 힘이 작용되면 돌기부의 깊이 만큼 금속을 밖으로 밀어낸다. 즉 돌기부가 시편의 내부로 삽입된다.그림 C는 돌기부가 금속 내부로 삽입되었고 환봉의 어깨부가 시편의 표면과 접촉이 시작된다. 그 후 돌기부와 혼봉의 어깨부에서 마찰열이 발생되고 돌기부에 의해 밖으로 나온 금속을 혼봉의 어깨부가 용접선안으로 밀어 넣는다. 그림 D는 회전하는 돌기부와 환봉의 어깨부에 마찰열이 발생된 후 돌기부에 의해 소성유동이 발생된다.3.선행연구기존 Al합금 구조물의 접합법이 꾸준히 연구 개발 되어지고 있는 상황에서 아크열을 이용한 Fusion Welding 이 많이 이용되었지만, 많은 결함이 발생하고, 좋은 접합부를 억기가 어려워 1991년 영국 TWI(The Welding Institute)에서 Al합금에 대한 신 개념의 용접법인 Friction Stir Welding(FSW)이 개발되었다. 이 신 용접기술은 알루미늄을 접합하는데 매우 획기적인 접합법으로, 툴과 시편의 마찰열원을 이용하여 기존으 용융 접합에 비해 낮은 입열로 접합이 행해지기 때문에 작은 잔류응력,적은 변형 등의 장점을 더욱 부각시킨 신 접합법이다. 또한 알루미늄, 마그네슘 합금 등의 경금속 등에 많은 연구 및 적용사례가 자동차, 선박, 전동차, 비행기 산업 등의 수송 기계산업 분야에서 경량화의 목적으로 상용화되고 있으며 그에 대한 연구결과물들이 보고되고 있는 실정이다. TWI의 최초 특허는 이 기술의 원리와 개념만을 정의한 것으로 구체적인 접합 인자나 기기의 구성, 그리고 각종 응용기술에 대해서는 TWI가 주관한 3차례의 FSW symposium과 경금속 관련 국제회의, 각종 용접학회 발표대회 등을 통해 많은 연구결과들이 발표되고 있으며 국내에서도 기초 연구 결과들이 용접학회를 통해 발표되고 있으며 이 기술의 응용 가능성에 대해 산업계의 관심도 점차 높아지고 있는 실정이다.Fig 2는 일본에서 있어서 laser용접과 마찰용접에 대한 최근 연구동향을 나타내는데 지난 10년간 두 부야의 연구가 매우 급속히 증가하고 있음을 보여준다. 특히,지난 2년간의 연구결과에서는 마찰용접 연구의 40%가 FSW기술 관련된 것으로 향후 이 분야 기술개발의 열기를 가늠할 수 있다.FSW기술은 기본적으로 에너지 절약 및 작업환경의 개선이라는 이점도 있어 향후 자원의 보존 및 지구온난화 문제 등으로 환경규제가 더욱 강화되어 갈 것이라고 본다면 이 기술은 고상접합기술로서 사용이 증대될 가능성이 매우 높은 기술이라고 생각된다. 이러한 상황에서 전 세계적으로 FSW의 적용사례가 증가하고 있으며, 특히 레이저 용접, 점용접, 마찰교반용접, 전자빔 용접 등 다양한 용접이 사용되어 지고 있는 자동차산업은 용접품질 및 비용절감 측면에서 더 많은 연구가 이루어 지고 있는 추세이다.Fig. 2 Recent research trends of laser and friction welding in Japan4.실험조건본 실험에 사용된 재료는 Al5052,Al6061 이며 재료의 성분,특성 및 용도는 Table.1 에 나타내었다.□ 알루미늄 합금(5052,6061)의 성분,특성 및 용도종류주요성분(%)합금특성대표적 용도5052Mg(2.2~2.8),Cr(0.15~0.35)내식성 특히 내해수성이 우수하고 성형성, 용접성 양호선박용 구조 부품재, 연료 Tank, 가정용기구 등6061Mg(0.8~1.2),Si(0.4~0.8), Cu(0.15~0.40), Cr(0.04~0.35)내식성, 용접성이 좋고 중간정도의 강도로 냉각 가공성은 열처리합금으로 서로양호차량, 선박 등 수송구조재, 광학기기등Table.1마찰교반접합에 이용된 장비는 시험편에 충분한 소성 변형을 가할 수 있도록 용접툴을 장착하여 마찰교반접합을 실시하였다. 마찰 교반접합은 툴(tool)의 재료, 회전수, 용접속도, 그리고 툴의 각도 등 많은 변수들이 존재하게 된다. 본 실험에 적용된 조건은조건1.회전속도: 800rpm, 이동속도: 100mm/min,조건2.회전속도: 1200rpm, 이동속도: 100mm/min,(현미경 배율: 각각 250배)5.실험결과□ 시편조직 관찰 결과1)회전속도: 800rpm, 이동속도: 100mm/min열영향부 접합부
1. 작품이름: 파우스트2. 작가: Goethe, Johann Wolfgang von, (1749.8.28~1832.3.22)독일의 시인,극작가,정치가,과학자, 프랑크푸르트암마인에서 출생하여 독일 고전주의의 대표자로서 세계적인 문학가이며 과학자,그리고 바이마르 공국의 재상으로도 활약하였다.법률가인 아버지와 시장의 딸이 어머니 밑에서 유복하게 자랐으며,7년전쟁(1756~1763)때에는 독일이 프랑스에 의해 점령되면서 프랑스의 문화에 접할 기회를 얻고 15세떼에 그레트헨과의 첫사랑을 경험하였다.후에 1765년 라이프치히 대학에 들어가 법률을 공부하면서 자유분방한 생활을 보내고 1768년 각혈하여 고향으로 돌아와 요양 생활을 하였다.1772년 고등법원에 있으면서 샬로테 부프와의 비련을 겪고 젊은 베르테르의 슬픔이란 책을 썼는데,이 책으로서 일약 문단에서 이름을 떨쳤다.그 후 바이마르 공국의 최고 재상이 되어 10년 남짓 국정에 참여하였다.1774년 무렵 부터 샤를로테 폰 슈타인 부인과 12년에 걸친 연애를 하여,부인으로부터 인간적 및 예술적 완성에 큰 영향을 받았으나,1786년에 이탈리아 여행을 떠남으로써 부인과의 애정관계는 끝을 맺었다.그 후 크리스마네 불피우스를 만나 동거하면서(정식 결혼은 1806년)비로소 가정적인 행복을 누리게 되었다.그 후 프랑스 혁명때 프랑스로 종군하여 실러라는 사람을 만나 실러의 깊은 이해에 용기를 얻어 1832년 세상을 떠나기 전까지 파우스트,빌헬름 마이스터의 편력시대,젊은 베르테르의 슬픔등 많은 작품을 남겼다.3. 작품 해설(1) 괴테의 작품 속의 인물은 인간의 끝없는 욕망을 담고 있으나, 보통 민중본이나 통속극에서 결국 파우스트의 영혼을 악마가 지옥으로 앗아가는 것과는 달리 마지막에 천사가 나타나 신에 대한 인간의 진정한 뜻을 말하고 인간의 허상과 욕심을 훈계하는 것으로 한낱 일장춘몽으로 마무리 짓고 계몽 사상을 담고 있다.(2) 단지 끝없는 탐욕과 지식욕만이 아닌 인간의 자아 완성을 위한 끝없는 도전과 신의 경지에 이르려는 욕망을 다루었다. 그것은 현실 속에서 좀더 인간들과 접목시키고 구원의 가능성들을 제시하고 모색하였다.(3) 예술을 위한, 아름다움을 위한 것이 아닌 진정한 인간 탐구를 모색하는 그 시대의 독일 작품의 특성을 잘 나타낸다.그래서 현실이나 사회에 대한 묘사보다는 개인의 내면 관찰과 자아 형성을 다루었다.(4) 괴테는 작품을 자신의 생활의 내용을 바탕으로 형상화하였다.이 작품으로 괴테의 그 간의 변모와 사상을 느낄 수 있다.그리고 삶과 인간에 대한 사랑을 바탕으로 한다.4. 배경천상(주님이 계신 곳),파우스트의 연구실,감옥,술집,중세 독일의 황궁,습지의 땅,알프스의 초원등.5. 등장인물(1) 파우스트박사(인생의 의미와 가치가 무엇인가를 규명하기 위해 필사적으로 노력하는 학자,현세적 쾌락에서 만족을 얻지 못하고,끊임 없이 노력을 하는 인간)(2) 그레트헨(사랑에 대한 헌신때문에 어머니와 아이까지 죽이는 큰 죄를 짓지만,그래도 영혼은 청정무구하며,어두운 충동을 받더라도 올바른 길을 잃지 않는 선량한 인간)(3) 메피스토텔레스(파우스트를 현세의 쾌락으로서 유혹하여 영혼을 빼앗으려는 악마)6. 줄거리(1) 제 1 부: 모든 학문을 탐구해도 마음에 충족을 느끼지 못해 한탄하던 파우스트는 절망한 나머지 독배를 든다. 그러나 부활절 종소리에 다시 삶에 대한 애착을 느끼게 된다.그 때 파우스트는 자기를 찾아 온 악마 메피스토텔레스에게 자신의 모든 지적, 물적 욕망을 채워 주겠다고 약속한다.이미 메피스토텔레스는 신으로부터 파우스트를 이러한 방법으로 유혹해도 좋다는 허락을 받은 뒤였다.메피스토텔레스는 파우스트를 술집으로 데려갔으나 좋아하지 않자, 마녀의 주방으로 자리를 옮겨 어떤 여자라도 최고의 미녀처럼 보이게 하는 마약을 먹인다. 마약을 마신 파우스트는 평범하지만 마음씨 곱고 착한 마르가레테를 만나 이내 사랑에 빠진다.이 아가씨는 그레트헨이라는 애칭으로 불리워져 구원의 여인상으로 부각된다.이미 자신의 영혼을 악마에게 팔아 버린 파우스트는 악의 늪에 빠지고, 순수한 사랑으로 맺어진 그레트헨까지 구설수에 올라 그녀의 오빠 발렌틴이 화를 내자, 파우스트는 메피스토텔레스의 힘으로 결투를 벌여 상대를 찔러 죽인다.후회한 파우스트는 도망을 치고,오빠를 잃은 그레트헨은 감옥에 갇혀 번민한다. 파우스트는 더욱 더 그녀를 사모하게 된다. 그는 그레트헨을 찾아가 함께 도망치자고 호소한다. 그러나 신앙심이 깊은 그녀가 이를 기도 드리는 것을 보고,그 녀가 구원을 받았다는 것을 알고 파우스트가 악마를 따라 사라지면서 제 1부는 끝난다.(2) 제 2 부: 제 2부의 무대는 중세 독일의 황궁으로,황제와 여러 신하들이 참석한 자리에서 메피스토텔레스는 마력을 부려 많은 재물을 얻도록 한다.그런데 재물에 만족한 황제는 이제 관능적인 욕구를 채우고자 고대 그리스 최고의 미녀인 헬레네를 데려오도록 파우스트에게 명한다.파우스트는 악마의 힘을 빌어 고대 그리스 신화 속으로 들어가고,마침내 헬레네는 현실의 여인이 되어 파우스트 앞에 나타난다.그런데 파우스트는 헬레네의 미모에 끌려 자신의 소임도 잊고,그녀와 사랑에 빠지고 만다. 그리고 그들 사이에 오이포리온이란 사내아이가 태어났다. 그러나 이 아이가 죽게 되면서 둘의 사랑은 끝나 버리고,파우스트는 마침내 세상의 향락이란 사람을 천하게 만들며,오직 자신의 영토를 갖고 군림하는 것이 최상이라는 것을 알게 된다.그는 황제로부터 습지의 땅을 얻어 대단위 개간 사업을 벌이며, 이상국을 건설한 꿈에 젖어 만족감을 느끼며 정력적으로 일한다.그 무렵 이미 100세의 고령이 된 데다 눈까지 멀었으나,마음은 이상하게도 충만한 환희와 평화를 느끼며 죽어 간다.이 절명의 순간에 메피스토텔레스가 파우스트의 영혼을 데려가려 하나 천사들이 내려와 뿌린 장미꽃이 방해가 되어 데려가지 못하고,오히려 천사들이 그의 속죄한 여인 그레트헨은 천상에서 성모 마리아에게 파우스트의 죄를 용서해 달라고 빌고 이에 대한 답으로 신비스러운 천상의 합창 소리가 울려 퍼진다.결국 악마 메피스토텔레스는 신과의 내기에 패하고, 현세에 있을 동안 악마에 이끌려 다니며 온갖 죄악을 저질렀던 파우스트의 영혼은 착한 그레트헨의 기도에 힘입어 구원을 얻게 된다.7. 주제인간의 한계와 구원의 가능성에 대한 신념8. 감동적인 말(1) 상황: 파우스트가 학문과 인생에 대해서 고뇌를 하면서,세상을 살아도 가치가 없다는 생각을 하고 있는 찰나에 제자가 찾아오는데,제자는 파우스트에게 인생과 성공을 하려면 어떻게 해야하는지,자신의 실험실에 하루 종일 쳐박혀서 망원경으로 세상 밖을 쳐다보는 신세를 한탄 하면서,어떻게 연설로 저 사람들을 지도할 수 있겠냐고 묻는다.