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GS25 균형성과표 BSC (Balanced Score Card) 실행 기획안

1. 거시적 관점: CEO-개별점포1) 기존의 성과평가방법의 문제점현재, GS25는 주로 매출 성장, 순이익 등 재무적 수치를 갖고 성과평가가 이루어지고 있는 상황입니다. 이는 기업의 현재위치를 가늠할 수 있는 ‘객관성’을 지닌 중요한 자료이지만, 이것이 전부가 될 수는 없습니다. 재무적 수치만을 가지고 성과평가를 한다면 그에 따른 부작용이 발생하기도 하기 때문입니다. 좋은 성과를 이룩한 것처럼 보여지기 위해 거짓 매출을 발생시켜서 성과급을 타는 경우가 그것입니다. 이것은 단기적으로 이익을 증대시킬 수 있을지 몰라도 중장기적으로 회사의 경쟁력을 악화시키는 결과를 초래합니다. 우선 지난해에 이루어진 거짓 매출을 충당하기 위해 올해의 매출은 그 수치만큼 감소시킬 수 밖에 없게 되고, 기말에는 부족한 매출액을 충당하기 위해 또 다시 매출을 조작해야 하는 악순환의 고리가 형성됩니다. 이는 다른 임직원들의 사기를 희생시키게 되고, 이렇게 이루어지는 영업은 회사의 장기적 경쟁력인 직원들의 동기 부여를 감소시키는 주요한 원인으로 작용합니다. 재무적 수치와 함께 비재무적 수치를 고려하여 성과평가의 관점을 확장시키는 것이 필요합니다.2) BSC 도입방안A. 새로운 미션과 비전 설정.기존의 비전으로는 앞으로 이루고자 하는 것이 무엇인지를 뚜렷하게 알 수 없고, GS25의 힘을 한 곳으로 집중하게 하는 올바른 방향을 제시하지도 못하고 있습니다. 미션이란 변하지 않는 기업의 핵심 가치를 포함하며 끊임없이 추구해야 하는 신념임을 뜻하고, 비전은 그러한 미션과 구체화된 미래상으로 구성되어야 하고 기업이 어떤 모습이 되려고 하는지를 알 수 있게 한다는 특징을 상기하여 본다면, 그 중요성은 아무리 강조해도 지나지지 않습니다. 성과평가제도를 개선하는 이 시점에서 새로운 미션과 비전을 설정하는 것은 굉장히 중요합니다. 임직원들과 종업원 모두가 공유해야 하는 미션과 비전은 기업의 성패를 좌우할 중요한 키이기 때문입니다.그리하여 다음의 새로운 미션과 비전을 제안합니다.특정시점에 우리 ‘GS25’가 되고자 하는 크고 담대한 목표를 설정하여 비전을 도출하였습니다.MissionVision고객에게 받은 믿음과 신뢰를우리의 제품과 서비스로 포장하여행복이라는 이름으로 고객에게 다시 선물한다.열린 사고와 도전정신을 바탕으로프리미엄 시장을 주도하여 2012년까지국내 편의점시장에서No.1을 달성하는 Dynamic Leader가 된다.Core Value (D.O.H.C)역동 (Dynamic) , 열린 사고 (Open-Mind) , 행복(Happiness), 도전(Challenge)B. 전략목표와 핵심성과지표 선정성과관리라는 것은 전략과 연계되어 이루어져야 하고, 그러한 전략은 비전을 달성하기 위해 존재합니다.비전과 전략 그리고 성과관리의 상관관계를 고려하여 핵심성과지표를 선정하였습니다.관점전략 목표핵심성과지표재무관점기업 가치 증대EVA프리미엄제품을 통한지속적 성장총 매출액프리미엄제품 매출 비중새로운 고급시장 선점새로운 고급시장 매출액고객관점고객 만족도 향상시장 점유율위장 고객의 평가점수고객의 브랜드 인지도 향상고객의 브랜드인지도(경쟁사대비)수요제품의 빠른 시장진입제품생산 후부터 진열될 때까지의리드타임내부프로세스 관점프리미엄 마케팅 강화글로벌 브랜드 협력 사업건수품질 향상반품율목표 품질 수준 확보불량률학습과 성장 관점인적 역량 강화우수 인재 확보 비율조직문화 혁신조직문화 만족도임직원 전략 인지도C. BSC 도입시의 장점BSC는 조직의 비전과 전략에서 도출된 평가지표들의 조합입니다. 이를 도입하게 되면, 조직 내에 전략과 비전이 공유되고, 단기간의 성과가 아닌 미래의 이익에 선행하는 비재무적 성과도 중요하게 관리가 됩니다. 또한, 지속적인 성과 피드백을 통하여 전략 실행을 위한 조직적인 움직임이 가능하도록 합니다. 그 결과 단기간의 이익에 쫓기지 않고, 전략이 중심이 되어 모든 활동을 전개하는 조직으로 바뀌어가는 기반을 마련해 줍니다. 아울러, 내부의 임직원들이 전략방향을 정확히 이해하고 공유하도록 만들어 줍니다.D. 장기적으로 실행되었을 시의 유의사항장기간으로 실행될 시, 성과평가의 함정에 빠질 수 있음에 유의해야 합니다. 장시간의 관점일 수록, 전략에 대해서는 이야기 하지 않고 지표에만 관심을 가지는 경우가 발생할 수 있습니다. 즉,전략을 이야기하지 않고 평가 자체에 매몰되어 BSC운영에 빠지면 근본 취지를 잊어버린 것과 같습니다. 이 경우, 지표에 매몰된 BSC를 원래 목적에 맞게 전략적인 성과 관리 체계로 되살려야 합니다. 또한, 장기간의 경우에는 외부 및 내부 환경이 비전 수립시의 환경과 달라지는 시점이 분명히 존재 할 것입니다. 이 때에는 상황에 따라 새로운 비전을 수립하고 관련 지표들을 수정하는 작업을 거쳐야 합니다.2. 미시적 관점: Store 점주- 종업원1) 기존의 성과평가방법의 문제점고객과의 접점에 서있는 지점의 경우 매출과 이익의 절대적인 크기에 따라 성과평가가 좌우되고 있습니다. 어떤 전략에 따라 매출과 이익이 나왔는가에 대한 매출과 이익의 ‘질적인 면’에 대한 고찰이 없이 양적인 면만으로는 점주의 종업원에 대한 성과평가가 제한적일 수 밖에 없습니다. 또한, 개인 근무 평가와 연계성을 갖지 못하는 경직된 성과평가 구조입니다. 이런 구조에서는 조직의 성과에 기여하지 못하는 개인이 모호한 평가지표에 따라 평가를 받을 수 있어 객관성과 신뢰성에 의문을 제기하고 있는 상황입니다.2) BSC 도입방안A. 새로운 미션과 비전 설정미션이란 변하지 않는 기업의 핵심가치를 포함하는 것이며, 기업의 존재이유와도 같기에 관점이 바뀌어도 그대로 존재할 것입니다. 다만, 거시적 관점에서 미시적인 관점으로 전향되었기에 비전은 바뀌어져야 합니다.MissionVision고객에게 받은 믿음과 신뢰를우리의 제품과 서비스로 포장하여행복이라는 이름으로 고객에게 다시 선물한다.열린 사고와 도전정신을 바탕으로해당 상권의 영향이 미치는 범위 안에서매출액XX% 증가를 달성 하여지역 내에 No.1 Landmark가 된다.B. 전략목표와 핵심성과지표 선정.비전을 달성하기 위해 설정한 전략 목표와 핵심 성과지표는 다음과 같습니다.관점전략 목표핵심성과지표재무관점지점의 매출 증대총 매출액브랜드별 매출고객관점목표고객 만족도 향상고객요구 시 대응시간단골 고객의 만족도환불 요구 횟수내부프로세스 관점매장 효율성 증대선반 가용도공간 활용 적정도매장분위기 쇄신매장 관리 점수(청결도)품질 향상반품률목표 품질 수준 확보불량률학습과 성장 관점구성원만족도 강화종업원 만족도지점유지 위한 판매 역량의 강화교육(친절,판매스킬)시간C. BSC 도입시의 장점지점의 전략과 종업원의 업무가 정렬이 된다는 점이 가장 큰 장점입니다. 이전에는 종업원들이 자신이 하는 일의 중요성을 잘 모르고 그냥 주어진 일이기 때문에 수동적으로 따르는 경우가 존재했습니다. 지점의 성과도 최종결과치인 재무정보만을 접하게 되기에 업무과정에서 동기가 부여되기 어렵고 방어적이었던 것이 사실이었습니다. 그러나 BSC를 수행하면서 종업원 스스로가 지점에 기여할 수 있는 부분을 생각할 수 있게 함으로써, 기존의 성과평가관리 문제점이 해결되는 결과를 나타냅니다.D. 장기적으로 실행되었을 시의 유의사항BSC 구축시 설정되었던 핵심성과지표가 실질에 부합하는지 지속적인 확인, 노력이 필요합니다. 지점과 종업원간의 관계이기에 상대적으로 중요시 되는 교육시간, 종업원 만족도 등의 핵심성과지표가 사용에 편리하고 실익이 있음을 느껴야 합니다. 아무리 좋은 시스템이라도 평가관리자나 대상자들에게 혼란을 가중시킨다면 소용이 없기 때문입니다. BSC를 통해 지점과 종업원의 평가를 객관화하고 이를 통해 인센티브를 지급해야 합니다. 그렇게 함으로써, 업무에 동기부여가 되고 나아가 비전을 달성 할 수 있기 때문입니다. 또한, 추가적인 사업계획이 있다면 이와 연계시켜 더욱 효율적인 업무가 되도록 해야 할 것입니다.

경영/경제| 2010.04.26| 4페이지| 2,500원| 조회(331)

회계원리, 균형성과표, BSC, GS 25, BSC구축, BSC구축방법

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베르누이의 정리 (Bernoulli`s Theorem)

EXP 5. Bernoulli's Theorem1. 목적줄어드는 관형 Duct 안에서의 물이 흐름에 적용된 Bernoulli's Theorem 이해2. 실험장치Hydraulics BenchBernoulli's Theorem ApparatusStop Watch3. 이론파이프의 두 부분의 흐름을 고려하면, Bernoulli equation은 다음과 같다.이 장치에서는이고따라서∴는 Velocity head이고은 Static head는 Total head이다.따라서 Bernoulli's Theorem이 적용되면는 duct의 모든 부분에서 일정하다.4. 실험방법a) 실험장치를 그림과 같이 꾸미고 Wetting agent를 test section에 소량 주입한다. test section이 흐름의 방향과 일치하도록 하고 장치의 높이를 똑같이 맞춘다.b) control valve를 잠그고 pump를 작동시킨다. 밸브를 천천히 열면서 장치의 manometer tube에 물을 채운다. 장치의 파이프에 공기가 없도록 하면서 manometer tube에 물을 채워야 한다. manometer bank는 요구되는 높이로 올리거나 낮출 수 있는 schrader valve를 가지고 조정한다. 나중에 head pump는 액체부분에 공기압력을 올리기 위해 밸브에 연결된다.c) 조심스럽게 두 개의 밸브를 열고 manometer의 가장 높은 레벨과 낮은 레벨 사이에서 flow rate와 압력의 조합에서 가장 큰 차이를 낼 수 있도록 조정한다. 각 manometer level의 크기를 기록한다. 적어도 flow rate를 차지 위해 부피와 시간의 조합을 세 번 실시한다.d) duck의 평행한 끝부분까지 total head probe를 삽입하고 동시에 줄어드는 1cm로 그것을 밀어 넣고 probe의 각 부분에서, 평행한 부분의 끝으로부터 떨어진 거리를 기록하고 manometer의 level을 기록한다.e) c와 d를 높고 낮은 static pressure에서 flow rate를 높이고 낮추면서 반복한다.f) 밸브를 닫고 total head probe를 꺼낸다. 그리고 test section을 갈아 끼운다.그리고 b, c, d, e를 반복한다.5. 실험결과 및 분석abcdefh(cm)13.515.517.018.219.521.0D(cm)1.001.061.131.241.462.50flow rate Q=5L/min 일때의 각 부분에서의 manometer 의 값과 duck의 직경은 위와 같다.83.33㎤/s,981㎝/s2,이므로 위식에 각각의 값을 대입하여 구하면abcdefD(cm)1.001.061.131.241.462.50A(㎠)0.7850.8821.0031.2081.6744.909U106.1594.4883.0868.9849.7816.97H(cm)19.2420.0520.5220.6320.7621.15H(cm)의 평균값 :(19.24 + 20.05 + 20.52 + 20.63 + 20.76 +21.15) / 6 = 20.39오차율 :a : (19.24 - 20.39) / 20.39 *100 = -5.64%b : (20.05 - 20.39) / 20.39 *100 = -1.67%c : (20.52 - 20.39) / 20.39 *100 = 0.64%d : (20.63 - 20.39) / 20.39 *100 = 1.18%e : (20.76 - 20.39) / 20.39 *100 = 1.81%f : (21.15 - 20.39) / 20.39 *100 = 3.73%6. 토의이번 실험은 Bernoulli's Theorem 을 적용하여 줄어드는 관형덕트 안에서 Total head가 일정하다는 것을 알아보는 실험이었다. 이번 실험에서 유속은 5L/min 라고 가정하였으며 실제 유속은 측정할 수가 없었다. 그러나 실험 결과를 살펴보면 오차범위가 대략 -6%에서 4%사이로서 실험결과가 거의 정확한 것이라고 생각되며 실험상의 오차원인을 생각했을 때 양호한 결과를 보여주었다. 이는 점점 좁아지는 관내에서의 Total head가 일정하게 나타났다고 볼 수있으며 실험 결과는 Bernoulli's Theorem에 잘 맞아떨어진다고 볼 수 있다.오차원인을 살펴보면 관 내에 물을 펌프를 이용하여 공급하였는데 이 때 펌프에 의한 장비오차를 생각해 볼 수 있다. 펌프가 보내는 물의 압력에 어느정도 편차가 있다고 생각되며 Bernoulli's Theorem apparatus 차체의 압력게이지가 고장난 상태여서 압력이 어느정도 였는지 확인할 수가 없었다. 또한 실험도중 manometer와 관을 연결하고 있던 고무관 마처 빠져 장비 및 장치에 의한 오차원인이 가장 크다고 볼 수 있다.이번 실험에서는 관내를 통과한 물이 외부로 배출되지 않고 다시 탱크 내로 들어가게 되어있어 유량을 측정하는 것이 어려웠고 장치 또한 양호한 상태가 아니어서 더 정확한 실험결과를 얻지 못한 것이 상당히 아쉬웠으나 이번 실험을 통해 베르누이 정리가 실제로 성립 한다는 것을 직접 실험을 통하여 알아볼 수있어 의미있었던 실험이었다.

공학/기술| 2008.06.02| 5페이지| 2,000원| 조회(836)

화학공학실험, 화공실험, 화학공학, 베르누이, 베르누이 정리

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반도체가 우리 생활에 미치는 영향

반도체가 우리 생활에 미치는 영향-Semiconductor Stock Market-Semiconductor In The Stock Market섹터지수 -특정산업 또는 시장의 테마를 고려한 상품지수.필라델피아 반도체 지수(SOX : Semiconductor Sector Index): 대표적인 반도체 관련 주를 포함하고 있어 반도체주의 가격동향을 읽을 수 있도록 해줌.미국 증시에서 반도체 주식의 투자지표로 활용1993년 처음 발표한 이래 외국인들이 국내 반도체 주를 매매하는 데 주요 지표로 삼고 있어 국내 반도체 주식의 흐름에도 많은 영향을 미치고 있음.예) 나스닥의 IT지수 필라델피아 거래소의 반도체지수 아멕스 거래소의 생명공학지수Sector Index2008 04.07 현재 SOX▣ SOX 5년간 차트Semiconductor In The Stock Market2006년 한국판 '필라델피아 반도체 지수'로 관심을 모은 5개 섹터지수의 구성종목 확정. 자동차(KRX Auto) 반도체(KRX Semicon) 건강산업(KRX Health Care) 은행(KRX Bank) 정보통신(KRX IT) 등 5개 섹터별 지수의 구성종목을 확정, 발표{nameOfApplication=Show}

공학/기술| 2008.06.02| 3페이지| 1,500원| 조회(562)

반도체, 필라델피아, 우리 생활, 반도체 지수, 섹터지수

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관을 통한 유체의 흐름

Exp. 관을 통한 유체의 흐름1. 실험 목적유체가 관을 통하여 흐를 때의 압력 손실, 마찰 계수를 구하고 관 부속품들의 상당 길이를 측정하며 유량 측정에 사용되는 오리피스 미터의 보정방법 등을 이해한다.2. 실험 방법①수리실험대의 커플링 입구호스를 연결한다. 그리고 모든 밸브를 완전히 열어 놓는다.②수리실험대의 전원 콘센트를 220V 에 연결하고 펌프기동스위치를 ON한다.③각 관로 중 실험 하고자하는 라인의 밸브와 유량조절밸브만 남기고 나머지 밸브는 모두 잠근다.④유량조절밸브로 알맞은 유량을 조절하고, 실험라인의 밸브로서 라인의 유량을 조절하여 실험을 행한다.⑤각 라인의 실험을 동시에 할 경우 각 라인에 설치된 밸브를 서서히 열어 알맞은 유량으로 조절한 다음 실험을 행한다.⑥실험 초기에 다관 마노미터에 공기를 완전히 빼준다.⑦각 라인의 유량 측정 장치와 관 마찰 손실 수들을 마노미터에 의하여 구하고, 수리실험대의 계량 수조와 비교하여 데이터를 작성한다.⑧온도계로 수온을 측정한다.⑨실험이 끝나면 전원 스위치를 끄고, 저수조 및 모든 라인을 깨끗이 청소한다.⑩마노미터는 유리관이므로 취급에 주의를 기한다.3. 실험 결과부속관의 종류길이(mm)직경(mm)P(mmH2O)?P (g/㎝)유량(LPM)(mL/s)StraightPipe15A150014.226225650.810.3171.720A150020.5282741.313216.7U자관20.813413119.116266.7Gate Valve20.817016643.6466.67Glove Valve20.849248168.716266.7Ball Valve20.823022517.924400.0급축소관D1=40, D2=20282741.324400.0급확대관D1=20, D2=4017417035.324400.090°Elbow20.8727049.114233.3- Temperature of water: 20℃- Density of water at 20℃: 0.998 g/㎤- Viscosity of water- Length of pipe: 1500 mm = 150 cm- g(중력가속도) = 9.8 m/s2▶ 수평관에서의 상당길이- 사용되는 equation위의 식을 통해서 마찰 계수를 구할 수 있다.f : 마찰계수g : 중력가속도D : 관의 지름L : 관의 길이V : 유속h : 실험기계 오른쪽에서 읽은 마노미터 읽음▶관 부속품들이 상당길이관의 종류Q()유량u(cm/s) 유속P(압력차)straightpipe15A171.7108.4725624.650.010329420A216.765.692738.5120.0043453여기에서는 상당길이를 구하기 위해서는 Reynolds number()와 상대 거칠기(relative roughness)를 구해야 한다. 이를 통해서 관의 마찰인자 플롯에 관한 그래프를 통해서 Friction factor 를 계산한다.where= 0.01ft = 0.046(Reference Book : 화공유체역학 page 193 표 6.2)따라서= 0.0022여기에서 0.0022에 대한 곡선에서의 값을 구하고 이를 통해서를 통해서 상당길이를 구해 낼 수 있다.▶급축소관 / 급확대관이 경우에도 상당길이를 구할 수 있고, NRe를 보면 난류 영역이므로 Blausius formular를이용하여 f를 구할 수 있다.종류Q()u(cm/s)NRePL/DBALL400.0117.7824449.20.0068522494.9118.36GATE66.6719.634074.870.0120116626.681799.95GLOVE266.778.5316301.570.05420748119.5772.1165엘보우관233.368.6914258.940.006317041.89118.5급축소400.0127.3925427.040.00700512738.5112.069급확대400.0127.3925427.040.007005117017.912.069U자관266.778.5316301.570.0066813105.74159.394. discussion이번 실험은 Newtonian Fluid가 관을 통해 흐를 때, 압력 변화와 f, 관부속품의 상당길이를 측정하고 측정한 유량을 이용하여 유속을 구한 후 Reynolds number를 구하는 것이다. 이를 통해 Reynolds number와 friction factor 사이의 그래프를 통해 friction factor를 구하여 이론적인 압력차를 구한 값과 측정한 높이차를 이용한 압력차를 구하여 이론값과 측정값을 비교하는데 실험 목적이 있다. 만약 이 두 값이 같다면 실험장치가 매우 정확하고, 실험 방법이 매우 잘 되었다고 할 수 있으나 위의 data를 보면 알 수 있듯이 오차가 매우 컸던 실험 같다. 오차의 원인으로 실험을 시작하기 전 관 안의 물을 다 빼낸 후에 다시 실험 장치를 가동시켜 물을 채워서 초기화를 시켜야 하는데 물을 모두 빼내는 것이 불가능 했다. 그리고 마노미터 눈금이 유량의 변화에 따라 약간씩 움직여서 그 정확한 값을 측정하기란 매우 어려웠다. 또한 마노미터 호수에 계속해서 기포가 생기면서 아마도 마노미터의 수주차가 정확한 값이 아닐 것이라는 것이 가장 큰 오차가 아닐까 생각된다.이 실험을 할 때 유의해야 할 사항은 하나의 관이나 부속품을 포함한 관에서의 압력강하를 측정하기 위해서는 그 관외의 나머지 관의 밸브는 모두 닫아 주어야 한다는 것이다. 그렇지 않으면 압력강하의 값이 잘못 측정되어 이를 이용해서 구하는 friction factor 값도 잘못 구해지게 된다.그리고 우리 조는 straight pipe 중 가장 얇은 10A와 orifice와 venturi meter에 대한 것을 측정하지 못하였는데 그 점이 매우 아쉽다. 가장 가는 관에서는 압력 차이가 너무 크게 걸려 측정 가능한 범위를 벗어나서 측정이 불가능했지만 orifice와 venturi는 이상하게 앞의 조부터 측정이 잘 안된다고 하는 것으로 보아 실험 장치가 이상이 있던 것으로 생각된다. 또한 관의 재질에 따라 관의 재질에 따라 관의 내부에 물이 흐를 때 마찰력이 작용할 수 있다는 점 역시 오차 발생의 원인 중 하나일 것이다.또한 우리 조가 위의 계산을 할 때 물의 온도를 20℃라 가정하고 계산을 했지만 실제 물의 온도는 20℃가 아니어서 계산상의 오차가 발생했을 것이라 생각된다. 또한 항상 그랬듯이 유량을 측정하는 기기가 정확한 눈금을 읽기가 매우 힘들었다. 또한 실험장치 자체에도 결함이 있는 것 같다. 실험 장치를 작동시켰을 때 이상한 소리가 나면서 물이 전혀 흐르지 않았다. 시간이 지난 후 계속해서 실험 장치를 만진 결과, 물이 흐르긴 했지만 유량 측정 구가 요동을 치는 바람에 매우 애를 많이 먹었다.straight pipe 실험에서는 수평한 관에서의 friction factor를 구하는 것이 목적인데 이 friction factor를 구하면 같은 재질의 임의의 길이의 관에서 압력강하를 계산할 수 있어서 이론값을 계산하는 것이 가능하다.수평관이 아닌 것에 대한 상당길이 실험을 그 다음에 했다. 여기서 상당길이는 friction factor 값을 알고 있어야 측정이 가능한데 실험값의 오차가 매우 심하고 관 부속품의 재질을 잘 몰라서 관을 상용강철 또는 연철로 생각하여 그 때의

공학/기술| 2008.06.02| 5페이지| 2,000원| 조회(534)

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필름의 두께와 annealing 온도가 SiNx의 광학적특성(optical property)에 미치는 영향

Visible photoluminescence from plasma-synthesized SiO2-buffered SiNx films: :Effect of film thickness and annealing temperatureIntroduction Of Semiconductor ProcessContents 1. Introduction 2. Experiment 3. Data 4. Discussion 5. ConclusionsThe observation of visible photoluminescence (PL) in porous silicon has stimulated researchers to explore effective silicon-based light-emitting materials. Recently, a substantial effort has been focused on nanoparticle films owing to apparent simplicity and cost efficiency of self-assembly processes.It still remains unclear at what optimum annealing temperatures the PL is the strongest, how does this temperature depend on the SiNx film thickness,1. IntroductionFIG. Schematic of low-frequency inductively coupled plasma assisted rf magnetron sputtering system* A mixture of high-purity N2, Ar, and H2 gases was let in the chamber* The silicon nitride film thickness in these experiments ranged from 150 to 800 nm.* Annealing is undertaken in ambient N2 gas for 20 min at temperatures between 650 and 1200 °C.2. Experiment3. DataVariation of the PL peaks of the SiNx SiO2 films with the annealing T(b) (800 nm) SiO2 film.(a) (150 nm) SiO2 film.The strongest emission is observed in the spectral range 600–-620 nmThe strongest PL peak to shift to 630–-640 nmcurve a: SiNx 800 nm /SiO2film; curve c: SiNx 800 nm /SiO2 film; (Effect of the interfacial diffusion) curve b: SiNx 150 nm /SiO2 film; (Variation of the PL peak at 590–620 nm intensity with the annealing temperature) curve d: SiNx 150 nm /SiO2 film;3. DataOne can see the PL intensity increases dramatically at temperatures above 650 °C, irrespective to the thickness of the SiNx film. For a 150 nm thick SiNx film buffered by SiO2, the PL intensity reaches a maximum at Tanneal =800 °C. for the 800 nm thick SiNx film, the emission intensity monotonically increases with the annealing T. In fact, it shows a tendency to reach saturation when Tanneal is increased up to 1100-1200 °C.3. Data4. DiscussionThe effect of interfacial diffusion on the PL has been estimated by subtracting the PL of the SiO2 buffer from that of the SiNx /SiO2 film. Curves c and d quantify how the contribution of the interfacial diffusion to the PL intensity changes with Tanneal in the 800 and 150 nm thick SiNx films. This contribution exhibits a temperature dependence very similar to the PL in SiNx /SiO2 films curves a and b.For the thinner SiNx film, the effect of the interfacial diffusion on the PL in the SiNx /SiO2 film appears to be stronger. Therefore, the thinner the SiNx layer, the lower Tanneal is required to achieve the maximum PL intensity in the SiNx /SiO2 films. This can be attributed to the fact that oxidation at very high annealing temperatures causes a strong decrease of the number of Si–-N bonds (which effectively control the PL Intensity)4. DiscussionXPS analysis has been employed to investigate the chemical bonds and composition of the topmost layer of the SiNx /SiO2 film. The quantitative composition analysis results are given in Table.4. DiscussionThe upper surface layer is usually regarded as a source of luminescence and its composition is a decisive factor that determines the peak wavelength and intensity of the PLas the annealing temperature increases up to the higher temperature, the surface oxidation of SiNx film increases so that the XPS results show a decrease of the Si concentration at high annealing temperature.The optimum annealing temperature for the maximum PL yield strongly depends on the film thickness and varies from 800 to 1200 °C. The PL intensity is directly related to the content of the Si–-N bonds in the SiNx films. Excessively high annealing temperatures lead to weakened Si–-N bonds (which effectively control the PL intensity) in thinner SiNx films, which eventually results in a lower PL intensity.5. Conclusions{nameOfApplication=Show}

공학/기술| 2008.06.02| 12페이지| 2,500원| 조회(499)

반도체, annealing, 필름 두께, SiNx, 광학특성

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