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비정질 자성박막의 제조 및 특징분석

실험보고서제목 :비정질 자성박막의 제조 및 특징분석-Sputter 장비를 이용하여 실리콘 웨이퍼에 Tb박막 증착 및 XRD분석-과 목 명 :담당교수 :학 과 :성 명 :제출일자 :비 고 : 2조1. 실험목적‘Sputter’에 의한 박막증착 방법의 원리를 이해하고, Sputter 장비를 이용하여 실리콘 웨이퍼에 Tb 박막을 증착한다. Tb 증착 후 XRD 장비를 이용하여 Peak를 측정하고 원래 Tb의 Peak와 비교 분석한다.2. 실험 관련 기기실리콘웨이퍼, Tb-Target, XRD, Ar(Gas)30mL, Sputter 장비3. 실험방법Sputter 장비를 이용하여 Ar(Gas) 분위기에서 Tb를 Target으로 하여 실리콘 웨이퍼 표면에 7분 동안(45.63W) 증착을 시킨다. TB이 증착된 시편을 XRD 장비로 측정을 하여 Peak을 확인한다.진공조건은 5mm Torr에서 진행되었다.4. 실험결과 및 결론Fig4-1은 Tb이 증착된 시편을 XRD를 이용하여 측정한 것인데2개의 Peak(32.96°, 69.14°)을얻을 수 있다.① 32.96°의 Peak은 Tb의 고유 Peak으로서 (101)면일 때 나타나는 Peak이다.위 식을 이용하여 파장을 구해보면 0.1541nm라는 값이 나오는데 이것은 CuKα의 파장이다.d값을 구해보면 2.715Å나온다.Fig4-1 Tb이 증착된 실리콘 웨이퍼의 X-선 회절패턴 (XRD)Fig4-2 Tb의 JCPDS-ICDD카드(PCPDFWIN)② Fig 4-1에서 얻은 2Θ값 32.96°와 Tb의 고유 Peak인 32.778°를 비교해보면 0.182°가 차이가 나는 원인은 2가지로 파악할 수 있는데, 첫 번째는 XRD측정시에 시편의 놓는 위치에 따라 약간씩 측정값이 달라진다는 것으로 인한 것이다. 두 번째는 진공을 만들기전 웨이퍼 위에 약간의 불순물(미세먼지)로 인한 것인데 실리콘을 공기 중에 놔두면 공기 중의 미세먼지로 인하여 SiO2를 형성하는데 그 부분에서 피크의 값의 차이가 발생했다.Fig4-3 Si의 JCPDS-ICDD카드(PCPDFWIN)③ 69.14°의 Peak은 Si의 Peak이라고 예상은 할 수 있습니다. Si의 고유 Peak와 비교를 해보면 불순물이나 다른 이유로 인하여 정확히 알 수가 없었습니다.④ Fig 4-1에서 얻은 2Θ값 69.14°와 Si의 고유 Peak인 69.132°를 비교해보면 0.008°가 차이가 나는 것을 알 수 있다.⑤ Fig 4-4 The variation of sinΘ with Θ. The error in sinΘ caused by a given error in Θ decreases as Θ increases (△Θ exaggerated) 즉, Θ측정을 90°근처에서 하면 cotΘ가 0에 가까우므로 결정상수의 측정오차도 0에 가깝게 된다.

공학/기술| 2008.09.28| 4페이지| 1,000원| 조회(260)

장비, 시편, 실리콘, 웨이퍼, 실리콘웨이퍼

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Al2O3/ZrO2 복합체의 기계적 특성 및 미세조직 관찰

실험보고서제목 : Al2O3/ZrO2 복합체의 기계적 특성 및 미세조직 관찰-Al2O3/ZrO2 복합체의 강도, 인성, 경도 시험 및 미세조직 관찰-과 목 명 :담당교수 :학 과 :성 명 :제출일자 :비 고 : 3조1. 서론최근에 국내 소재분야 연구가 활발하게 진행되고 있습니다. 한국의 산업구조를 보면 다른나라에서 소재와 장비를 수입해 와서 그것을 조립하여 제품을 판매하기 때문에 매출에 비해서 순이익이 많이 떨어지는 편입니다. 특히 소재분야의 연구가 많이 뒤쳐져서 반도체재료, 세라믹재료는 80%이상 수입하기 때문에 더 이상 발전할 가능성이 적어집니다. 그래서 소재분야의 학자들이 국내 소재분야의 발전을 위해 연구를 하고 있습니다.그 중에서 생체 재료분야는 발전가능성도 풍부하고 외국과의 기술격차도 그렇게 큰 편이 아니라서 연구가 활발히 진행중입니다. 특히 무릎관절용 보철물, 인공뼈, 치과용 세라믹 임플란트, 세라믹 단일치아 및 브릿지 등의 응력지지용 경조직 대체, 바이오 세라믹스 뿐만 아니라 라식수술용 미세각막 절단기 등의 의료용으로 응용연구가 진행 중입니다.이 분야에서 많이 쓰이는 세라믹 소재는 Zro2와 Al2O3 등의 세라믹 재료가 선호되고 있습니다. 하지만 세라믹스 중 가장 뛰어난 물성을 지닌 Zro2는 치명적인 단점이 있는데, 저온(100~300℃)에 장시간 유지시 Zro2의 정방정 결정상이 단사정상으로의 상전이에 의해 강도가 급격히 떨어지는 저온열화 현상이 발생하는데 이 부분을 Al2O3와 합성을 통하여 강도와 인성이 우수한 복합체가 만들 수 있습니다.그래서 2007년 1학기 신소재실험1에서 사용된 Zro2와 Al2O3를 이용하여 만든 Al2O3/ZrO2 복합체의 직육면체 바(시편)를 만들어 기계적 특성을 파악하기 위해 이번실험을 하게 되었습니다.? 강도시험(Strength)? 경도시험(Hardness) : 경도시험은 인장시험과 함께 기계적 시험방법 중에서 가장 많이 사용되는 시험방법으로 비커스 경도계를 이용하여 측정한다. 일반적으로 경도는 재료의 변형알 수 있는 것은 최적의 소결 온도를 벗어나서 1400℃ 이상의 고온 영역에서 소결할 경우 저온열화영역에서 단사정상의 급격한 증가를 초래할 수 있으며, 결과적으로 소결체의 물성이 급격히 나빠질 수 있음을 의미한다. 이러한 이유 때문에 3Y-TZP 제조사들이 1400℃이하의 저온 영역에서 소결이 가능한 초미분 개발하기 위하여 노력하고 있다고 봐야할 것이다. 그러나 이러한 노력도 단순히 소결 온도만 낮추기 위하여 소결온도 저감제와 같은 무기 첨가물 혼합하여 지르코니아 제품의 기계적·열적 물성을 회손시켜서는 바람직한 개선이라고 할 수는 없을 것이다.?③소결온도와 GRAIN SIZE(소결격자 크기)와의 관계(a)(b)(c)(d)Micrographs of materials prepared from a 2.0wt% Y2O3 coated ZrO2 Powderstarting powder, (a) and themally etched Y-TZP ceramics, hot pressed 1400℃ (b)1450℃ (c) and 1500℃ (d)자료출처 : J. Vleugels, Z.X. Yuan, O. Van Der BiestMechanical properties of Y2O3/Al2O3-coated Y-TZP ceramics위의 그림들은 2.0wt% Y-TZP의 소결 온도에 따른 입자 성장 상태를 보여주고 있다. 그림에서 보여지는 바와 같이 실험에 사용된 원료 분말을 1400℃에서 소결한 경우에는 GRAIN SIZE가 0.5㎛ 이하이지만 1500℃ 소결체의 GRAIN SIZE는 1.0㎛ 이상인 것을 알 수 있다.주)엠스가 제조하는 3Y-TZP 제품은 1350℃에서 소결되며 GRAIN SIZE가 0.2㎛ 이하이다.주)엠스 3Y-TZP 소결체 파단면 SEM 사진일본산 제품 소결체 파단면 SEM 사진출처 : www.ams.bz(주)엠스(2) AL-M43(Sumitomo, Japan)(Al2O3)①알루미나(Al2O3,Aluminium Oxide,Alumina)란?화학적으로 땅 껍질에서는진다. 3점 -굽힘 강도의 경우에 지지대 사이의 간격(span)은 30 ± 0.5 mm로 하며, 4점-굽힘 시험의 경우 에는 내부 간격(inner span)은 10 ± 0.5 mm, 외부 간격(outer span)은 30 ± 0.5 mm로 한다. 세라믹스의 굽힘 강도 측정방법은 KSL 1591에 규정되어 있다.1강도의 계산은 아래 식에 의해 행해진다.4점 굽힘의 경우 (1)여기에서P : 시험편이 파괴되었을 때의 최대 하중L : 외부간격l : 내부간격w : 시험편의 폭t : 시험편의 두께Fig. 2. Three- and four-points bending and moment diagram.3. 실험기구 및 장치(1) 만능 시험기시험기는, 크로스 헤드의 이동 속도를 일정하게 유지할 수 있는 적당한 재료 시험기를 사용 한다. 이 경우, 재료 시험기의 하중 지시의 정밀도는 참 하중의 ±1%까지 측정이 가능한 것으로 한다.(2) 지지구하중점의 지지구는 탄성률 1.5×104㎏f/㎟ 이상을 갖고 시험 중 소성 변형 및 파괴하지 않는 재질의 것으로 그 끝부분의 곡률 반지름은 0.5-3.0 mm 정도로 한다.(3) 마이크로 미터마이크로 미터는 KS B 5202 (외측 마이크로미터)에 규정하는 외측 마이크로미터 또는 이 와 동등 이상의 정밀도를 갖는 것을 사용한다.(4) 버어니어 캘리퍼스버어니어 캘리퍼스는 KS B 5203 (버어니어 캘리퍼스)에 규정하는 최소 눈금 길이 0.05㎜ 또 는 이와 동등 이상의 정밀도를 갖는 것을 사용한다.4. 시험편 준비시험편의 모양 및 치수시험편의 모양은 단면이 직사각형의 기둥으로 하고 그 치수는 3 X 4 X 36 mm 정도로 한다.시험편 모서리의 둥글기 또는 모떼기시험편은 모서리를 반경 0.1-0.3 mm 정도로 둥글게 한다시험편의 상하면의 거칠기는 800번 정도로 연마한 KS B 0161(표면 거칠기)에 규정하는 0.8S 이하로 한다.시험편의 수는 10개 이상으로 하는 것이 바람직하다.5. 실험 방법시험편의 너비 및 두께는 마이크로미터를 사이드로 놋치를 만드는 방법을 사용한다. 이 때 선균열 발생기 점의 도입조건은 아래와 같다.기점도입위치: 시험편의 한끝에서 9±0.1㎜ 또는 18±0.1㎜기점도입정밀도: 시험편과 수직으로 ±2°기점도입 방법비커스(누프) 압흔의 경우-압자 압입수: 1점(두께방향의 중심위치) 또는 3점(두께 B의 4분할 위치에 3점)-압자 압입방향: 압흔의 대각선이 시험편 길이 방향에 직교-압자 인가하중: 10㎏f (98 N)놋치의 경우-놋치 형상: 직선 놋치-놋치의 폭: 0.2㎜ 이하-놋치의 깊이: 0.5±0.1㎜ (0.6㎜ 깊이 이상의 놋치는 pop-in 균열이 발생하지 않는 경 우 가 있음)-놋치선단의 형상: 특별히 규정하지 않음선균열 도입선균열 도입치구는 Fig. 2와 같이 압자(pusher), 앤빌(anvil) 및 위치 결정용 자(setting jig)로 구성되어 있으며, 치구의 내압 한계는 6000㎏f이다. 6000㎏f 이상의 과부하를 가하면 앤빌에 오목 부가 생기는 경우가 있으므로, 가능한한 5000㎏f 이하의 하중을 가하는 것이 좋다. 통상 세라믹스 의 선균열 발생 하중은 5000㎏f 이하이다.치구의 앤빌은 Fig. 2와 같이 양면 모두 이용할 수 있는 3 ㎜와 6 ㎜, 4 ㎜와 5 ㎜의 2종류로 준비하여, 재료 및 선균열의 발생기점의 종류에 따라 선균열 길이의 허용범위에 적합한 선균열이 도입되도록 구폭을 시험자가 선택하는 것이 바람직하다. 이 때 시험편은 선균열 발생기점 위치가 앤빌의 중앙에서 ±0.1 ㎜ 이내가 되도록 위치 결정용 자를 사용하여 치구에 팅하여야 하며, 셋팅 전에는 시험편 및 치구를 아세톤 등으로 세척하는 것이 바람직하다. 압축하중 속도는 특별히 필요는 없으나, 하중속도가 지나치게 느리면 균열이 안정성장하는 경우 가 있기 때문에 30㎏f/s 이상이 바람직하다. 균열은 가교압축(bridge compression)에 이한 pop-in 균열로서 음향센서를 사용하여 pop-in 균열의 발생음을 검출하는 것이 좋다. pop-in 균열도입 후 다시 부하를 계속646.354100.95576.491.106.357Table 6-4 Simple Weibull analysis of strength DataF : 파괴확률i : 강도순위N : 전체 시편의 수Fig6-1 그래프의 함수를 구해보면 위와 같고, 기울기(m)는 27.7의 값이 나온다.Fig6-1 Simple Weibull graph linearizes strength probability data to permit assessment of whether the data fit a Weibull distribution; strengths are from Table 6-4(5) 이론밀도분자량밀도Vol%Wt%mol%Al2O31023.9820%14.10%16.55%ZrO2123.226.0880%85.90%83.55%Table 6-5 ZrO2와 Al2O3의 밀도 및 각각의 %ZrO2는 Fluorite구조ZrO2의 격자상수a=5.09ÅZr : 4O : 8Al2O3(20%vol)/ZrO2(80%vol)의 이론밀도는 5.48g/cm3을 얻을 수 있다. 밀도가 떨어지는 이유는산소자리에 공공(Vacancy)이 생기고, Zr의 일부가 Al로 치환이 되면서 질량이 줄어들었다.(6) 시편의 Grain Size 측정(ASTM E112참조)배율그림번호ZrO2-NLAl2O3-NLZrO2-LLAl2O3-LLZrO2(㎛)Al2O3(㎛)5,000X10.2160.0270.8520.1480.5940.81920.2210.0240.8530.1470.5850.89230.2030.0340.8180.1820.6040.802평균0.2130.0280.8410.1590.5950.838표준편차0.0090.0050.0200.0200.0100.04810,000X10.1090.0180.8210.1790.5660.75220.1190.0160.8530.1470.5420.66330.1070.0210.8160.1840.5740.66240.1040.0210.7360.2600.5321.09350.1450.0220.7340.1590.51 있다.

공학/기술| 2008.09.28| 23페이지| 3,000원| 조회(1,210)

세라믹, 소재, 신소재실험, 복합체

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Al-Cu 합금의 시효 조건에 따른 미세조직 관찰 평가A+최고예요

실험보고서제목 : Al-Cu 합금의 시효 조건에 따른 미세조직 관찰-고강도 경량 2000계 알루미늄 합금의 시효 조건에 따른 미세조직-과 목 명 : 신소재실험Ⅱ담당교수 :학 과 : 신소재 공학과성 명 :제출일자 : 200년 10월 12일비 고 :1. 실험목적ㆍAl-Cu 합금의 미세 조직 관찰을 위한 시편 준비 과정을 습득한다.ㆍ정확한 조성을 알 수 없는 Al-Cu 합금의 미세조직을 SEM으로 촬영, 분석한다.ㆍAl-Cu상태도를 가지고 촬영된 SEM 사진의 대략적인 상태도에서의 위치를 파악한다.ㆍSEM 장비로 미세조직 촬영하는 방법과 SEM사진 분석방법을 습득한다.2. 실험 관련 기기다이아몬드 커터기, Mounting Press, 연마기, SEM(전자현미경), SandPaper, ion Sputter, 로Mold(카파)보론 나이트라이드로SEM다이아몬드커터기3. 실험관련 재료(1)알루미늄 [aluminium]원소기호 Al원자번호 13원자량 26.9815녹는점 660.4℃끓는점 2467℃비중 2.70(20℃)①알루미늄의 용도알루미늄의 가벼운 특성을 이용해 항공기, 선박,차량의 주요재료로 사용되고 전기의 양도체인 점을 이용하여 송전선을 만든다. 또 산화가 잘 일어나지 않으므로 식품공업이나 식기류 등을 만들기도 하며 그밖에도 페인트, 건축재료 및 원자재 등의 용도로 사용하기도 한다. 또한 잘 늘어나는 성질(연성)이 있어서 매우 얇게 만들 수 있으므로 주방용 호일이나 인쇄판, 고급포장용지, 통신장비, 반도체 및 컴퓨터의 전기, 전자부품, 레저용품 등을 만드는 등 다양하게 이용하고 있다.(2) 구리 [銅, copper]원소기호 Cu원자번호 29원자량 63.546녹는점 1084.5℃끓는점 2595℃비중 8.92(20℃)①구리의 성질적색 광택을 가진 금속으로, 전성(얇게 펴지는 성질), 연성(가늘고 길게 늘어나는 성질)이 뛰어나 비교적 가공하기가 쉽고 적당한 강도도 가지고 있다. 열 및 전기전도율은 은 다음으로 금속 중에서 두 번째로 커서 전선이나 열선의 주재료로 쓰인다.②구금 모두에 S 를 붙이고, 그 앞의 두 자리 숫자로 합금의 계통을 나타낸다.?그런데 1954년 미국알루미늄협회(Aluminum Asociation)에서 그 합금 번호(AA Number)를 통일하여 사용하게 되었다. 이 합금 번호는 네 자리 숫자로 되어있으며, 왼편에서 첫 자리 숫자는 다음과 같은 합금계를 나타낸다.1000계열 알루미늄(99.0%이상)2000계열 알루미늄Al-Cu계3000계열 알루미늄Al-Mn계4000계열 알루미늄Al-Si계5000계열 알루미늄Al-Mg계6000계열 알루미늄Al-Mg-Si계7000계열 알루미늄Al-Zn계8000계열 알루미늄기타9000계열 알루미늄예비4. 실험관련 이론(1)합금이란?합금이란 금속에 다른 원소를 한가지 이상 첨가하여 얻는 것으로 첨가제는 꼭 금속원소일 필요는 없고 완전히 녹아서 혼합되지 않아도 된다. 다만 합금이 금속의 성질을 꼭 가져야 한다. 합금은 고용되는 정도에 따라 각각의 원자가 가지는 성질이 줄어들게 되고 온도와 조성에 따라 성질과 형태가 변하는데 변하는 반응 중 가장 기본적인 4가지 반응을 공정반응, 포정반응, 공석반응, 포석반응이라고 한다. 이 4가지 반응을 간단한 반응식으로 나타내면 공정반응은 L →α( s)+β(s), 포정반응은 L +α( s)→β(s), 공석반응은 γ(s)→α( s)+β(s), 포석반응은 α( s)+ν(s)→β(s)로 나타낼 수 있다.합금을 만드는 이유는 필요한 특성의 금속을 얻기 위해 제작한다. 이를 크게 나누면 먼저 주축이 되는 금속의 결점을 보완하기 위해서 이고 다른 하나는 주축이 되는 금속의 특색을 더욱 강화하기 위해서이다. 보통 열처리를 하지 않고 첨가원소를 넣는 것으로도 순금속보다 경화도 및 전기저항도 내식성 등이 강화된다.합금을 만드는 가장 일반적으로 사용되는 방법은 성분금속을 호합하여 도가니에 넣고 녹이면 되지만 균일한 합금을 만들기가 어려우며 성분금속의 끓는점이 다르면 끓는점이 낮은 금속이 많이 휘산이 되기 때문에 원치 않는 성분이 될 수 있다. 또 비중 차이가 많이 균일한 물질로 된 것???★용액(solution) : 액체인 용체???★고용체(solid solution) : 고체 용체????㉠침입형 고용체 : 강, 질화강?????※침입형 원자 : C, H, O, N, B????㉡치환형 고용체 : Ag-Cu, Cu-Zn?????※규칙격자형 고용체 : ,Cu3Au, CuAu, CuAu3??????????2.금속간 화합물???★2종 이상의 금속원소가 원자의 정수비로 결합되어 성분 금속과는 다른 성질을 가진?독립된 화합물???★매우 단단하며 높은 용융점을 가진다.????ex)WC(초경공구 재료)??3.공정과 공석???(가)공정(eutectic)????일정한 온도에서 한 액체로부터 두 종류의 고체가 동시에 정출해 나온 혼합물????ex) C4.3%주철은 1130℃에서 레데부라이트????????※레데부라이트=오스테나이트+시멘타이트(혼합물)???????? ????(나)공석(eutectoid)????일정한 온도에서 한 고용체로부터 두 종류의 고체가 일정한 비율로 동시에 석출해서 생긴 혼합물(주로 층상조직)????ex) C0.8%강은 723℃에서 오스테나이트로부터 펄라이트 석출????????※펄라이트=페라이트+시멘타이트??4.금속의 상 변태???★상 변태(phase transformation)?????온도,압력의 변화에 의해 결정구조가 바뀌는 것고온온도강하저온단상평형상태응고동소변태석출규칙격자 생성공정반응공석반응마텐자이트 변태저온평형상태????????????????★확산형 상변태 : 개개의 원자가 열적으로 활성화된 이동으로 일어나는 변태????????????????????ex)공석변태, 석출현상, 순금속의 동소변태5.평형상태도??1.상태도 보는 법??(가)액상선과 고상선??(나)합금 조성의 표시???(ㄱ)천칭관계???(ㄴ)무게비????M금속 m⒢과 N금속 n⒢의 합금에서?????·M금속의 무게비(%)=m/(m+n)×100?????·N금속의 무게비(%)=n/(m+n)×100???(ㄷ)원자비????M, N금속의 원자수를 각각 p,q 라 할 ctron Microscope)SEM은 보다 최근에 개발되었으며 투과전자현미경과는 다소 다르다. 주사전자현미경은 전자가 표본을 통과하는 것이 아니라 초점이 잘 맞추어진 전자선(Electron Beam)을 표본의 표면에 주사한다. 주사된 전자선이 표본의 한 점에 집중되면 일차전자만 굴절되고 표면에서 발생된 이차전자는 검파기(Detector)에 의해 수집된다. 그 결과 생긴 신호들이 여러 점으로부터 모여들어 음극선관(Cathod Ray Tuve)에 상을 형성하게 한다. 주사전자현미경의 특징은 초점이 높은 심도를 이용해서 비교적 큰 표본을 입체적으로 관찰할 수 있다는 것이다.오른쪽 그림의 점선안쪽 그림과 같이 시료의 겉 표면 또는 부러뜨린 내부구조를 입체적으로 관찰하기 위하여 시료표면에 전자를 주사하여 얻어진 상을 CRT(모니터)에 영상화 시킨 것이 SEM이다.Fig4-1 전자현미경의 원리5. 실험방법① Al과 Cu의 비율을 알 수 없는 Al+Cu를 로에 넣은 후에 완전히 용융 시킨다.※용융시키기 전에 보론나이트라이드를 탄소용기 내부에 뿌려준다. →반응을 억제하기 위해서② 탄소봉으로 저으면서 Al과 Cu가 고체로 존재하는지 확인한다.③ 열전대를 로안에 넣어서 온도를 측정한다.④ Al과 Cu가 모두 용해되었는지 육안으로 확인한 후 로를 Off 시킨다.⑤ 용융후에 카파-금속몰드에 용융된 Al-Cu를 몰드에 붓는다.※붓기전에 몰드 주변에 먼지를 제거하고, 몰드내부에 급냉을 하기 위해 설치된 관에 물을 공급시킨다.⑥ 몰드에 의해 만들어진 ingot을 꺼내서 원하는 시편 크기로 자른다.⑦ 콜드 마운팅방법을 이용하여 Al-Cu 합금의 시편을 만든다.⑧ Polishing을 한다.?Sand Paper를 사용하였으며 #500→#1000→#1500→#2000→융 순서로 해서 마지막 Sand Paper까지 순차적으로 사용한다.?여기서 주의할점은 #500같이 거친표면에서 먼저생긴 스크레치는 #2000과정에서는 없애기 힘들기 때문에 일정한 힘으로 연마시켜야한다. 또한 물을 계속해서 일정하)과 어두운색(Al)이 공존을 하는 것으로 보아서 2가지 조성으로 된 것을 알 수 있고, 부분적으로 Al부분에 라멜라 구조가 형성된 것을 볼 수 있다. 냉각시 용융된 액상이 액상선을 통과하면서 α+L이 되고 이 과정에서 α(Al-어두운부분)가 석출이 된다. 그리고 고상선(공정 등온선)을 통과하면서 α+θ(Al2Cu)가 만들어진다. 즉 어두운 부분(Al)이 덩어리를 이루고 있는 것으로 보아 Al이 초석인 것을 알 수 있다.그래서 위 사진은 아공정부분의 미세조직사진이다.2조분석2조 SCE, BSC 사진에서 한가지 색으로만 나오는 것으로 보아서 조성이 하나라는 결론을 도출해 낼 수 있다. 위 사진만을 보고는 약 100% Al, Cu 조성을 정확하게 찾을 수는 없지만 폴리싱 과정에서 광택(다른시편과의 비교)과 처음에 Al+Cu 용융시 용융온도가 660℃ 정도에서 전부 용융된걸로 보아서 Al이 약100%라고 추정할 수는 있다. 그리고 용융중에 공기중의 산소가 들어가서 완전한 100%의 Al이 아니라 표면에는 약간의 산화마그네슘(Al2O3)이 형성되었을 것이다.1번째 사진에서 하얗게 나오는 부분은 2가지로 설명을 할 수 있는데, 1번째는 폴리싱과정에서 사용된 알루미나페이스트(Al2O3)가 제거되지 않아서 SEM사진에 나온 것이거나, 2번째는 금속박막을 입혔음에도 불구하고 약간의 전하적 Charging이 일어나서 그 부분이 하얗게 나온 것 같다. 위 사진은 Al(약 100%에 가까운)의 미세조직 사진이다.3조분석3조 사진을 보면 밝은색(θ상)과 어두운색(Al)이 공존을 하는 것으로 보아서 2가지 조성으로 된 것을 알 수 있고, 어두운(Al+θ)부분에 라멜라 구조가 형성된 것을 볼 수 있다. 냉각시 용융된 액상이 액상선을 통과하면서 θ+L이 되고 이 과정에서 θ(Al2Cu-밝은부분)가 석출이 된다. 그리고 고상선(공정 등온선)을 통과하면서 α(Al)+θ(Al2Cu)인 층상구조가 만들어진다. 즉 밝은 부분(Al2Cu,θ)이 덩어리를 이루고 있는 것으로 보아 θ가 초석인 것을 데,

공학/기술| 2008.09.28| 10페이지| 1,000원| 조회(1,604)

금속재료, 합금, Al-Cu, 신소재실험2

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Evaporation으로 제조된 Al박막의 두께 및 비저항 측정과 미세조직 관찰 실험

실험보고서제목 : Evaporation으로 제조된 Al박막의두께 및 비저항 측정과 미세조직 관찰 실험과 목 명 : 신소재실험Ⅱ담당교수 :학 과 : 신소재 공학과성 명 :제출일자 : 2007년 12월 14일비 고 : 3조Contents(목차)1. 실험관련이론 p1~p4- 이 실험을 하게 된 목적- 이 실험의 내용이 사용되는 응용 분야- 이 실험을 하게 된 이론적인 배경2. 실험방법 p4~p6- 실험에 사용된 재료- 실험에 사용된 재료와 공정 및 측정에 사용된 장비- 실험방법 및 공정 조건3. 결과 p7- 각 조의 sample로부터 박막 두께와 면저항 측정- 각 조에서 측정한 면저항을 이용하여 비저항 계산4. 고찰 p8~p9- 각도에 따른 면저항 데이터 분석- Al장입량과 박막두께의 관계- 전류와 비저항과의 관계- 2조 Tilt 사진과 6조 Tilt 사진 비교 분석- Fig 3-1에서 측정값이 예측을 벗어난 이유(의심되는 원인들을 지적하고 그 이유를 설명)5. 결론 및 제안 p10- 실험으로부터 얻은 결론- 보다 나은 실험을 위한 제안1. 실험관련 이론(1) 이 실험을 하게 된 목적반도체 재료로서 실리콘의 장점 중 하나는 산화 실리콘(SiO2)을 형성하기 쉽다는 점이다. 산화층은 반도체 소자제조에 있어서 표면보호, 확산 마스킹, 유전체의 역할 등 주요 기능을 하는 절연체이다. 전극재료인 Al을 Evaporation을 이용하여 박막 층을 형성하면 소자는 전도체가 되어 전류가 흐를 수 있다. 이번실험에서는 Evaporation 공정을 통하여 공정조건에 따른 Al박막 두께와 면저항을 측정하고, 측정한 데이터를 이용하여 비저항을 계산하고, 미세조직 사진을 분석한다.(2) 이 실험의 내용이 사용되는 응용 분야① 전기전자 특성 이용 (전도체, 절연체, 반도체)＊반도체, 디스플레이＊센서, 의료기기② 자기 및 광학적 성질 이용＊컴퓨터 및 하드디스크＊광학 데이터 저장매체 (CD, DVD)＊광학장치(무반사 코팅, 고반사 코팅)③ 포장 및 보호용, 색상의 이용＊가전, 정보통신 제품( 분야에서는 이러한 성질을 이용하여 thin film transistor-liquid crystal display (TFT-LCD) 등의 게이트 전극 물질(gate electrode material)에 사용이 된다.이런 기본적인 공정기술이 우리나라 전자산업을 선두로 이끌게 하는 원동력이 되고 있다.1)Evaporation (저항가열식 진공증착법)Evaporation은 1857년에 Faraday가 처음으로 행한 방법으로 이 방법은 박막제조법 중에서 널리 보급된 방법이라 할 수 있다. 원리는 간단하고, 진공중에서 금속, 화합물, 또는 합금을 가열하여 용융상태로부터 증발시켜 evaporated된 입자들을 기판 표면에 증착시키는 방법이다. 증발과정이 열교환과정이라는 점이 Sputtering과 다른 점이기는 하지만 이렇게 하여 만들어진 박막을 진공증착 박막이라 한다.제조된 박막재료는 금속, 합금, 화합물과 비금속 산화물 등이 있으며 이들 박막의 기능과 성질은 매우 다양하며, 사용범위는 소자의 소형화, 경량화, 초집적화의 추세에 따라 다방면으로 급격히 확산되고 있다.진공증착 박막방법의 장점은(1) 장치전체의 구성이 비교적 간단하다.(2) 매우 많은 물질에 쉽게 적용할 수 있다.(3) 박막이 될 수 있는 메카니즘이 비교적 단순하기 때문에 박막형성에 있어서 핵생성이나 성장이론과의 대응을 하기 쉽다.(4) 박막을 만들 때, 열적, 전기적 번잡함이 작기 때문에 박막형성시의 막의 물성연구(insituobservation)에 적합하다.(5) 열역학적으로 평형조건에서 되는 물질과 다른 결정구조를 지닌 물질이나 다른 성분비를 지닌 화합물을 만들 수가 있다.Evaporation은 고융점의 filament, basket 또는 boat등의 열적 source가 필요하며, 특히 잘 쓰이고 있는 열적 source재료로는 W(텅스텐), Mo(몰리브덴), Ta(탄탈) 등으로, 이 금속들의 박 또는 선을 적당한 형상으로 만들어 증발원으로 한 것으로, 증착재료를 놓고 증발원에 전류를 흘려 가열하여 물질박막증착 형성과정은 크게(1) 재료의 증발에 의한 기체상으로의 상변화(2) 증발원으로부터 기판까지의 원자 또는 분자의 이동(3) 기판위의 이들 원자 또는 분자들의 흡착(4) 기판 표면에서 particle들의 결합력의 변형 및 재배열 등의 물리적인 단계에 의해서 이루어진다.진공증착에 있어서 고려해야 하는 것중의 하나는 증발분자의 대부분이 다른 분자와 충돌하지 않고 직진하는 기판에 도착하도록 하는 것이다.잔류기체에 대한 악영향은 이들 잔류기체들이 증발되는 source재료와 함께 기판위에 같이 흡착되어 흡착된 박막의 순도 및 박막의 형태에 영향을 줄뿐만 아니라 박막물질의 직진이 방해되어 산란되는 증발원의 particle수를 증가시켜 원하는 증착율과 균일한 박막을 얻기 어렵게 한다.Vacuum evaporation에서 기판과 증발표면사이의 거리는 보통 10∼50 cm를 유지하므로 10-5torr이하에서는 대부분의 방출된 기체 원자들이 일직선(straight-line path)의 거동을 보인다고 간주하는 것이 가능하게 된다. 따라서 mass flow를 유지하기 위해서는 주어진 압력 하에서 가스의 MFP가 기판과 증발사이의 거리보다 커야 한다.이상에서 살펴본 바와 같이 저항가열법을 이용한 진공증착방법에서 증발원으로 방출된 분자들이 기판위에 증착되는 증착율은 source의 기하학적인 요소, source와 기판과의 상대적인 위치, 응축 계수(condensation coefficient)등에 의존함으로 이에 대한 세심한 주의가 필요하다.2) 진공관련 이론①진공이란?진공(Vacuum)의 어원은 비어 있음(empty)을 의미하는 그리스어로 부터 유래된다.실제로 공기중에 노출되어 있는 진공용기가 사용되므로 몇가지의 진공장치에 의해 공기가 제거됨으로서 진공상태를 얻게된다. 따라서 진공용기로 부터 제거되는 공기량에 따라 진공의 정도가 결정된다.현실적으로 전혀 공기가 존재하지 않는 진공용기를 얻는 것은 불가능하다. 만약 이것이 실현된다면 그러한 진공상태는 완전한 또는 절대적 진공으로 불 선박, 철도에 사용되고, 전기의 양도체인 점을 이용하여 송전선 등에 사용된다. 또, 식품공업, 식기류 등에서 알루미늄이 많이 이용 되는 것은 내식성과 인체에 해가 없는 점 때문이다. 이 밖에 페인트, 알루미늄박에 의한 포장이나 건축재료 및 원자로재 등 현재까지 매우 많은 용도가 알려져 있다.EvaporatorWafer 집게실리콘 웨이퍼Rotary Oil-sealed Mechanical PumpFour-Point Probe(면저항 측정기구)SEM(2)공정 및 측정에 사용된 장비①진공증착장치(Evaporator)진공증착장치는 기판위에 박막을 형성하는 기구로서, 주로 금속막을 증착한다. 진공증착장치의 구조는 챔버(Chamber), 전극, 제어부 및 배기라인과 냉각라인의 기본 시스템으로 되어 있다.위 진공증착장치는 기존의 진공증착장치와 동일한 구조와 기능을 가지고는 있으나, 증착Source를 장착하는 보트를 4개까지 설치하는 것이 가능하여 한번에 4층의 금속막을 진공을 유지한 상태에서 증착시키는 것이 가능하고 여러종류의 박막을 증착시키는 것이 가능한 다용도 진공증착장치이다.Fig2-1a는 박막을 증착할 때 사용한 진공증착장치의 개략도이다. 1차 펌프로는 저진공 펌프인 기계식 로터리펌프를 사용하고 2차 펌프는 고진공 펌프인 확산펌프를 사용한다. 증착기에서 사용하는 밸브는 release 밸브를 제외하고는 모두 공기압식 밸브를 사용한다. release 밸브는 갑작스런 정전이나 조작상의 실수로 인하여 로타리 펌프의 오일이 챔버와 배기 라인으로 역류하는 것을 방지하기 위한 솔레노이드식(Solenoid type)밸브로써, 정상작동 시에는 동작하지 않는다.Fig2-2b는 진공증착장치의 챔버내부 구조를 나타낸 그림이다. 챔버의 재질은 스테인레스로 되어 있으며 크기는 지름 400mm 높이 530mm인 실린더 형입니다. 챔버에는 압력을 측정하기 위한 피라니 게이지(pirani gauge)와 이온 게이지(ion gauge)가 부착되어 있고, 챔버내부로 증착 원료와 기판을 장착시키기 위고 기종이라 할 수 있다.Fig2-2a Rough Vacuum Pump 압력과 Pumping 스피드← Fig2-2b Rough Vacuum Pump③ Diffusion Pump (오일 확산 펌프)● 오일증기가 아래쪽을 향하여 분사되어 배기되는 가스 분자가 분사류속으로 확산하여 분사류 방향으로압축되어 배기된다.● 펌프용기, 확산펌프오일, 오일을 가열 증발시키는보일러 열원인 히터, 증발된 오일을 분사시키는젯트로 구성, 펌프용기에 오일증기를 응축시켜액체로 되돌리기 위한 수냉관이 감겨져 있다.● 펌프용기 아래쪽벽에 압축된 가스분자를 후단의오일 회전 펌프로 보내기 위해 배기구를 설치한다.Fig2-3a Diffusion Pump← Fig2-3b Rough Vacuum Pump 압력과 Pumping 스피드④ Four-point probe4-point probe technique은 반도체의 resistivity, 특히 Fig2-4와 같이 절연체위에 형성된 금속박막의 저항율를 측정하는데 있어서 가장 널리 사용되는 방법으로 특별한 보정 절차가 필요 없는 측정이 매우 간단하고 정확한 방법이다.4-point probe의 가장 큰 특징은 Fig2-4와 같이 4 개의 probe tip이 일정한 간격으로 떨어져서 일렬로 정렬되어 있다는 것이다. 물론 다른 형태도 가능하지만 대부분 Fig2-4와 같이 정렬되어 있다. 4-point probe의 기본적인 개념은 Probe 단자 1과 4에 일정한 전류를 흘려주고 Probe 단자 2와 3사이의 전압을 측정하여 전압과 전류사이의 비율을 이용하여 저항율을 계산하는 것이다.Fig2-4 Four-Point Probe(3) 실험방법 및 공정 조건실리콘 웨이퍼에 SiO2(산화막)을 1000Å 증착시킨 후 웨이퍼를 질소가스로 웨이퍼 표면의 이물질을 제거시킨 후(하지만 과정 생략), Evaporator(Polaron E6300)에 장착하고 알루미늄(Al) 0.025g을 증착하였다. Al 증착은 약 5×10-5 mbar 이하의 고진공에서 실시하며, 이때 전류는리가

공학/기술| 2008.02.24| 11페이지| 1,500원| 조회(1,513)

증착, AL, 박막, Evaporation

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탄소강(sm45c)의 열처리 방법에 따른 결정립 크기 관찰과 경도비교 평가A+최고예요

실험보고서제목 : 합금의 석출경화 및 기계적 특성 분석-탄소강의 열처리 방법에 따른 결정립 크기 관찰과 경도비교-과 목 명 :담당교수 :학 과 :성 명 :제출일자 : 2007년 9월 28일비 고 : 3조Contents(목차)1. 실험목적2. 실험 관련기기3. 관련재료4. 관련이론5. 실험방법6. 실험결과7. 결론8. 유의 및 보완 사항9. 참고 문헌1. 실험목적ㆍ미세 조직 관찰을 위한 시편 준비 과정을 습득한다.ㆍ열처리 방법에 따른 탄소강의 결정립 크기 변화와 경도 변화를 비교 관찰한다.ㆍ금속조직 내의 결정립의 크기를 측정하는 방법을 습득한다.2. 실험 관련 기기다이아몬드 커터기, Mounting Press, 연마기, 광학 현미경, 로크웰경도기, SandPaper부식액(에탄올93%,질산7%의 비율)로크웰경도기SM45C 시편로부식액커터기3. 실험관련 재료(1) 탄소강 : 단순히 강이라고 하는 것으로 불순물로서 규소·망간·인·황을 불순물로 함유하고 있지만, 철과 탄소의 합금 중에서 열처리가 가능한 0.05∼2.1%의 탄소를 함유한 것을 말한다.상태도(狀態圖)에 표시한 바와 같이 탄소량 0.9%인 곳을 경계로 해서 조직이 변하여 이것보다 저탄소(低炭素)에서는 페라이트라고 하는 소량의 탄소가 들어 있는 비교적 연한 철의 상(相)이 있는데 이 사이를 페라이트와 시멘타이트 Fe3C가 쪽 매널 세공과 같이 잘게 혼합된 상(펄라이트)이 메우고 있다. 탄소량이 증가할수록, 이 펄라이트의 비율이 증가하여 0.9% 탄소에서 전부 펄라이트가 된다. 이것보다 고탄소측에서는 시멘타이트 사이를 펄라이트가 메운 조직으로 되어, 탄소량이 많을수록 시멘타이트가 증가하여 1.5%에서 약 10%가 된다. 이 때문에 0.9%까지는 탄소가 증가하는 데 따라 단단해진다.① SM45C (구조용 탄소강)특성?- 구조용강 탄소강은 기계적 성질이 우수하고 열처리에 의해 성질을 개선시켜 사용하며 (일반적으로 소둔, 소준, 소입?소려의 열처리를 거쳐 사용), 구조용 합금강은 구조용 탄소강의 기계적 성질을 합금원상온 메짐(cold shortness)이다.㉣황(S) -- 황은 MnS로서 존재하며, 슬래그의 일종이다. 망간의 양이 적으면 재질이 메진FeS로 되어 결정립계에 분포하고, 인장 강도, 연신, 충격값을 줄인다. 특히, 고온에서 그 해가 크다. 즉, 이것은 고온 메짐 또는 적열 메짐이다. 이상의 원소 외에도 강의 기계적 성질에영향을 주는 원소는 구리, 산소, 질소, 수소 등이 있다. 이상의 기체 이외에도 비금속 개재물로서 여러 가지의 산화물, 황화물 및 규소염 등이 강 중에 존재할 때에는 강의 기계적 성질을 저하시키는 영향을 준다.◆ 탄소량과 성질의 변화??탄소강의 성질은 기본적으로 탄소조성에 의해서 결정되며, 탄소량이 일정해도 가공상태나 열처리조건에 따라서 그 성질은 현저하게 변화된다. 본절에서는 표준상태의 탄소강의 성질에 관해서만 공부하기로 하고, 가공이나 열처리에 의한 성질변화는 다음 장에서 서술하기로 하자.??우선 표준조직이라고 하는 것은 탄소강을 Ａ3 및 Ａcm 온도 이상 30∼50℃로 가열하여 균일한 오스테나이트로 만든 후 상온으로 공랭시켰을 때에 형성되는 조직으로서, 아공석강에서는 페라이트와 펄라이트, 공석강에서는 펄라이트, 그리고 과공석강에서는 시멘타이트와 펄라이트로 된다.⑴ 물리적 성질과 화학적 성질??전술한 바와 같이 강은 페라이트와 시멘타이트(Fe3C)로서 이루어진 혼합조직을 갖고 있고, 이 조직의 혼합비율은 탄소량에 의해서 결정되기 때문에 탄소강의 물리적 성질은 탄소량에 따라 직선적으로 변화된다. ???그림 1.3는 탄소강에서 탄소량에 따른 물리적 성질의 변화를 나타낸 것이다. 그림에서 보면 탄소강의 비중, 열팽창계수 및 열전도도는 탄소량이 증가함에 따라서 감소되지만, 비열, 전기저항 및 항자력은 증가된다.한편 탄소강의 내식성은 탄소량이 증가될수록 감소하고, 소량의 Cu가 첨가되면 내식성이 향상된다.?Fig 1.3. 강의 물리적 성질변화?⑵ 상온 기계적 성질?탄소강의 탄성계수(Young's modulus) E는 20000∼22000㎏／㎜2, 67%의 탄소를 함유하고 있다. 결정구조는 그림 2.2와 같이 단위격자당 12개의 Fe원자와 4개의 C원자를 가지는 사방정(orthorhombic)이고, 매우 硬하고 취약한 성질을 가지고 있다.??(4) δ페라이트??δ철의 탄소고용체를 δ페라이트라고 하며, α 페라이트와 마찬가지로 BCC 결정구조를 가지지만 격자상수가 다르다. δ페라이트내의 최대탄소 고용도는 1495℃에서 0.09%이다.?4. 실험관련 이론(1) 열처리란?가열(加熱)과 냉각(冷却)을 적절하게 조절하여 금속재료의 여러가지 성질을 변화 또는 개선시키는 기술재료를 평형상태도에 나타난 그대로의 안정상태로 만들기 위한 처리방법이다. ‘어닐링’이라고도 하는데, 이전에는 ‘소둔’(燒鈍)이라고 하였다. 상변화(相變化)가 온도의 오르내림에 따라 일어나는 재료에서는 충분한 시간에 걸쳐서 천천히 냉각시킴으로서 상태도에 나타난 것만큼의 변화를 전부 완료시켜서 안정된 평형상태로 한다. 고온상태에서 천천히 식혀서 확산에 의해 각 온도에서 평형상태를 그 때마다 잡으면서 냉각될 수 있는 시간을 준다. 이 밖에 가공 ·주조 ·조사(照射) 등에 의해 변형이 생기거나 격자결함(格子缺陷)이 생겨서 굳은 결정고체에서는 그 속에서 주체가 되는 성분의 원자가 충분히 확산해서 움직일 수 있는 온도, 즉 재결정(再結晶)온도 이상으로 적당한 시간 가열해서 목적을 달성한다. 풀림하여 얻을 수 있는 상태는 그 재료에 있어서 가장 부드러운 상태일 때가 많으므로, 풀림이라는 말에는 가장 연한 상태를 얻는 열처리 조작이라는 느낌이 내포되어 있다. 이 때문에 석출경화형(析出硬化型) 합금인 베릴륨 구리에서는 완전히 고용(固溶)되는 온도까지 가열해서 급랭하여, 과포화고용체(過飽和固溶體)를 얻으면, 그 합금에서의 가장 연한 상태가 되기 때문에, 이 조작을 용체화(溶體化) 담금질, 또는 용체화 풀림(solution annealing)이라고도 한다.- 노말라이징, 어닐링, 퀜칭, TEMPERING 등(2)열처리의 목적1. 기계적 성질의 개선1) 경 도 : 어한 결정립크기는 냉각속도에도 관계하는데, 일반적으로 냉각속도가 클수록 결정립은 미세해진다.? 이러한 결정립의 크기에 따라 기계적성질에 많은 영향을 주는데, 항복응력과 결정립크기와의 사이에는 다음과 같은 관계식이 성립된다.???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????? ?여기서 ??= 항복강도?????? ???? = 입내에서 전위의 이동을 방해하는 마찰응력?????? ???? ?= 상수????? ????? ?= 결정립의 직경??이 식을 Hall-Petch 관계식이라 하는데, 대부분의 결정질 재료의 항복강도는 결정립크기가 미세할수록 증가한다는 것을 나타내고 있다. 이와같이 결정립이 미세할수록 금속의 항복강도뿐만 아니라 피로강도 및 인성이 개선되므로 실제로 금속재료분야에서 결정립의 미세화는 매우 중요한 기계적성질 개선책으로 이용되고 있다.?5. 실험방법[1] 시험편의 제작SM45C(탄소강) 시험편을 약 1Cm의 크기로 자르고 같은 시편을 4개 만든다.시험편 4개 중에 3개를 1050℃의 온도에서 3시간정도 용체화 처리를 실시하고 Quenching시킨다. 이때 1개 시편은 열처리를 하지 않는다. 용체화 처리를 실시한 3개의 시험편 중에서 1개의 시편을 열처리로에서 꺼내어 수돗물(약 20℃~30℃)에서 1초간 냉각시켰다가 공냉시킨다. 그 이유는 수냉만 실시할 경우 말텐사이트 조직의 Grain Boundary가 깨지기 때문에 물에 잠깐 담궈서 온도를 다소 낮춘후 TTT곡선의 Nose 부분을 지난 부분에서 냉각을 하면 말텐사이트 조직이 나올 것이다. 남은 2개의 시편은 각각 공냉(공기 중에서 냉각), 로냉(열처리로 내에서 서서히 냉각) 과정으로 시편을 냉각시킨다.[2] 시험편의 채취와 절단(1) 시험편의 채취시험편의 채취방향 및 그 위치는 각기 시험목적에 따라 다르고 시험 담당자의 판단에 맡겨지는 일이 많아 현미경시험편의 채취는 그 시기, 상태에 따라(a) 먼저 이루어진촉매 등의 경화제를 가하여 잘 혼합한 다음 조합된 수지액을 형틀내에 주입하여 방치하면 15~60분 내에 중합이 완료되어 응고경화한다.그때의 발열 온도는 100℃이하이다. 경화후에 형틀로부터 성형품을 굴리어 빼내게 된다.② 가열 프레스에 의한 수지 마운팅마운팅에 쓰여지는 수지에 분말로 되어 쉽게 굳어지는 열경화성의 훼놀수지, 디아릴수지(유리섬유 또는 아스베스트 포함), 또는 열가소성 아크릴수지 등이 있다. 전용의 가열, 가압프레스는 그의일례를 쓰게 된다. 장치의 형식에 따라서 25, 30 또는 40mm의 마운팅 처리가 되어진다. 조작방법은 다음과 같다. 전원을 넣은 히타에 의해 형전체를 135℃~150℃에 유지한 후(온도조절기부), 실린더, 피스톤, 람의 내면에 이형제를 바르고 피스톤면상의 중앙에 피검면을 놓고 수지재를 그 위에 넣은 후 덮개를 덮고 람을 고정시켜 유압핸들을 조작함으로서 피스톤을 눌러 가압하게 된다. 형내의 소요압력은 150~200kg/cm²(압력계에 의한), 가압소요시간은 약5분(타이머부).제압한 다음 덮개를 치우고 핸들을 풀어서 성형품을 뽑아낸다. 열경화성수지에서는 100℃도 좋지만 열가소성수지는 75℃이하까지 냉각한 후에 빼낸다.성형싸이즈와 비교하여 시험편이 크다든지 예리한 각부가 있으면 성형품이 완전치 못한 경우가 있다.[4] 연마작업(조연마)시험편의 피검면은 먼저 평면연삭반이나 그라인다에 의해 조연마를 한다. 혜면도 피검면과 같은 수평으로 가공하면 현미경관찰이 용이하게 되고 또 여기에 계속되어 이루어지는 미크로비커스 경도 시험에도 좋다.벨트샌드는 조연마용에는 손쉽지만 공시면이 면이 되기 때문에 좋지 않다.한편 지석캇터에 의한 절단면은 표면조도 상태가 좋으므로 그대로 연마지 공정에 들어가게 된다.이러한 상태로 시험편의 각 및 주변을 줄 또는 그라인다 등으로 다듬어주면 연마지나 폴리싱포의 찢어지는 것을 방지할 수 있으므로 취급하기에 편리하다.[5] 연마작업(중간연마)중간연마는 연마지 상에서 피검면을 닦는 작업으로서 그 표면조도를 순차적으로

공학/기술| 2007.10.07| 22페이지| 1,500원| 조회(6,623)

실험, 열처리, 경도, 탄소강, 실험방법

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