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evaporator rf sputtering 스퍼터링 RF-magnetron sputtering 반도체 공정 photolithography

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"rf sputtering" 검색결과 1-20 / 372건

rf-sputtering법에 의한 MgO 나노점의 형성 연구 (MgO nanodot formation using the rf-sputtering method)

한국초전도저온학회 정국채, X. L. Wang, S. X . Dou, 유재무, 김영국

논문 | 4페이지 | 무료 | 등록일 2025.06.27 | 수정일 2025.07.04

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Characterization of transparent ATO conducting films prepared by RF magnetron sputtering (Characterization of transparent ATO conducting films prepared by RF magnetron sputtering)

한국결정성장학회 이성욱, 홍병유, 박용섭

논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.26 | 수정일 2025.05.14

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RF magnetron sputtering법으로 형성된 ZnO 박막의 투명반도체 특성 (The Transparent Semiconductor Characteristics of ZnO Thin Films Fabricated by the RF Magnetron Sputtering Method)

한국반도체디스플레이기술학회 김종욱, 황창수, 김홍배

논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.05.06 | 수정일 2025.05.17

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RF 스퍼터링 법으로 HgCdTe 위에 형성된 Silicon Nitride 표면보호막의 특성 (RF magnetron sputtering of Silicon Nitride on HgCdTe and its interfacial characteristics)

한국물리학회 안세영, 이상훈, 서상희, 김진상, 정용철

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.27 | 수정일 2025.05.14

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RF sputter를 이용한 실리카 증착 고 내구성 반사 방지막 제조 (High Durable Anti-Reflective Polymer with Silica Nanoparticle Array Fabricated by RF Magnetron Sputter)

한국표면공학회 전성권, 정은욱, 나종주, 권정대

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.27 | 수정일 2025.05.14

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RF 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 AlOx 봉지 박막을 갖는 OLED 소자의 수명 특성 (Life time characteristics of OLED device with AlOx passivation film deposited by RF magnetron sputtering)

한국표면공학회 안오진, 주성후, 양재웅

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.03.13 | 수정일 2025.03.28

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RF-magnetron sputtering을 이용한 TiIZO 기반의 산화물 반도체에 대한 연구 (Effect of Titanium Addition on Indium Zinc Oxide Thin Film Transistors by RF-magnetron Sputtering)

대한전자공학회 우상현, 임유성, 이문석

논문 | 7페이지 | 무료 | 등록일 2025.02.10 | 수정일 2025.02.15

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RF 마그네트론 스퍼터링 공정으로 PET 기판 위에 제조한 Ga-doped ZnO 투명전도막의 특성 (Properties of Ga-doped ZnO transparent conducting oxide fabricated on PET substrate by RF magnetron sputtering)

한국마이크로전자및패키징학회 김정연, 김병국, 이용구, 김재화, 우덕현, 권순용, 임동건, 박재환

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.27 | 수정일 2025.05.14

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질소이온 빔 보조 마그네트론 스퍼터로 증착 된 AlN 박막의 물성연구 (A study on the properties of AlN Films deposited with nitrogen ion beam assisted RF magnetron sputtering)

한국열처리공학회 허성보, 이학민, 정철우, 유용주, 김대일, 이병훈, 김민규, 최대한

논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.22 | 수정일 2025.05.13

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RF sputtering으로 증착된 ZnO 박막을 전자 수송층으로 사용한 양자점 발광 다이오드에 관한 연구 (A Study on the ZnO Thin Film Deposited by RF Sputtering Method as an Electron Transport Layer in Quantum Dot Light-Emitting Diodes)

대한금속·재료학회 강명석, 김지완

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.07.11 | 수정일 2025.07.19

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RF-sputtering 에 의해 제작된 In₂O₃(ZnO)m, m=1,3,5 박막에 대하여 증착시 유입되는 산소 양에 따른 효과 (Effects of Oxygen Concentration Introduced During the Deposition for RF-supttered In₂O₃(ZnO)m, m=1, 3, 5 Thin Films)

한국물리학회 김화민, 이병로

논문 | 8페이지 | 무료 | 등록일 2025.06.07 | 수정일 2025.06.10

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전자빔 조사에 의해 표면열처리된 AZO 박막의 물성변화에 관한 연구 (A Study on the properties of AZO Films surface-annealed by RF magnetron sputtering and electron beam radiation)

한국열처리공학회 신창호, 정철우, 김유성, 채주현, 김대일

논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.05.17 | 수정일 2025.05.22

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RF-스퍼터링법을 이용하여 Ni-W 금속기판에 연속공정으로 증착된 Y2O3 완충층 특성 연구 (Reel-to-reel Deposition of Y2O3 Buffer Layer on Ni-W Metal Substrates by the RF-sputtering)

한국초전도학회 정국채, 정태정, 최규채, 김영국, X.L.Wang, S.X.Dou

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.07.11 | 수정일 2025.07.19

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고주파 스퍼터타입 이온소스를 이용한 비질량분리형 이온빔증착법에 관한 특성연구 (Fundamental characteristics of non-mass separated ion beam deposition with RF sputter-type ion source)

한국진공학회 임재원, MinoruIsshiki

논문 | 8페이지 | 무료 | 등록일 2025.05.17 | 수정일 2025.05.22

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DC, RF 마그네트론 코스퍼터링법으로 증착한 ZTO/GZO 투명전도성막의 열처리 조건이 박막의 물성에 미치는 영향 (Effect of Annealing on the Electrical Property and Water Permeability of ZTO/GZO Double-layered TCO Films Deposited by DC, RF Magnetron Co-sputtering)

한국표면공학회 오성훈, 강세원, 이건환, 정우석, 송풍근

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.26 | 수정일 2025.05.14

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나노 분말 타겟을 사용하여 고주파 마그네트론 스퍼터링 방법에 의해 제작된 ITO 박막의 투명전도 특성 (Tramsparent conducting properties of ITO films prepared by rf-magnetron sputtering method using a nano powder target.)

한국물리학회 유성원, 안정선, 김화민

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.03.17 | 수정일 2025.03.28

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졸-겔 법 및 스퍼터링 법으로 제작한 p-NiO/n-ZnO 이종접합 소자의 특성조사 (Characterization of p-NiO/n-ZnO Heterojunctions Fabricated by Using Sol-gel and RF-sputtering Techniques)

한국물리학회 최원진, 정진주, 김도형

논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.03.17 | 수정일 2025.03.28

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고주파 마그네트론 스퍼터링 방법을 사용하여 SiO2 버퍼층이 있는 polyethylene terephtalate 위에 성막된 (In2O3)77(ZnO)23-x(SnO2)x, x =4, 6, 8, 10 wt. 박막의 투명전도 특성 (Transparent and conducting properties of (In2O3)77(ZnO)23-x(SnO2)x, x =4, 6, 8, 10 wt.% films deposited on PET with SiO2 buffer layer by rf-magnetron sputtering methode)

한국물리학회 우병재, 김화민, 안정선

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.07.11 | 수정일 2025.07.19

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RF sputtering

RF sputtering(1) sputtering plasma 발생 oscillating power source를 사용하므로 DC방법보다 많은 장 점이 있다.- 부도체재료를 s ... 도체일 필요는 없다. 효과적인 sputtering을 위해서는 coupled electrode의 키기가 direct electrode의 크기보다 작아야 한다. RF 발생기를 직접 ... 반응을 이용하여 절연막을 증착시키는 방법도 사용된다.거의 모든 물질이 RF discharge에서 sputter되지만, 생성된 막이 target의 조성과 반드시 일치하지는 않

Non-Ai HUMAN
| 리포트 | 12페이지 | 3,000원 | 등록일 2012.12.24 | 수정일 2013.11.17

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RF reactive magnetron sputtering으로 제조한 TiO2 박막의 구조 및 광학적 특성

한국재료학회 강계원, 이영훈, 곽재천, 이동구, 정봉교, 박성호, 최병호

Non-Ai HUMAN
| 논문 | 6페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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