< (특집) 포토공정 심화 정리14편. PSM, OPC, RELACS Process, Multi Patterning >이번시간은 'Photo공정상 생기는 문제극복을 위한 개발방향 ... .?>>>> OAI + OPC + PSM 기법을 적용하였을 때의 분해능 향상 효과??⑦ RELACS Process?- 수용성 물질로 Contact hole size를 기본보다 작게 줄일 수 ... 있는 기술입니다. (한동안 쓰다가 잘 안씀)- RELACS Agent coating 후 Bake → PR 경계에서 Crosslinking (PR 맞닿는 부분은 안녹음)
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