을 통해 분석 이후 데이터를 기반으로 공정 및 유관 부서로 전달하는 능력을 키웠습니다.[공정 실습] PECVD 공정을 실습하며 박막 공정을 이해하고 온도,압력,N2,SiH4,N2O ... 증착 비율의 변화를 보고,생산성을 위한 증착 속도를 빠르게 하면서 산포와 WER 특성의 최적점을 찾아야 한다는 생각도 가질 수 있었습니다. 이 경험을 통해, PECVD 공정에서 보이 ... 작성을, 통계학과가 전공인 2명은 전공을 바탕으로 PPT와 논문 작성 역할을 맡았습니다. 이러한 역할분담을 통해 프로젝트를 진행해 보니 어려움이 생겼습니다. 코드 작성 과정
Resistive evaporation- One of the simplest processes of vacuum deposition- Materials such as iron, nickel, aluminum, copper, tin, silver, gold and pla..
CVD) 2) 여기 에너지 에 따른 분류 ① Thermal Energy : APCVD, LPCVD ② Plasma Energy : PECVD ③ Photon Energy ... ) 로 웨이퍼가 투입되서 생산성 좋음 . 장점 단점 좋은 순도 높은 온도 균일도 좋은 step coverage 낮은 증착률 대량으로 처리 가능PECVD(plasma e ... , PECVD 와 같이 박막 증착 방법에 따라 종류를 구분했던 것과 달리 MOCVD 는 사용하는 원료 소스의 형태로 분류한 것 . 장점 단점 낮은 온도 소스 자체에 탄소가 들어있어 탄소