된다. 석영도가니(QUARTZ CRUCIBLE)내에 POLY SILICON을 쌓아 올리는 작업을 STACKING이라 하며, POLY SILICON이 완전히 용해(MELT DOWN)하는데 ... 많은 시간이 소요된다. STACKING하는 방법은 먼저 석영도가니(QUARTZ CRUCIBLE)[그림3]에 DOPANT를 넣고, POLY SILICON의 가장 작은 조각을 석영 ... 도가니(QUARTZ CRUCIBLE) 중간에 위치하게하고,중간 정도의 크기를 맨윗 부분에 놓으며, STACKING이 끝난 후, 그 모양이 돔(DOME)형태가[그림4] 되어야 한다
는 작업을 Stacking이라 하며, Poly-Si이 완전히 용해(Melt Down) 하는데 많은 시간이 소요된다. Stacking은 먼저 석영 도가니에 Dopant를 넣고, Poly ... -Si의 가장 작은 조각을 석영 도가니 중간에 위치하게 하고, 중간 정도의 크기를 맨윗 부분에 놓으며, Stacking이 끝난 후, 그 모양이 돔(Dome)형태가 되도록 한다.이때 ... Stacking시 청결해야 하며, 어떠한 불순물도 석영 도가니 안에 들어가게 해서는 안된다. 또한 항상 Clean Bench를 사용해야만 하며, 작업자는 필히 보안경과 비닐 장갑