) Lift-Out Technique Micro-manipulator ▶ Detach thin area from bulk material ▶ Micromanipulator ▶ TEM ... Particle Main Signal Electron (Secondary Electron) Back Scattered Electron Other Signals X-ray Auger ... nm spot size at 1 pA I on 500 V ~ 30 kV Ga + B eam 1pA to 20 nAFIB(Focused Ion Beam) Particle FIB
로는 식 접근의 경우 자기 조립과 입자 조작 공정, 식 접근의 경우 나노 수준의 가공 및 리소그래피 공정을 주목할 만 하다. 나노 입자 조작(Nano Particle ... Manipulation)의 경우 나노 스케일의 팁을 이용하여 원자 혹은 분자를 개별적으로 조작하는 공정으로 나노 패터닝을 비롯하여 분자 단위의 결합, 이를 이용한 Bio-engineering 등 ... 으로 구분될 수 있다. 전자 소자의 경우 단전하 소자를 비롯한 극소형-고집적 반도체 소자가 주류를 이루고, 기전 소자의 경우에는 현재의 MEMS(Micro-Electro