Selective Atomic layer deposition) ALD 최근 기술 동향 기존의 ALD : Precursor 가 기판에 접촉하는 면적 , 위치 제어 불가능 ↓ AS-ALD ... to? (a1) selective precursor adsorption (a2) selective reactant adsorption (b) Selectively ... Area-Selective Atomic Layer Deposition of SiO2 Using Acetylacetone as a Chemoselective Inhibitor in