"티타늄승화펌프"의 검색결과 입니다.

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진공펌프 bayard-alpert gauge cvd AR coating

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"티타늄승화펌프" 검색결과 1-18 / 18건

대표적 4가지 진공펌프(확산펌프,터보펌프,게터펌프,티타늄승화펌프[TSP])

확산펌프-고진공을 만드는 데 사용되는 장치로서 일정한 방향으로 흐르는 증기, 즉 분류(噴流)를 만들고, 그것에 의해 주위의 기체분자를 함께 운반하는 작용을 이용한 진공펌프이 ... 다. 주로 작동액을 오일을 사용하는 오일확산펌프가 대부분이다1)구성-펌프용기, 3단의 우산형 제트분사 노즐, 보일러, 히터, 수냉관, 배기구2)배기원리①히터에 의해 하단부에 고인 오일이 ... ③저진공 펌프 연속 가동④운전사고에 대한 영향 높음4)오일 확산 펌프용 오일의 특징①상온에서 낮은 증기압을 유지해야 한다.②열에 대해 안정적이고 화학적으로 불활성이어야 한다

리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2011.06.27

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진공펌프

되는 물질을 게터라고합니다.14. 승화펌프승화펌프의 기본원리는 게터펌프와 동일합니다. 단지 여기서는 흡착물질로 티타늄의 얇은 판막을 형성하게 함으로써, 여기에 가스 입자를 흡착 ... 진공펌프의 기초이론1. 토리첼리의 실험1643년 이탈리아의 물리학자 토리첼리는 유리관과 수은을 사용하여 다음과 같은 실험을 하였습니다. 즉,단면적1cm인 한쪽 끝이 막힌 길이 1 ... 하기로하고, 각 펌프의 기본 작동 원리만 간략 하게 설명한 다음 중요한 특성만을 열거해 보기로 하겠습니다.1)로타리 베인 펌프일반적으로 가장 많이 쓰이는 진공펌프로, 기본 원리

리포트 | 15페이지 | 1,000원 | 등록일 2013.03.25 | 수정일 2021.01.18

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각종 진공 펌프 원리 사용방법 sputter

(turbomolecular pump)Ultra high pump1x10^-8 torr 이하티타늄 서블리메이션 펌프(Titanium Sublimation Pump)이온 펌프(Ion pump ... 스크롤펌프클로펌프운동량 전달식분자펌프분자드래그펌프터보분자펌프유체분사식확산펌프액체제트펌프이젝터펌프내부 흡수식흡착식표면흡착수착펌프화학흡착게터펌프티타늄승화펌프스퍼터이온펌프응축식저온응축 ... 1. 각종 진공 Pump 원리 및 사용 방법1. 진공펌프의 구분압축배출식용적식왕복 운동식피스턴 펌프다이어프램펌프회전식액체링펌프회전베인펌프회전피스턴펌프트로코이드펌프루츠펌프스크류펌프

리포트 | 8페이지 | 2,000원 | 등록일 2011.06.03

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박막 증착에 관한 진공장비(시스템) 소개 및 원리 숙지

수를 제거하여 압력을 낮추는 펌프종류로터리 펌프(rotary vane pump)이온 펌프(Ion pump)루츠 펌프(Roots pump)Cryogenic pump오일 확산 펌프 ... (Oil diffusion pump)Getter pump터보 분자 펌프 (turbo-molecular pump)여러 가지 진공펌프의 작업 가능 압력3) 펌프 종류 및 특징① 로터리 ... 펌프(rotary vane pump)로터리 펌프의 내부구조 및 작동순서일반적으로 실험실에서 저진공 용도로 가장 많이 사용되는 로터리 펌프의 구조와 작동 순서를 나타내었다. 로터리

리포트 | 21페이지 | 1,000원 | 등록일 2012.04.21

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진공증착 (Sputtering)_pre

스퍼터링 증착방법의 원리를 알아본다.그리고 증착된 박막의 구조가 압력, 전류에 따라 어떻게 변하는지 확인해본다.Ⅱ Theory1. 진공펌프진공펌프(vacuum pump)는 대기압 이하 ... .저진공 펌프고진공 펌프초고진공 펌프760~1×10-3 torr-rotary vane, oil sealed mechanical pump-sorption pump-venturi ... ×10-8 torr이상-titanium sublimation pump-ion pump-non-eavaporable getter pump(NEG)전형적인 결합상태는 다음과 같다.1) 저

리포트 | 9페이지 | 5,000원 | 등록일 2011.06.10

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주조응고실습 진공도 및 압력 측정 예비 + 결과 + 고찰 보고서

펌프1×10-8torr와 그 이하로터리 펌프셕션 펌프Dry진공 펌프(oil free)오일확산 펌프터보분자 펌프크라이오 펌프티타늄 승화 펌프(Titanium Sublimation ... (rotary vane pump), 터보 분자 펌프(turbo-molecular pump)등 대부분의 기계적인 펌프가 이에 속한다.? entrapment 펌프 : 배기시킨 기체가 여전히 ... 진공 용기나 펌프 속에 남아 있는 경우.‘포획 펌프(capture pump)'라고도 부른다. 진공 용기 내부의 공간으로 부터 기체분자수를 제거하면 압력이 낮아지므로 이런 것들도 펌프

리포트 | 12페이지 | 2,500원 | 등록일 2010.03.16

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진공의 정의, 펌프 그리고 측정

로 최저도달 압력을 낮추는 악영향을 미친다.2) 루츠 펌프(Roots pump)그림3. Roots pump의 작동원리그림3에서 보듯이 평행한 축에 달린 ‘8’자 모양의 두 개의 회전자 ... 이mp티타늄(Ti)과 같이 화합물 형성이 쉬운 물질을 필라멘트나 덩어리 형태로 가열하여 진공 펌프 벽에 증착하면, 펌프내로 들어온 가스와 hydride, oxide, nitride ... 진공의 정의, 펌프 그리고 측정1. 진공이란?2. 진공펌프가. 진공펌프의 분류나. Positive displacement 펌프다. Entrapment 펌프라. 그밖의 펌프3

리포트 | 21페이지 | 1,000원 | 등록일 2010.08.23

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화공실험 보고서

열 수 있는 압력을 낮추어 밸브작동을 어렵게 하고, 흡입과정에서의 기화로 최저도달 압력을 낮추는 악영향을 미친다.?루츠 펌프(Roots pump)그림3. Roots pump ... 을 하면 이상적이라 하겠다.?오일 확산 펌프(Oil diffusion pump)(B)그림4. 오일확산 펌프의 구조(A) 및 작동 원리(B)그림4에서 보듯이 그 구조는 크게 히터 ... 의 은 충격에도 망가질 수 있으므로 사용에 각별히 주의해야 한다.▶Entrapment 펌프?이온 펌프(Ion pump)그림8. Ion pump의 작동 원리이름에서 짐작할 수 있

리포트 | 20페이지 | 2,000원 | 등록일 2008.12.21

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Evaporator 원리및 설명, 진공의 종류및 응용

PUMP)이젝타펌프 (STEAM EJECTOR/GAS EJECROR)흡착 펌프 (ABSORPTION PUMP)이 온 펌프 ( ION PUMP)게터 펌프 (GETTER PUMP)승화펌프 ... metal O-ring gaskets, sputter ion pumps (SIPs) and getter pumps such as titanium sublimation pumps ... 로타리 베인 펌프 (DRY-RUNNING ROTARY VANE PUMP)만유식 로타리 베인 펌프 (OIL FLOODED ROTARY VANE PUMP)순환 급유식 로타리베인 펌프

리포트 | 9페이지 | 1,000원 | 등록일 2009.06.06

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진공 기초 (진공 기술 및 펌프)

ion pump스퍼터이온펌프titanium sublimation pump티타늄승화펌프getter pump게터펌프화학흡착sorption pump수착펌프표착흡착흡착식내부흡수 ... 의 동작원리 에 따라 기체를 펌프 박에 압축배출하는 압축배출식 펌프와 펌프내면에 저장 하는 내부흡수식 펌프로 크게 나눌 수 있다.cryo pump저온펌프저온응축응축식sputter ... 식ejectors이젝터liquid jet pump액체제트펌프diffusion pump확산펌프유체분사식Turbo molecular pump터보분자펌프molecular drag pump분자드래그펌프

리포트 | 19페이지 | 3,000원 | 등록일 2008.08.25 | 수정일 2017.12.04

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cvd

셕션 펌프 Dry진공 펌프(oil free)고진공펌프 오일확산 펌프 터보분자 펌프 크라이오 펌프초고진공펌프 티타늄 승화 펌프 이온 펌프 무증발 Non-Evaporable 펌프작동 ... 함 불규칙한 운동을 하는 분자의 pumping 확률을 높임.펌프의 종류 및 원리1. 로터리 펌프 2. 오일 확산 펌프 3. 터보분자 펌프펌프의 분류작동 압력저진공 펌프 로터리 펌프 ... 하여 기체를 흡입하고 압축. 이온 펌프 등Rotary Vane Pump가장 많이 쓰이는 진공펌프 약 10-3 Torr 정도 압력 1500-2000 rpm 산업 전반에 가장 많이 쓰임

리포트 | 50페이지 | 2,000원 | 등록일 2009.05.11

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[재료공학실험] 표면 분석 장치 XPS와 XPS 내에 작동하는 네가지 펌프

펌프5. 티타늄 승화펌프(titanium sublimation pump, TSP)티타늄원소(Ti)를 filament 또는 덩이 형태를 heater를 가지고 가열하여 승화 ... 시킨다. 승화된 티타늄은 진공펌프내의 넓은 벽에 증착이 되는데 티타늄은 화학적으로 반응성이 좋아 수소, 산소, 질소들의 분자들과 결합하여 titanium hydride, oxide ... XPS에 이용되는 펌프는 로타리 펌프, 터보분자 펌프, 이온펌프, 티타늄승화 펌프 네가지가 있다. 이들을 하나하나 살펴보면 다음과 같다.2.로타리 펌프 (rotary vane

리포트 | 12페이지 | 1,500원 | 등록일 2005.01.16

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진공과 진공펌프에 대해서~

:Titanium sublimation pump, Ion pump(2) 작동 원리에 따라-Positive displacement 펌프: Rotary pump, Turbo ... 였다.7. 작동 압력과 작동원리에 따른 펌프의 종류(1) 작동 압력에 따라- 저진공 펌프: Rotary oil sealed mechanical pump, Sorption pump ... ,Venturi pump, Booster pump- 고진공 펌프: Diffusion pump, Cryopump, Cryotrap, Turbo molecular pump- 초고진공 펌프

리포트 | 9페이지 | 1,500원 | 등록일 2008.08.17

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진 공 펌 프 레포트 자료

(RO PUMP) 승화펌프 (SUBLIMATION PUMP) 저온 펌프 (CRYO PUMP)펌프의 분류펌프의 종류는 사용 가능한 압력에 따라 저진공, 고진공, 초고진공 등으로 나눌 수 ... 한 다른 펌프에 의해 보조된다.Getter pump티타늄(Ti)과 같이 화합물 형성이 쉬운 물질을 필라멘트나 덩어리 형태로 가열하여 진공 펌프 벽에 증착하면, 펌프내로 들어온 가스 ... PUMP) 만유식 로타리 베인 펌프 (OIL FLOODED ROTARY VANE PUMP) 순환 급유식 로타리 베인 펌프 배출 급유식 로타리 베인 펌프 로타리 피스톤 펌프

리포트 | 21페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.06.24

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진공의 원리와 진공펌프 및 게이지

.진공펌프의 종류 19 승화 펌프 ( Titanium Sublimation Pump) . 화학적으로 반응성이 있는 기체들만 배기 . 최고 배기속도는 10 － 5torr 이하 ... MOLECULAR PUMP) 저온 펌프 (CRYO PUMP) 흡착 펌프 (ABSORPTION PUMP) 승화 펌프 (SUBLIMATION PUMP)진공펌프의 종류 18 흡착 펌프 ... 와 같습니다 .진공펌프의 종류 저진공 펌프 건식 로터리 베인 펌프 (DRY-RUNNING ROTARY VANE PUMP) 급유식 로터리 베인 펌프 (ONCE -THROUGH OIL

리포트 | 32페이지 | 3,300원 | 등록일 2007.05.25

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[공학]진공의 기초

Pump ; 냉온 펌프 Molecular drag Pump ; 분자드래그 펌프 Titanium Sublimation Pump, TSP ; 티타늄 승화 펌프 Non-Evaporable ... 하는데 좋음.5. 그 밖의 펌프Rotary Piston Pump ; 로타리 피스톤 펌프 Dry Pump ; 드라이 펌프 Sorption Pump ; 흡착 펌프 Cryogenic ... getter Pump, NEG Pump 비증발 게터 펌프 Ioniztion Pump, ion pump ; 이온펌프 Water Jet Pump ; Aspirator와 비슷 Etc

리포트 | 45페이지 | 1,500원 | 등록일 2006.11.20

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진공펌프의 종류와 내용

. Ultra high vacuum pump 6. Vacuum company 7. Discussion 8. References진공펌프의 정의 및 분류진공펌프란 진공조 내의 압력 ... high)오일 확산펌프, 터보 분자 펌프, 흡착펌프, 저온 냉각 펌프, 승화펌프, 게터 이온 펌프, 스퍼터 이온 펌프10-3~10-7고진공 (high)다단식 로타리 베인 펌프, 다단 ... 펌프, 다이아프램 펌프대기압~1저진공 (rough)진공펌프의 기종도달압력범위 (Torr)진공영역Rotary vane pump일반적으로 가장 많이 쓰이는 진공펌프로, 기본 원리

리포트 | 19페이지 | 2,500원 | 등록일 2007.06.07

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[재료공학실험] 진공과 pvd, cvd

수진공도는 진공계로 측정 하며, 진공펌프로는 기름의 증발 등 오염물질을 내지 않는 스퍼터 이온펌프·터보분자 펌프·크라이오펌프 등이 사용된다. 진공용 기재료(초고진공용 재료라고 ... 도 한다)로는 스 테인리스강(鋼)계통이 많이 사용되며, 질화티타늄을 피복한 알루미늄합금도 쓰인다. 진 공계로는 초고진공용 이온화진공계나 초고진공 마그네트론 진공계가 있다.※ 저자 ... 시키는 방법이다. 금속 또는 비금속을 고진공 중에서 가열하면 증발 또는 승화하여 저온도 부 분에 응결하게 된다. 이런 현상을 이용하여 진공 실내에 놓인 피처리물의 표면에 각종 박막을 코팅

리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2004.11.15

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