대표적 4가지 진공펌프(확산펌프,터보펌프,게터펌프,티타늄승화펌프[TSP])

소개글

진공펌프의 대표적인 4가지에 관한 엑기스만 모아 정리 하였습니다. 장단점,원리,구성 등등
시험에 대비해서 정리하여 만들어 레포트로 내었던 자료 입니다.

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본문내용

확산펌프
-고진공을 만드는 데 사용되는 장치로서 일정한 방향으로 흐르는 증기, 즉 분류(噴流)를 만들고, 그것에 의해 주위의 기체분자를 함께 운반하는 작용을 이용한 진공펌프이다. 주로 작동액을 오일을 사용하는 오일확산펌프가 대부분이다
1)구성
-펌프용기, 3단의 우산형 제트분사 노즐, 보일러, 히터, 수냉관, 배기구
2)배기원리
①히터에 의해 하단부에 고인 오일이 가열(약200˚C)
②보일러의 오일이 끓게 되면 오일증기는 증발관을 따라 상승
③노즐을 통해 아래로 약 340m/sec 이상의 초음속으로 분사
④이때 충돌하는 주변 기체분자를 아래로 끌어내림
⑤기체분자가 아래로 내려가다 2단과 3단분사 노즐을 거처 배기구로 배기
⑥펌프 벽면에 도달한 오일은 냉각되어 응축함으로 중력에 의해 다시 보일러로 흘러 들어감
3)장단점
-장점
①간결한 구조
②기계적인 구동 없음
③거의 모든 기체에 대해 일정한 배기 속도를 가짐
④높은 유량속도
⑤가격이 저렴
-단점
①오일의 역류(backstream)에 의한 오염
②수직방향으로만 부착
③저진공 펌프 연속 가동
④운전사고에 대한 영향 높음
4)오일 확산 펌프용 오일의 특징
①상온에서 낮은 증기압을 유지해야 한다.
②열에 대해 안정적이고 화학적으로 불활성이어야 한다.
③독성이 없고 발화 온도가 높아야 한다.
④크리프(creep)가 최소화 되도록 표면장력이 커야 한다.
⑤상온에서 적당한 점도를 유지해야 한다.
⑥기화열(heat of vaforization)이 작아야 한다

참고 자료

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