"크라이오 흡착펌프"의 검색결과 입니다.

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진공펌프 AR coating bayard-alpert gauge 반도체공정실습 진공,플라즈마 cvd

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"크라이오 흡착펌프" 검색결과 1-20 / 35건

대용량 크라이오 펌프의 수소 흡착특성 (Hydrogen adsorption properties of the large cryosorption pump)

한국진공학회 인상렬, 김태성

논문 | 9페이지 | 무료 | 등록일 2025.06.13 | 수정일 2025.06.17

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가스기능사 필기 기출문제 + <정답 및 해설 포함>

② 막분리 ③ 응축/증발(상분리) ④ 이온교환27. 크라이오펌프의 주요 작동 원리는?① 열분해 ② 저온 표면에 응축·흡착 ③ 전기분해 ④ 에멀전 형성28. 냉매 회수장치 사용 시 ... ③ 펌프식 또는 압력차 이용 ④ 중력식만24. 반응기의 체류시간이 증가할수록 일반적으로 나타나기 쉬운 현상은?① 전환율 증가 ② 전환율 감소 ③ 반응속도 증가 ④ 열용량 감소25 ... . 촉매 반응기에서 핫스폿(국부과열) 억제 대책으로 보기 적절한 것은?① 급격한 예열 ② 다단 주입·혼합 강화 ③ 단열재 제거 ④ 유량 감소만26. 저온 분리공정의 기본 원리는?① 흡착

시험자료 | 10페이지 | 4,000원 | 등록일 2025.10.02

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[반도체 공정 및 실습]Cryo pump

가속화학연구E-beam, 용접기상증착이온주입우주개발재료연구금속공학물리연구표면연구MBE2. Cryo pump가. 크라이오 펌프기체를 아주 차갑게 하여 펌프 내에서 얼거나 붙잡혀 있 ... 것을 만들 때 크라이오 펌프를 사용한다.나. Cryo pump의 구성크라이오 펌프는 펌프 모듈과 컴프레서 모듈로 구성된다. 이러한 두 개의 모듈은 폐 루프 냉장 시스템을 형성하기 ... 에 의해 냉각되는 배기된 표면이다. 이러한 크라이오 어레이에서 진공 용기의 기체들은 응축되고 흡착된다. 펌프 몸체는 진공 용기에 펌프를 붙이는 단단한 진공 덮개로 형성된다.컴프레서 모듈

리포트 | 7페이지 | 3,000원 | 등록일 2019.09.01 | 수정일 2020.08.10

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[레포트] 진공공학, Vacuum pump

molecular pump) 및 크라이오 펌프(cryo pump)가 있다.오일 확산 펌프오일 확산 펌프(oil diffusion pump)는 오일 중기를 기체 중에 분사시켜 운동 에너지 ... ]크라이오 펌프크라이오 펌프(cryo pump)는 원래 cryogenic pump의 줄인 말로써, cryo는 저온이라는 의미이다. 펌프의 원리는 저진공 펌프에서 섭션 펌프나 확산 ... 진공공학, Vacuum pump일반적으로 초기 진공을 형성하기 위해서는 러핑 펌프가 사용되며, 러핑 펌프는 저진공 영역에서 배기 역할을 완료하게 된다. 그리고 이어서 진공용기

리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2019.08.22

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투명전극(ITO)과 진공펌프 및 게이지와 스퍼터링의 종류들과 원리

)크라이오 펌프(Cryo pump)특징-압축기와 저온봉이 일체화된 스터링 형과 저온봉은 펌프내에, 압축기는 따로 외부에 설치하는 G-M형으로 나뉜다.장점단점-프레서의 동작으로 인한 소음 ... 에 한계가 있다.-활성탄의 교체가 주기적으로 필요하다.이온 펌프(ion pump)특징-이온화 과정을 이용하기 때문에(Sputter ion pump)라고 부르기도 한다.장점단점-배기 성능 ... 으로 회전하는 회전자의 날개들이 기체분자들을 펌프영역으로 끌어 들인뒤 충돌하여 배기구 방향으로 밀어내는 방식이다.(터보펌프 원리 설명)크라이오 펌프-크라이오는 극저온이라는 의미를 가졌

리포트 | 22페이지 | 2,500원 | 등록일 2019.07.03 | 수정일 2019.07.04

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진공 증착기를 이용한 Ohmic Contact 형성용 Metal 박막 증착 예비보고서

apture pump)'라고도 부른다. 여하튼 진공 용기 내부의 공간으로 부터 기체분자 수를 제거하기만하면 압력이 낮아지므로 이런 것들도 펌프라고 부를 수 있다. 흡착 펌프(sorption ... pump) 나 크라이오 펌프(cryogenic pump), 이온 펌프(ion pump)가 이에 속한다.- 크라이오 펌프(Cryogenic pump)Cryogenic 펌프는 ‘저온 ... ~2Buffle은 실온의 방사(복사)열로부터 펌프를 보호를 하고 있다.크라이오 펌프가 배기하는 주요 기체? A.공기(N2,O2) : 진공장치 초기 Pumping후의 잔류기체.? B

리포트 | 9페이지 | 1,000원 | 등록일 2011.09.28

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(재료공학실험)진공증착기를 이용한 ohmic contact 형성용 metal박막증착

(capture pump)'라고도 부른다. 여하튼 진공 용기 내부의 공간으로 부터 기체분자 수를 제거하기만하면 압력이 낮아지므로 이런 것들도 펌프라고 부를 수 있다. 흡착 펌프(s ... orption pump) 나 크라이오 펌프(cryogenic pump), 이온 펌프(ion pump)가 이에 속한다.- 크라이오 펌프(Cryogenic pump)Cryogenic ... 이 작80K Buffle은 실온의 방사(복사)열로부터 펌프를 보호를 하고 있다.크라이오 펌프가 배기하는 주요 기체? A.공기(N2,O2) : 진공장치 초기 Pumping후의 잔류기체

리포트 | 9페이지 | 1,000원 | 등록일 2011.03.22

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각종 진공 pump 원리 및 사용 방법

아지므로 이런 것들도펌프라고 부를 수 있다. 흡착 펌프(sorption pump)나 냉온 펌프(cryopump), 이온 펌프(ionpump)가 이에 속한다.⑵. 진공 pump의 원리1 ... 기 위해 분자결합을 함으로써 기체입자를 제거하게 된다.)② Cryogenic pump- 크라이오 펌프에 사용되는 냉동기는 2단으로 되어 있고1단은 냉동 능력이 큰 80K 이하 ... 1. 각종 진공 pump 윈리 및 사용 방법⑴. 진공 pump의 분류1) positive displacement 펌프 : 기체를 진공 용기 외부로 제거하는 펌프로 로터리펌프

리포트 | 7페이지 | 1,500원 | 등록일 2011.06.03

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크라이오 펌프(cryo pump)

의 줄인 말. 용기내에 극저온 면을 설치하여 기체분자를 응축 또는 흡착 (포획)시키는 배기 Pump이다.크라이오 펌프 장.단점장점 ①오일 프리 ②기계작동 역류현상 ③운전경비 저렴 ... 크라이오 펌프(cryo pump)목 차1.크라이오 펌프란? 장.단점 2.크라이오 펌프의 원리 -기체분자 운동론 3.크라이오 펌프의 구조크라이오 펌프란?cryogenic pump ... ④배기 속도가 큼 ⑤소형 경량단점 ①매우 많은 작업은 힘들다 ②피스톤 약간의 진동이 ③긴 대기시간2.크라이오 펌프의 원리용기내부 냉각 정지상태에 압력 0 냉각된 분자들을 흡착 (냉장

리포트 | 12페이지 | 1,000원 | 등록일 2009.04.12

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각종 진공 펌프 원리 사용방법 sputter

(oil diffusion pump)크라이오 트랩과 배플(cryotraps and baffles)메카니칼 크라이오 펌프(mechanical cryopump)터보 분자 펌프 ... 1. 각종 진공 Pump 원리 및 사용 방법1. 진공펌프의 구분압축배출식용적식왕복 운동식피스턴 펌프다이어프램펌프회전식액체링펌프회전베인펌프회전피스턴펌프트로코이드펌프루츠펌프스크류펌프 ... 스크롤펌프클로펌프운동량 전달식분자펌프분자드래그펌프터보분자펌프유체분사식확산펌프액체제트펌프이젝터펌프내부 흡수식흡착식표면흡착수착펌프화학흡착게터펌프티타늄승화펌프스퍼터이온펌프응축식저온응축

리포트 | 8페이지 | 2,000원 | 등록일 2011.06.03

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진공 결과보고서

주입확산 펌프터보분자 펌프흡착 펌프저온냉각 펌프이온 펌프크라이오 펌프승화 펌프초고진공Ultra High Vacuum10-7Torr∼10-10Torr전자현미경Plasma 발생기표면연구재료분석터보분자 펌프저온냉각 펌프크라이오 펌프게터 펌프 ... ∼1 Torr진공흡착 및 이송크린룸 구성인쇄기 자동급지진공농축 반응기진공토련기진공성형진공농축(탈수)진공포장건식 로타리 베인펌프급유식 로타리 베인펌프수봉식 펌프스팀이젝터왕복동식 펌프 ... 터루츠펌프(메카니칼 부스터)피스톤 펌프확산 펌프드라이 펌프흡착 펌프고진공High Vacuum10-3Torr ∼ 10-7Torr진공코팅진공동결건조진공합금진공가스치환진공씰링진공용접이온

리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2010.12.25

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Vacuum pump(진공펌프) 와 gauge

。K 사이에서 동작하며,2단계 또는 콜드헤드는 10。K와 20。K 사이에서 작동한다. 크라이오 어레이에서 진공 용기의 기체들은 응축되고 흡착된다. 펌프 몸체는 진공 용기에 펌프 ... ◎진공 펌프 (Vacuum pump)1. 진공이란?물질이 전혀 존재하지 않는 공간. 그러나 실제로는 완전한 진공을 만들기란 극히 어려워 보통 1/1000(10-3)mmHg 정도 ... 는 금속편을 봉입하여 관 밀봉 전후에 증발시켜, 관벽에 막을 만들어 전극에서 나오는 기체를 이것에 흡착시키는 방법을 쓴다.2. 진공 펌프의 응용과 목적전구나 각종 진공관을 비롯

리포트 | 27페이지 | 2,000원 | 등록일 2010.03.23

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진공

펌프흡착 펌프저온냉각 펌프이온 펌프크라이오 펌프승화 펌프초고진공Ultra High Vacuum10-7 Torr∼10-10 TorrPlasma 발생기표면연구재료분석전자 현미경터보분자 ... Torr∼1 Torr진공흡착 및 이송인쇄기 자동 급지진공농축 반응기진공성형진공농축(탈수)진공포장건식 로타리 베인펌프급유식 로타리 베인펌프수봉식 펌프스팀이젝터왕복동식 펌프드라이 펌프중진공 ... 펌프확산 펌프드라이 펌프흡착 펌프고진공High Vacuum10-3 Torr∼ 10-7 Torr진공코팅진공 동결 건조진공 합금진공가스치환진공 실링진공 용접이온 주입확산 펌프터보분자

리포트 | 12페이지 | 1,000원 | 등록일 2010.07.12

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진공펌프

아지므로 이런 것들도 펌프라고 부를 수 있다 . 흡착 펌프 (sorption pump) 나 냉온 펌프 ( cryopump ), 이온 펌프 (ion pump) 가 이에 속한다 .진 공 ... 펌프 (rotary vane pump), 터보 분자 펌프 (turbo-molecular pump) 등 대부분의 기계적인 펌 프가 이에 속한다 . - 배기시킨 기체가 여전히 진공 용기 ... 나 펌프 속에 남아 있는 경우이다 . ‘ 포획 펌프 (capture pump)' 라고도 부른다 . 여하튼 진공 용기 내부의 공간으로부터 기체 분자 수를 제거하기만 하면 압력이 낮

리포트 | 21페이지 | 2,000원 | 등록일 2010.12.12

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LPE, VPE, MBE 장비

의 균일성과 에피층 두께를 매우 엄격하게 조절되는 웨이퍼 위에 실리콘을 증착하기 위해서 사용되어진다. MBE는 일반적으로 고진공 크라이오 펌프(cryopump)를 사용함으로써 10-10 ... 의 회절현상을 관측하기 위한 알칼리제 결정계에서의 He과 H2 분자선의 산란으로부터 시작되었다. 이와 같은 표면 연구의 과정에서 고체 표면에서의 흡착, 퇴적 혹은 표면과의 화학반응 등

리포트 | 3페이지 | 1,000원 | 등록일 2013.04.12

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기초진공의 이해와 각종펌프

DONG. 21셥션 펌프 (sorption pump) 10/12/2007 DONGGUK.UNI. 22 이 펌프는 앞에 서 설명한 펌프와는 달리 기계적인 압축을 사용하지 않고 , 펌프 몸 ... .UNI. 23Sorption pump 작동 원리 10/12/2007 DONGGUK.UNI. 24 기체는 차가운 표면에 크라이오 응축 ( cryocondensation ... 펌프는 어떻게 사용 되어지는지 성분은 무엇인지 등에 대한 것이다 고 진공 펌프의 종류에는 오일확산 펌프 , 터보 분자펌프 , 크라이오 펌프 등이 있다 .오일 확산 펌프의 구조

리포트 | 57페이지 | 1,500원 | 등록일 2007.10.12

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진 공 펌 프 레포트 자료

아지므로 이런 것들도 펌프라고 부를 수 있다. 흡착 펌프(sorption pump)나 냉온 펌프(cryopump), 이온 펌프(ion pump)가 이에 속한다.로터리 펌프(rotary ... 펌프 - 크라이오 펌프 - 터보분자 펌프 - 게터펌프 - 그 밖의 펌프진공이란?물질이 전혀 존재하지 않는 공간. 그러나 실제로는 완전한 진공을 만들기란 극히 어려워 보통 1 ... PUMP) 만유식 로타리 베인 펌프 (OIL FLOODED ROTARY VANE PUMP) 순환 급유식 로타리 베인 펌프 배출 급유식 로타리 베인 펌프 로타리 피스톤 펌프

리포트 | 21페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.06.24

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진공과 진공펌프에 대해서~

molecular pump 등 기계식 펌프-entrapment 펌프: ion pump, cryopump 등 흡착식 펌프8. 진공과 증착 기술- PVD (Physical Vapor ... 진공동결건조진공합금진공가스치환진공씰링진공용접이온주입확산 펌프터보분자 펌프흡착 펌프저온냉각 펌프이온 펌프크라이오 펌프승화 펌프초고진공Ultra High Vacuum10-7Torr ... 였다.7. 작동 압력과 작동원리에 따른 펌프의 종류(1) 작동 압력에 따라- 저진공 펌프: Rotary oil sealed mechanical pump, Sorption pump

리포트 | 9페이지 | 1,500원 | 등록일 2008.08.17

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Evaporator 원리및 설명, 진공의 종류및 응용

PUMP)이젝타펌프 (STEAM EJECTOR/GAS EJECROR)흡착 펌프 (ABSORPTION PUMP)이 온 펌프 ( ION PUMP)게터 펌프 (GETTER PUMP)승화펌프 ... 로타리 베인 펌프 (DRY-RUNNING ROTARY VANE PUMP)만유식 로타리 베인 펌프 (OIL FLOODED ROTARY VANE PUMP)순환 급유식 로타리베인 펌프 ... (OIL CIRCULATED INJECRED ROTARY VANE PUMP)배출 급유식 로타리 베인 펌프 (ONCE -THROUGH OIL INJECTED ROTARY VANE

리포트 | 9페이지 | 1,000원 | 등록일 2009.06.06

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[OLED]표준광원 색좌표 진공펌프

분자를 응축 또는 흡착 시키는 배기 Pump이다.크라이오 펌프가 기체를 유효하게 배기하기 위해서는 응축의 경우에는 증기압이 흡착의 경우에는 흡착평형 압력이 10-8Pa이하로 되어있 ... 펌프 (TURBO MOLECULAR PUMP)◎ 확산 펌프 (DIFFUSION PUMP)◎ 이젝타펌프 (STEAM EJECTOR/GAS EJECROR)◎ 흡착 펌프 ... 하므로 20K이하로 냉각된 흡착제(활성탄)에 의해 배기된다. 이와 같이 크라이오 펌프는 모든 기체를 배기할 수가 있고 초고진공을 얻을 수가 있다.▶크라이오 펌프의 작동 원리와 구조

리포트 | 11페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.06.15

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