[레포트] 진공공학, Vacuum pump

목차

1) 오일 확산 펌프
2) 터보 분자 펌프
3) 크라이오 펌프

본문내용

일반적으로 초기 진공을 형성하기 위해서는 러핑 펌프가 사용되며, 러핑 펌프는 저진공 영역에서 배기 역할을 완료하게 된다. 그리고 이어서 진공용기의 압력을 희망하는 고진공까지 낮추기 위하여 고진공 펌프가 동작한다, 고진공 펌프의 종류로는 오일 확산 펌프(oil diffusion pump), 터보 분자 펌프(turbo molecular pump) 및 크라이오 펌프(cryo pump)가 있다.
1) 오일 확산 펌프
오일 확산 펌프(oil diffusion pump)는 오일 중기를 기체 중에 분사시켜 운동 에너지에 의해 기체를 방출하는 펌프로서 유체분사식이다. 기체분자가 내재하고 있는 분자류 영역으로 오일 증기가 제트로 분사되면 제트 분자와 기체분자가 충돌하여 제트 방향으로 속도를 얻게 됨으로서 높은 배기속도를 얻을 수 있다. 확산 펌프에는 여러 종류가 있지만 주로, 작동액으로 오일을 사용하는 오일 확산 펌프가 많이 사용되고 있다. 일반적인 러핑 펌프와 비교하여 배기속도가 높고 기계적인 펌프가 아니기 때문에 소음이나 진동이 없으며, 안정적이라는 장점을 가진다. 작동액으로 예전에는 수은을 사용하기도 하였지만, 현재는 거의 사용하지 않는다.

참고 자료

진공 및 공정기술(이상돈, 내하출판사)