"게터펌프"의 검색결과 입니다.

기간
- 전체
- 3개월
- 6개월
- 1년
- 2년
- 3년
- 5년
직접입력

적용
연관순
- 연관순
- 최신순
영역
- 전체
- 제목
- 본문
- 태그
페이지 수
- 전체페이지
- 1 페이지 ~ 5 페이지
- 6 페이지 ~ 10 페이지
- 직접입력 페이지 ~ 페이지 적용
확장자
- 전체
- 한글
- PDF
- MS워드
- MS엑셀
- MS파워포인트
- 압축파일
- 기타
할인자료 보기

연관검색어

진공펌프 Ebeam evaporator bayard-alpert gauge AR coating 진공 반도체 진공게이지종류

판매자 표지는 다운로드시 포함되지 않습니다.

"게터펌프" 검색결과 1-20 / 53건

비증발형 게터소자 배기특성 평가시험 (Pumping Performance Test of the NEG Elements)

한국진공학회 인상렬, 박미영, 정기석

논문 | 7페이지 | 무료 | 등록일 2025.05.16 | 수정일 2025.05.22

다운로드
대표적 4가지 진공펌프(확산펌프,터보펌프,게터펌프,티타늄승화펌프[TSP])

⑤불필요한 고진공 밸브-단점①높은 가격②제어기 요구③가벼운 기체분자(H₂,He)에 대한 낮은 압축비④높은 손상 가능성⑤어려운 유지 보수게터펌프-진공용기 중에 운동하는 기체분자 ... 가 화학적으로 활성인 금속 표면에 흡착되어 배기되는 펌프?게터(getter)-활성화된 금속 표면에 기체분자가 도달하면 쉽게 결합하며, 이때 증기압이 낮은 화합물로 변환하여 배기하는 물질 ... 확산펌프-고진공을 만드는 데 사용되는 장치로서 일정한 방향으로 흐르는 증기, 즉 분류(噴流)를 만들고, 그것에 의해 주위의 기체분자를 함께 운반하는 작용을 이용한 진공펌프이

리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2011.06.27

다운로드 장바구니
비정질 '진공'

펌프(Diffusion Pump)4. Getter- 우수한 게터란?- Getter pump5. 엘링감 도표(ellingham diagram)6. 공정점 찾는 이유7. 결론8 ... ◇ 목차 ◇1. 진공 개략도- 실험목적- 실험과정- 실험결과 및 고찰2. 로터리 펌프(Rotary Pump)- 로터리 베인 펌프- 로터리 피스톤 펌프- 로터리 기어 펌프3. 확산 ... 는데 많이 사용되고 있다. 그러나 다른 고진공용 펌프와 마찬가지로 반드시 보조펌프를 써야만 한다.4. Getter게터란?게터(Getter)란 일종의 흡수제라고 생각하면 쉽게 이해

리포트 | 8페이지 | 1,000원 | 등록일 2016.01.12

다운로드 장바구니
비철금속재료의 종류와 특성에 대하여 조사하시오

의 종류가 많고, 또 섞을 수 있는 경우도 많다128,540여 가지의 합금이 발표된 상태였다.가융합금, 각형이력자성합금, 게터합금, 고도자율합금, 내산합금, 내식합금, 내열합금, 모 ... 하는 관점에서 문틀, 출입문 테라스 등에 사용되고 있다. 또 동합금이 전기의 전도성이라 하는 관점에서 전선, 차단기, 접촉기 등의 접촉자, 펌프용 모터 등에 사용되며, 가공성 및

리포트 | 6페이지 | 1,500원 | 등록일 2019.11.10

다운로드 장바구니
진공펌프 조사

젝타펌프14. 흡착 펌프15. 이온 펌프16. 게터 펌프17. 승화 펌프18. 저온 펌프 등이 있습니다이번 예비레포트에서는 저진공펌프와 고진공 펌프로 나누어 알아보았습니다.저진공 ... 은 대부분 비슷합니다. 무엇보다도 이들 로터리 펌프가 중요한 이유는 이것이 가장 기본적인 펌프이기 때문이고, 많은 진공장치에서 로터리 펌프를 대부분 1차 펌프(rough pump ... 없이 건가 압축 기계입니다.건식진공펌프는 두가지 타입으로 분류를 할 수 있습니다.1)Screw type vacuum pump산업용으로 개발되어 반도체용으로 쓰게이 되며 액체 성분

리포트 | 12페이지 | 1,500원 | 등록일 2015.12.03

다운로드 장바구니
진공펌프

되는 물질을 게터라고합니다.14. 승화펌프승화펌프의 기본원리는 게터펌프와 동일합니다. 단지 여기서는 흡착물질로 티타늄의 얇은 판막을 형성하게 함으로써, 여기에 가스 입자를 흡착 ... 진공펌프의 기초이론1. 토리첼리의 실험1643년 이탈리아의 물리학자 토리첼리는 유리관과 수은을 사용하여 다음과 같은 실험을 하였습니다. 즉,단면적1cm인 한쪽 끝이 막힌 길이 1 ... 하기로하고, 각 펌프의 기본 작동 원리만 간략 하게 설명한 다음 중요한 특성만을 열거해 보기로 하겠습니다.1)로타리 베인 펌프일반적으로 가장 많이 쓰이는 진공펌프로, 기본 원리

리포트 | 15페이지 | 1,000원 | 등록일 2013.03.25 | 수정일 2021.01.18

다운로드 장바구니
재공실 - sputtering 결과보고서

로 나눌 수 있다.1) Pump : 챔버내에 있는 기체분자를 제거하여 진공상태로 만들어준다. 진공펌프는 배기원리와 사용조건에 따라 매우 다양한 펌프들이 있고 모든 진공범위에서 작동 ... 있는데 저진공을 잡아주는 Rotary pump와 고진공을 잡아주는 Turbo Molecular pump(TMP), 그리고 실험이 진행될 Chamber와 높은 에너지로 인해 가열 ... 하는 펌프는 없기 때문에 어느펌프를 연결할 것인가 하는 펌프간의 조합도 매우 중요하다.2) Power supply : 음극에 전원을 공급하는 장이치다. 직류 또는 교류로 사용이 가능

리포트 | 3페이지 | 2,000원 | 등록일 2013.10.29

다운로드 장바구니
진공 및 박막의 전제척인 개념 및 박막의 3가지 성장모델, CVD & PVD 비교 정리

)=양옆의 양극과 그 위아래 두개의 음극으로 구성하며 원통의 축 방향에 자장을 인가한 페닝 셀을 다수 배치하여 방전 시켜 진공을 얻는 초고진공용 펌프이다. 음극에서 방출한 전자 ... 는 양극에 비행하면서 가스를 이온화한다. 이온분자는 가스흡수성 게터재료로 된 음극에 충돌하여 스퍼터링을 일으키며 게터막 주변에 증착된다. 이온 및 중성 가스는 게터 고체막 속에 주입 ... 포획된다. 이온펌프는 주로 화학흡착으로 동작하는 흡수식 진공펌프이며 기계적 진동이 없으며 기름증기가 없어 수명이 길고 초고청정 진공이 요구되는 표면실험장치, 표면분석계, 입자가속기

리포트 | 8페이지 | 6,500원 | 등록일 2013.04.22 | 수정일 2022.11.21

다운로드 장바구니
각종 진공 펌프 원리 사용방법 sputter

)넌 이배퍼러블 게터 펌프(non-evaporable getter pump)3. 펌프의 원리와 사용법Rotary Vane Pump- 원리 : 원통현의 펌프 본체 내부에 펌프의 중심 ... 1. 각종 진공 Pump 원리 및 사용 방법1. 진공펌프의 구분압축배출식용적식왕복 운동식피스턴 펌프다이어프램펌프회전식액체링펌프회전베인펌프회전피스턴펌프트로코이드펌프루츠펌프스크류펌프 ... 스크롤펌프클로펌프운동량 전달식분자펌프분자드래그펌프터보분자펌프유체분사식확산펌프액체제트펌프이젝터펌프내부 흡수식흡착식표면흡착수착펌프화학흡착게터펌프티타늄승화펌프스퍼터이온펌프응축식저온응축

리포트 | 8페이지 | 2,000원 | 등록일 2011.06.03

다운로드 장바구니
펌프의종류 용도

의 가스를 흡출하여 진공을 만드는 기계를 진공펌프라 합니다.2.Kind of pumps.(종류)왕복펌프: 실린더 안을 피스톤 또는 플랜저가 왕복운동을 하는 펌프인데, 송출밸브 ... 펌프가 널리 사용된다.이온펌프 :도달진공도가 낮고(10-11 Torr), 기름이나 수은을 사용하지 않으므로 통 속을 더럽히지 않는 것이 특징이다. 티탄 등이 게터(getter:가스 ... 이 방전용 음극면을 두들겨 음극표면의 티탄을 양극내면과 게터용 음극면에 증착)시킨다. 이 티탄들은 게터로 작용하여 통 속의 가스를 흡착한다. 서블리메이션펌프는 배기속도를 증가하기 위해

리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2010.05.29

다운로드 장바구니
진공기술에서 펌프와 게이지의 종류와 그 설명

한 성능을 발휘.배기부가 대기압인 경우 배기 능력을 상실하므로,로타리 베인 펌프등 다른 보조펌프와 연결하여 사용함.Diffusion pump구조가 간단하고 기계적인 운동을 하지 않 ... 으므로 사용이 간편고진공을 얻는데 많이 사용그러나 다른 고진공용 펌프와 마찬가지로 반드시 보조펌프를 써야 함.Cryogenic pump120K이하의 극저온 상태에서 기체를 응결 ... 이 저하.로타리 펌프등의 보조펌프와 함께 사용되고 있는 것이 일반적.Sputter-ion pump자기장 내의 방전에 의해서 기체를 이온화하고, 이것을 음극면에 모아 배기하는 펌프.도달

리포트 | 9페이지 | 1,500원 | 등록일 2009.09.04

다운로드 장바구니
FE (Field Emission)의 개요

*Roughing Pump (초기배기펌프) : 고진공을 얻기 전 저진공 상태에서 진공을 시작할 때 사용한다. (로타리 펌프)Noble Pump가스를 잡아두는 pump 이며 무거운 gas ... filament에 heating current를 흘려주니 환한 빛을 낸다. 우측 그림은 진공도를 높이기 위해 사용하는 게터(Getter)의 모습이다. 이온빔을 Emission 하기전 ... 에 좀더 high 진공을 만들기 위해 게터를 사용한다. 게터 또한 heating current의 영향으로 빛을 내고 있다. 이러한 작업은 10 -6㎜Hg의 진공 내에서 이뤄진다.게터

리포트 | 7페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.08.19

다운로드 장바구니
주사전자현미경의 구성

.터보펌프(turbo molecular pump)는 오일증기가 오염될 우려는 없으나 가격이 비싸고 펌프자체가 고속으로 회전하므로 경통에 진동이 직접 전달되며, 일정 시간을 사용하면 축 ... 가 떨어진다는 단점이 있다.한편, 텅스텐 필라멘트 대신에 LaB6 필라멘트를 쓰기 위해서는 훨씬 높은 진공을 유지해야 하므로 앞에 말한 진공시스템 외에 이온게터펌프(ion getter ... 의 것은 예비진공 (rough vacuum)으로 유확산 펌프가 충분히 동작될 수 있도록 한다. 예비 진공이 완료되면 유회전 펌프는 유확산 펌프에 다시 연결되고 유확산 펌프가 경통

리포트 | 15페이지 | 1,000원 | 등록일 2012.05.22

다운로드 장바구니
진공 결과보고서

주입확산 펌프터보분자 펌프흡착 펌프저온냉각 펌프이온 펌프크라이오 펌프승화 펌프초고진공Ultra High Vacuum10-7Torr∼10-10Torr전자현미경Plasma 발생기표면연구재료분석터보분자 펌프저온냉각 펌프크라이오 펌프게터 펌프 ... 에서 위의 비파괴 시험을 실시하고 있다.대표적인 기체 누설검사에는 압력 증가법, 수포법, 헬륨검출법 등이 있다. 압력 증가법은 배기를 상당히 해서 압력변화가 둔화된 후 펌프를 차단 ... . 진공 수준별 펌프저진공까지는 일반적으로 로타리 펌프와 같은 펌프로만으로도 원하는 진공수준까지 도달하나 중진공, 고진공을 얻기 위해서는 특수한 중진공, 고진공펌프와 로타리 펌프

리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2010.12.25

다운로드 장바구니
E-Beam Evaporator를 이용한 박막 증착 원리 이해(결과보고서)

의 파트로 나눌 수 있는데 저진공을 잡아주는 Rotary pump와 고진공을 잡아주는 Turbo Molecular pump(TMP), 그리고 실험이 진행될 Chamber와 높은 에너지 ... (bias sputtering), 불순물 가스 흡수용 타겟이 있는 게터 스퍼터(getter sputter), 타겟 자신의 증발 이온으로 타겟을 재차 스퍼터하는 자기 스퍼터(self s

리포트 | 5페이지 | 1,500원 | 등록일 2011.05.20

다운로드 장바구니
Cryo pump의 구조와 원리

: 구리, 알루미늄, 스테인레스 게터제 : 몰큘러십, 활성탄Cryo pump의 구조와 원리Cryo pump 기본구조작동 원리compressor가 헬륨기체를 압축시키면서 발생하는 열 ... 펌프로 배기하면 재사용준비 완료. ★ 재생주기는 1~2주가 적당하다.게터(getter)제◈ 활성탄이 반대쪽에 숨어있는 이유 : 물분자가 달라붙는 것을 막기위해서정의 : 진공장치 안 ... system Vaccum chamber, mechanical roughing pump, diffusion pump Valves, vaccum gauge 등E-beam Evaporation

리포트 | 15페이지 | 2,000원 | 등록일 2008.08.21

다운로드 장바구니
Cryo pump

이다. 보다 낮은 진공도를 얻기 위해서는 다른 종류의 진공 펌프를 병행해서 사용하여야 한다. 주로 사용되는 것이 증기 펌프 (vapor pump)나 확산 펌프(diffusion ... □ Cryo Pump? 개 요- 대부분의 Pumpemfdms 용기내의 분자들을 외부로 배출시켜 진공을 만드 나, Cryopump의 배출방식과 다르게 용기내부에 있는 분자 ... 들을 움직이지 못 하게 하여 진공을 만드는 독특한 Pump이다. 비록 분자들이 Pump내부에는 있으나 분자들이 정지 상태이므로 압력이 발생하지 않으며, 분자들이 용기 벽에 충돌하지 않

리포트 | 10페이지 | 1,500원 | 등록일 2007.09.03

다운로드 장바구니
진공펌프의 종류와 내용

를 써야만 합니다.High vacuumGetter ion pump게터 펌프는 불활성기체에 대해서는 배기능력이 없기 때문에, 불활성기체에도 배기능력을 갖게 하기 위해서는 불활성기체를 이온 ... 화할 필요가 있습니다. 이런 이온화 능력을 가진 게터 펌프를 게터 이온 펌프라고 합니다.High vacuumSputter ion pump터보 펌프와 같이 티탄 등의 게터 작용 ... . Ultra high vacuum pump 6. Vacuum company 7. Discussion 8. References진공펌프의 정의 및 분류진공펌프란 진공조 내의 압력

리포트 | 19페이지 | 2,500원 | 등록일 2007.06.07

다운로드 장바구니
SEM

의 오염 염려는 없으나 펌프자체가 고속회전을 한다 LaB6필라멘트를 쓰기위해서는 더 높은 진공이 필수적이므로 진공시스템 외에 이온게터펌프를 추가사용 진공도를 높이기도 한다.4)전자 ... 챔버를 10-5 torr 이하로 유지해주는 진공펌프, 전자총과 검출기 등에 고전압을 공급하는 고전압 공급장치, 전체 시스템을 제어하거나 수집된 신호를 처리하는 Electronics ... (Square)형태로 주사된다.3)진공계전자 현미경에서는 10-5 토르(torr)이상의 고진공을 요하므로 대체로 유회전 펌프와 유확산펌프를 직렬연결 사용한다. 터보펌프를 사용할 경우 오일증기

리포트 | 6페이지 | 3,500원 | 등록일 2010.10.22

다운로드 장바구니
(PPT)진공펌프

)에 의해 배기됨 . - 이용 : 확산펌프와 보조펌프 사이에서 확산펌프의 효율을 증대시키는 부스터로 이용.게터 펌프(Getter pump)- Getter 장점 : 진동이 없고 깨끗 ... . 배기속도가 큼. → 극고진공용 펌프로 쓰임 비증발성 게터펌프 (non- evaporable getter pump)비증발성 getter 기체를 흡착하기 위한 흡착물질을 증발시켜 증착 ... 진공용 기름을 사용해 기밀을 유지하면서 펌프로 유입된 기체를 압축해 대기로 배출시킴.- 회전 날개형 펌프 (Rotary vane pump)원리 : (1)기체의 흡입 - (2)기체

리포트 | 20페이지 | 2,000원 | 등록일 2007.07.10

다운로드 장바구니

이전10개12 3 다음10개

파워링크

신청하기