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스퍼터링 증착 Sputter 전기화학 ito glass sputtering 목적 박막공정

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"스퍼터링" 검색결과 141-160 / 947건

스퍼터링, RIE 실습 레포트

플라즈마 공학스퍼터링 & RIE 실습 레포트Ⅰ. 실험목표Ⅱ. 이론적 배경Ⅲ. 실험장비 원리 및 방법Ⅳ. 실험결과Ⅴ. 결론 및 고찰Ⅰ. 실험목표ⅰ) DC플라즈마를 이용한 유리기판 ... 위 금속 박막 증착 및 광학적 투과율 측정DC 플라즈마를 이용한 스퍼터링 증착 방법으로 유리기판 위 금속 박막 증착 시 일정 파워와 일정 압력에서 증착시간, 전체 유량, O2 ... 가 전기적 반응에 의해 가속되어 충돌현상을 갖는데, 증착 및 식각 등의 플라즈마 공정은 이러한 충돌현상으로 발생하는 물리적, 라디칼을 이용한 화학적 반응을 이용한다.ⅰ) 스퍼터링

리포트 | 7페이지 | 3,000원 | 등록일 2020.06.28

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고주파 마그네트론 스퍼터링 방법을 사용하여 SiO2 버퍼층이 있는 polyethylene terephtalate 위에 성막된 (In2O3)77(ZnO)23-x(SnO2)x, x =4, 6, 8, 10 wt. 박막의 투명전도 특성 (Transparent and conducting properties of (In2O3)77(ZnO)23-x(SnO2)x, x =4, 6, 8, 10 wt.% films deposited on PET with SiO2 buffer layer by rf-magnetron sputtering methode)

한국물리학회 우병재, 김화민, 안정선

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.07.11 | 수정일 2025.07.19

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스퍼터링

스퍼터링 (sputtering)-결과 보고서-목차1.실험목적2.기초이론 및 원리3.준비 기구 및 장치4.실험과정5.실험결과6.토의 및 고찰7.인용 및 참고문헌1. 실험 목적 ... 스퍼터링은 박막 태양전지 외에도 반도체, LCD, 유기EL등의 평판 디스플레이, CD, HD, MD 등의 각종 기록매체, 휴대폰, 정밀, optic lens, 장식 내마모 내식성 기능막 ... 에 어떠한 상하관계가 있는지 공정변수와 관련지어 알아보도록 한다.2. 기초이론 및 원리1)스퍼터링(sputtering)이란?이온원자target surfaceㅡ 글로우 방전에서 발생

리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2012.11.16

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전기도금,스퍼터링,용사공정

크롬도금: 크롬 도금은 장식 목적으로 니켈 도금위에 10마이크로미터 정도 하며 거울과 같은 표면을 가진다. 장식용 도금은 강한 부식성을 가지므로 차량 또는 주방 용품에 사용된다. 대기중에서 변색이 안되고 내구성과 내마모성이 좋다. 왼쪽그림은 차량에 크롬도금을 한 것이다..

리포트 | 8페이지 | 1,000원 | 등록일 2020.07.22

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스퍼터링, sputtering

CVD 증발법 스퍼터링 이온 플레이팅 장치의 구성 01 Sputtering 장치의 구성 D.C Sputtering 장치 개략도 장치의 구성 Pumping : 배기속도와 진공도

리포트 | 38페이지 | 3,800원 | 등록일 2016.01.04

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sputtering (스퍼터링)

적으로 분리되어 다른 기판에 쌓이게 함으로 박막층이 만들어지게 하는 방법을 물리 기상 증착법이라고 한다. 크게 sputtering과 evaporation으로 나눌 수 있다.스퍼터링 (s ... puttering)의 원리스퍼터링은 DC 또는 RF 전원이 두 전극 사이에 가해지면 음극에서 방출, 가속된 자유 전자가 전극 사이 Ar 원자와 충돌하며 이온화를 시킨다. 이 ... 는 웨이퍼 기판에 증착하게 되는 것이다.스퍼터링 방법은 다음과 같은 장, 단점이 있다.장점 :- 넓은 면적에서 균일한 박막 두께 증착 가능- 다양한 재료의 증착 가능- 박막 두께의 조절

리포트 | 2페이지 | 1,000원 | 등록일 2015.12.07

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RF 스퍼터링으로 증착된 하이드록시아파타이트 박막의 ESCA 분석

한국재료학회 정찬회, 이준희, 김순국, 김명한, 유재근, 김승언

논문 | 8페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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반응성 스퍼터링된 산화 티타늄 박막의 결정화 특성

한국재료학회 이필홍, 고경현, 안재환, 이순일

논문 | 6페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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전해 크롬도금 대체용으로서의 CrC 스퍼터링에 관한 연구

한국재료학회 임종민, 최균석, 이종무

논문 | 7페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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[고체 물리] 스퍼터링 결과 보고서

Sputtering 실험1. 실험결과TargetCuSubstrate(name-orientation)SiliconChamber pressure(Torr)6.6 TIMES 10 ^{-3}Ar Flow(sccm)18Growth time(minute)402. 토의사항우리 실험..

리포트 | 3페이지 | 1,000원 | 등록일 2018.07.30

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RF 스퍼터링으로 증착된 하이드록시아파타이트 박막의 열처리 특성

한국재료학회 정찬회, 이준희, 신윤학, 김명한, 최석환, 김승언

논문 | 7페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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스퍼터링으로 제조된 니켈실리사이드의 미세구조 및 물성 연구

한국재료학회 안영숙, 송오성, 이진우

논문 | 6페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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DC 마그네트론 스퍼터링 방법을 이용하여 증착한 IGZO 박막트랜지스터의 특성

한국재료학회 김성연, 명재민

논문 | 4페이지 | 3,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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원통형 스퍼터링 장치로 제작한 Ti 및 Al 박막구조

한국재료학회 오창섭, 한창석

논문 | 7페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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DC 및 RF 스퍼터링법으로 증착한 Cr 박막의 특성 비교

한국재료학회 박민우, 이종무

논문 | 5페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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스퍼터링(Sputtering) 결과 레포트

결과 레포트Thin Film 공정 : Sputtering윤영훈차례1. 실험 목적2. 실험 원리1) 글로우 방전2) 스퍼터링3) RF4) 기타 도구 및 용어3. 실험 과정4. 실험 ... 증ow Discharge) 영역이다. 스퍼터링 박막 공정에서 사용하는 영역은 바로 비정상 글로우 방전 영역이다.Sputtering을 일으키기 위해서는 공정 중에 지속적인 양이온 ... 지 않아 방전을 계속할 수 있는데 이가 바로 RF 글로우 방전이다.(2) 스퍼터링 (Sputtering)플라즈마를 가속하여 에너지를 증가시킨 다음 충돌시키면 물질의 표면에서 원자

리포트 | 11페이지 | 1,500원 | 등록일 2015.05.18

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저온분사법에 의해 제조된 Cu-Ga 타겟의 스퍼터링 특성평가

한국분말야금학회 조영지, 유정호, 양준모, 박동용, 김종균, 최강보, 장지호

논문 | 5페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.05.03 | 수정일 2023.04.05

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RF 마그네트론 스퍼터링법에 의한 SrTiO3박막제조와 유전특성

한국재료학회 김병구, 손봉균, 최승철

논문 | 9페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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스퍼터링

재료 공학 실험 예비레포트Sputtering...제출일 : 2006년 4월 13일◎ Sputtering 의 종류1. 직류 스퍼터링 (DC Sputtering)스퍼터링 방법 ... 은 스퍼터링 가스를 진공상태인 chamber에 주입하여 증착시키고자 하는 타겟물질과 충돌시켜 플라즈마를 생성시킨 후 이를 기판(substrate)에 코팅시키는 방법이다. 일반적으로 사용 ... 되는 스퍼터링 가스는 불활성 가스(inert gas)인 Ar을 사용한다. 여러 가지 불활성 기체가 있으나 가격등 여러 가지 측면을 고려했을때 Ar이 적당하다. 스퍼터장치의 시스템

리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.09.21

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Si 기판상에 DC 마그네트론 스퍼터링방식에 의한 Pt(200) 박막의 배향성장

한국재료학회 장지근, 김민영, 박용익, 장호정

논문 | 5페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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