"박막두께측정"의 검색결과 입니다.

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hall effect 엘립소미터 4point probe 면저항 신소재프로젝트1 전자기파의 특성 alpha step 스핀코팅 신소재 프로젝트3

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"박막두께측정" 검색결과 701-720 / 1,164건

박막제조

)을 설정하고 공정변수에 따라 실험한다.③ 모든 공정이 끝나면 wafer를 Unloading하여 XRR/Ellipsometer를 이용하여 시편 위치별 두께를 측정하고, Four ... -Point Probe를 이용해서 증착된 막의 전기적 특성(면저항, 비저항 등)을 측정 후 특성을 관찰하여 기록한다.④ 측정값을 결과 보고서에 적고 막의 두께의 평균과 그 균일도를 계산 ... 자체가 200℃에서 반응하기 때문에 반응 후 열이 식는 과정까지 기다리기에는 무리가 있다는 조교님의 판단으로 기존에 실험을 마친 시편을 준비하여 저항과 두께를 측정하였다. 이번 실험

리포트 | 4페이지 | 2,000원 | 등록일 2008.11.30

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진공증착

방법이 방법은 Substrate와 같은 조건으로 동시에 증착되는 Test Glass의 투과율 혹은 반사율을 측정하므로써 이루어진다. 광학적 박막 증착 중에는 그 박막의 광학적 두께 ... 1. 실험목적진공증착의 원릴 알아보고 프로그램을 이용하여 박막을 설계 한 후 실제로 무반사 박막계를 제작, 측정하여 프로그래밍한 값과 비교 분석하여 본다.2. 실험 이론증착코팅 ... 다른 원점을 중심으로 회전시켜주어서 증착물질과 기판의 각 부분의 거리가 시간적으로 균일해지게 하는 방식이다. 이 방식의 이름은 유성 회전법이다.두께 측정1) 광학적 두께 측정

리포트 | 20페이지 | 3,000원 | 등록일 2008.06.25

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cvd pvd

와l & Heat), 압력, 온도, 농도 등 및 잔류 배출② CVD 박막의 조건- 박막두께 및 성분의 Uniformity- 박막된 기판과의 adhesion 우수- 재현성 우수 ... ▶ CVD(chemical vapor deposition)▷ CVD의 정의박막과학과 기술은 중요한 산업으로 성장해 왔으며, 많은 연구의 대상이 되어왔다. 이유는 박막이 반도체 ... 의 제조에 중요하기 때문이다. 박막은 물리기상증착(Physical Vapor Deposition)과 화학기상증착(Chemical Vapor Deposition)등의 다양한 방법

리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2009.07.17 | 수정일 2015.11.03

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Aluminium Sputtering

를 변수로 증착시켜 그 증착두께의 변화를 측정하고, 증착두께에 따른 저항측정을 하였다. 이중 300W로 증착한 시편을 일반로와 진공로에서 annealing을 하여 재결정화에 따른 저항 ... 측정을 하였다. 실험 결과, sputter system에서 power의 세기는 플라즈마 형태로 된 Ar 양이온이 갖게 되는 힘을 크게 하여 증착두께를 두껍게 하는 비례적인 결과 ... 은 재료의 고유 비저항에 길이에 비례, 단면적에 반비례한다. 이 실험에서 power 변수에 따른 증착두께가 증가하였고, 측정 길이는 일정하므로 저항값은 감소함을 알 수 있었다. 저항

리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.09.25

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분광학적 분석 방법

는 powder나 박막위에 coating한 것 등고체시료는 거의 모두 분석 가능하다.③ 시료구비조건: 10mm X 8mm가 적당하며 두께는 2mm 이하로 준비한다.ⓑ UV / VIS (흡광광도 ... 다.ⓐ ESCA/AES (분광분석계)① 원 리: Mono-energetic X-ray를 이용해 시료표면 원자의 전자를 떼어내고그 전자의 운동에너지를 측정함으로서 시료표면의 정성 및 상대 ... 의 흡수율을 측정하는 기기이다.② 용도 및 성능 - 본 기기는 single-beam 형태로 microprocessor로 조절되며,시료에 따라 분해능은 1 ~ 2nm로 선택할 수 있다.

리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2011.12.18

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압력 감지를 위한 로봇 피부의 설계

금속 박막을 증착하여 형성한다. 양극접합을 이용하여 실리콘과 Pyrex glass 부분을 결합시키고 있다.5-2. 마이크로 압력센서의 측정원리압력이 가해지면 다이아프램이 변형 ... 의 동작원리6. 설계방향 및 결론 도출7. 참고문헌1. 초 록마이크로 압력센서의 원리는 미세한 금속박막과 저항체로 구성된 압력 스위치 array와 압력에 의해 탄성 변형된 전도성을 갖 ... 는 다이어프램과의 접촉에 의한 전지저항 변화를 이용하여 압력을 검출.2. 개 요프로세스 또는 시스템에서 기체나 액체의 압력을 측정하는 압력센서의 측정원리로는, 압력에 의해서 형상

리포트 | 10페이지 | 2,000원 | 등록일 2009.07.20

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홀 소자와 홀 센서

= eEHEH = vBEH : VH에 의한 전장으로 홀 전장이라 한다.홀 소자의 길이, 폭, 두께가 각각 L, W, d이며, 전류밀도 J는J그러므로로 홀 계수라 하고, q는 캐리어 전하이 ... 층 두께: 에팅스하우젠 계수1.4 열자기 효과전류자기 효과에서 제어전류 I 대신에 열효과가 있을 때 발생하는 현상으로, 네른스트(nernst) 효과와 리기-레듀(righi-leduc ... )으로 자장 B를 가하면 수직인 방향(x방향)에 온도기울기가 발생하는 현상을 말한다.: 리기-레듀 계수1.5 조셉슨 효과(Josephson effect)초전도체를 박막절연체로 약결합

리포트 | 39페이지 | 6,000원 | 등록일 2010.05.22

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기계공학기초실험 - 스트레인게이지, 히스톤 브릿지

◆ 스트레인 측정 방법① 주어진 시편의 폭과 두께를 측정한다.② 시편의 끝단에 약 5cm 떨어진 거리에 선 b를 그어준다.③ 길이 L만큼 떨어진 거리에 선 a를 그려주고 a ... 어 스트레인을 측정한다.1. 접촉식1) 일반용 스트레인 게이지(금속선, 금속박막, 반도체)금속 저항선은 외력에 의해 신축, 즉 그 단면적과 길이가 변화함으로써 전기저항이 변하게 된다 ... 아 스트레인을 측정한다.⑥ 무게를 알지 못하는 추를 달아 스트레인을 측정한다.⑦ 시편의 끝단을 치구로 3가지 다른 각각의 변위를 주어서 스트레인을 측정한다.⑧ 임의의 변위를 주

리포트 | 8페이지 | 3,000원 | 등록일 2012.06.07

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SEM HEM

? SEM(scaning electron microscope)1) 실험 목표: GaN/sapphire 박막의 SEM을 이용한 박막의 두께 측정을 하고 기판과 박막 간의 성장 상태 ... 상에 동일하게 표현이 된다.4) 실험 결과5) 결론 및 토의: 양호한 표면 형상을 측정할 수 있고 단면의 두께를 측정할 수 있다. 단면의 두께는 2.32㎛로 다소 차이가 있으나 박막 ... 성장은 양호한 편이다.또한 박막 내의 결함을 단면 측정으로 관찰할 수 있다. Si-wafer 위에 GaN를 성장하면 기판으로 사용한 Si-wafer를 간단한 화학적 습식 에칭

리포트 | 3페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.08.25

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건축재료계획과디자인 중간,기말 내용요약

이내)로 구분측정밥법 : 길모아침을 이용하는 방법, 비카트침을 이용하는 방법응결은 양생온도가 높고, 분말도가 클수록 촉진, 석고첨가량이 많거나 물시멘트비가 클수록 지연비카트침 방법 ... 이 발생하고, 이로 인한균열이 발생하는 경우가 있으므로 주의를 요한다. 수화열은 수화시멘트와 미수화시멘트의 용해열 차이로 측정한다.6. 안정성시멘트의 경화 중 체적 팽창으로 팽창균열 ... 칼슘보통시멘트를 사용하면 경화체가 알칼리성이 되므로 내알칼리성 유리섬유를 사용해도 GRC의 장기강도는 저하하며, GRC의 두께가 얇고 부배합이므로 건조수축이 크게 발생GRC시멘트

시험자료 | 9페이지 | 2,000원 | 등록일 2013.11.07 | 수정일 2013.11.09

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박막증착 장비의 종류 및 원리와 GaN LED의 이해

한지 이해한다.◎박막증착 장비의 종류(Chemical vapor deposition 중심)- 박막두께가 단원자층에 상당하는 0.1㎚에서 10㎛정도의 두께를 가진 기판 상에 만들어진 ... 고체 막을 지칭한다. 이와 같은 박막은 형성과정이 보통의 덩어리재료(Bulk)와 다르기 때문에, 구조차이에 의한 막고유의특성을 보유하게 되고 두께가 얇아짐에 따른 형상효과 ... ◎리포트 내용 및 목표- 박막과 박막증착 장비의 종류, 원리에 대해 이한해다.- 반도체와 홀효과(Hall Effect)의 관계를 이해한다.- GaN LED가 무엇이며 용도가 어떠

리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.11.30

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박막 재료의 표면처리 및 식각 실험 예비보고서

하는 것이다. 본 실험에서는 마스크에 의하여 형성된 패턴을 증착된 박막위로 전달하는 식각공정에 대하여 이해하고 그에 따른 박막의 표면과 두께의 변화등에 대하여 고찰하고자 한다.3 ... )를 이용하여 식각한다. 식각 전후의 산화막의 색깔 변화를 관찰하여 식각된 두께를 측정하고 식각에 의하여 형성된 패턴의 모양을 관찰한다.4. 실험절차(1) 산화막(SiO2)의 패 ... 공업화학실험1. 실험제목박막 재료의 표면처리 및 식각 실험2. 실험목적여러 가지 전기 및 전자기기에 사용되는 반도체 소자의 제조공정은 박막재료의 세가지 공정으로 나뉘어 지

리포트 | 12페이지 | 1,500원 | 등록일 2009.03.20

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CdS : Cu/CdS 동종접합박막 구조를 이용한 light emitting diode(LED) 구조의 제작 및 특성평가

CdS : Cu/CdS 동종접합박막 구조를 이용한 light emitting diode(LED) 구조의 제작 및 특성평가1. 실험목적Ⅱ-Ⅵ 족 화합물 반도체는 가시광선 영역 ... 에서 발광효과를 얻을 수 있는 재료로써 그 가능성이 크게 주목되어왔다. 그러나 효율이 좋은 발광 소자를 제작하는데 필수적인 낮은 저항을 가지는 박막과 p-n 접합을 얻지 못해 실용 ... 화되는데 문제점으로 제기되고 있다.이번 실험에서는 Ⅱ-Ⅵ 족 화합물 반도체 중에서 현재 다양한 분야에 응용되고 있는 CdS(Cadmium sulfide) 박막을 용액성장법을 이용

리포트 | 7페이지 | 1,500원 | 등록일 2010.04.12

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다층 고반사 박막 코팅

1. 실험의 목적진공증착의 원리와 무반사 박막의 원리를 알아보고 무반사 박막을 설계, 제작하여, 이론적인 박막의 특성과 제작된 박막에서 측정된 특성을 비교, 분석한다.2. 관련 ... 이론1) 진공 증착진공 증착이란 진공 중에서 금속이나 화합물을 증발시켜, 증발원과 마주 보고 있는 기관의 표면에 박막을 만드는 것을 말한다.금속이나 화합물이 증발할 만큼 고온 ... 원자와 반응시키고, 기판에 증발원에 대하여 양의 고전압을 걸어 질화티타늄 등의 이온으로 증착시키는 반응성 진공증착으로 강한 박막을 만드는 방법도 있다. 진공 증착은 증발원

리포트 | 9페이지 | 2,000원 | 등록일 2008.06.25

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박막증착 장비의 종류 및 원리, GaN LED

1. 박막 증착장비의 종류-박막은 두께가 매우 얇은 (0.1nm-10μm)기판상에 만들어진 고체막을 말하는데, 여러 가지 금속, 반도체 또는 절연물 등을 재료로 삼아 진공증착법 ... , 전기도금법, 기체액체속의 산화법, 화합물 열분해법, 전자빔 증착법 등에 의해 만들어집니다. 이러한 박막은 형성과정이 일반 재료와 다르기 때문에 구조적 차이에 의한 막고유의 특성 ... 을 나타내는데 물질은 박막상태가 되면 물리적, 화학적 성질이 크게 변하는데 예를 들면 불에 타지 않는 금속도 박으로 만들면 타는 경우가 있습니다. 또한 일반적으로 점성이 커지고 표면

리포트 | 8페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.11.30

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식각 박막 예비보고서

다. 본 실험에서는 마스크에 의하여 형성된 패턴을 증착된 박막위로 전달하는 식각공정에 대하여 이해하고 그에 따른 박막의 표면과 두께의 변화등에 대하여 고찰하고자 한다.3. 실험내용가장 ... 하여 식각한다. 식각 전후의 산화막의 색깔 변화를 관찰하여 식각된 두께를 측정하고 식각에 의하여 형성된 패턴의 모양을 관찰한다.4. 실험절차(1) 산화막(SiO2)의 패터닝 ... 1. 실험제목SiO2 박막의 식각 및 PR 제거2. 실험목적여러 가지 전기 및 전자기기에 사용되는 반도체 소자의 제조공정은 박막재료의 세가지 공정으로 나뉘어 지는데 첫째로 증착

리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2009.06.15

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TFT최종

를 CVD로 증착을 하게 되는데다음과 같은 식을 보게 되면와의 기체 유량으로의 가스 비율을 정할 수 있고, 이러한 가스 비율을 통해서의 비율이 커지면 Gate Insulator박막 ... etch.11월10일 Passivation, Contact lithography etch11월12일 anneal, 소자 측정① 세척하기- glass를 아세톤에서 10분, 에탄올 ... 을 날려) Soft-Bake- Hot plate에서 soft baking을 95℃에서 2분간 실시한다. 이때 액체인 PR이 흐르지 않게 위해서 PR 두께를 단단하게 하는 실험과정이다.3

리포트 | 21페이지 | 2,000원 | 등록일 2011.01.25

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PV JAPAN 2009 태양광 전시회 참관 세미나 요약보고서

※ 레이저스크라이빙 : 실리콘 박막태양전지는 약 3mm 두께의 기판 유리를 세정한 후에 전면 전극인 TCO(ITO, ZnO:Al, SnO:F 등)막을 증착한 후1) 레이저를 이용 ... 형, CdTe를 이용한 박막형 태양전지 등 다양한 제품을 선보였으며, 샤프(SHARP)에선 태양전지 겸용 창문을 전시하는 등 다양한 제품, 적용방법을 선보임ㅇ 총 223개 참여 기업 ... 중 장비업체는 63개 업체로 약 30%를 차지, 다양 제품을 선보임- Applied materials, 알박(ULVAC) 등 선도기업들은 결정형과 박막형 각 분야에서 턴키제조방식

리포트 | 20페이지 | 1,500원 | 등록일 2009.08.14

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MOS소자

으로 여러층으로 형성해 가는 하나의 일관된 과정이다. 특정재질의 박막을 주입 (implantation), 성장, 식각(etching) 하는 과정에서 패턴을 만들게 되는데, 사진 공정 ... 면 Capacitor의 + 전극에는 +Q, - 전극에는 .Q만큼의 전하가 모인다. 이런 원리를 이용하는 것이 MOSFET이다.(식 1): 진공 유전율: 유전상수A : 면적t : 두께 ... : 원치않는 부분의 Pt를 아세톤을 이용하여 제거(6) C-V parameter를 이용하여 Capacitance-voltage curve를 측정5. 실험결과1)그래프i-v curve

리포트 | 7페이지 | 1,500원 | 등록일 2010.05.12

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자기저항 , 스핀전달토크에 의한 자화반전 및 세차운동의 원리 및 소자응용 가능성, Runge-Kutta 방식, LLG식.

기기 저항이고,는 인가자장을 가했을 때시편의 전기 저항이며, MR의 특성은 비자성 박막층의 두께와 관련이 아주 크다.자기저항은 절대 온도의 단위로 쓰이는 Kelvin 경(Baron ... 방향 법으로 제조된 Fe/CR 60층의 다층박막에서 자기 저항비가 46%정도 되는 아주 큰 자기저항 효과를 발견하였는데, 과거 NiCO합금에서 3~6% 이방성 자기저항 효과와 비교 ... . Jin에 의해박막에서 실험되었다. 이러한 물질계에서는 아주 큰(~100%)자기 저항 효과가 나타나는데, 이 같은 현상을 초거대 자기저항효과라고 한다. 원인은 charge

리포트 | 7페이지 | 2,000원 | 등록일 2011.03.17

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