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"화학기상증착법" 검색결과 201-220 / 597건

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  • 리튬이차전지용 그래핀기반 전극물질 개발
    화된 그래핀 위에 물리적 기상증착법을 적용하면 다양한 양극소재 증착이 가능 종이화된 그래핀은 음국 전위 구역에서 리튬과의 반응성이 상당히 높아 양극/음국 모두 적용가능이차전지용 그래핀 ... : 그래핀을 리튬 이차전지용 전국물질을 성장시킨다면 그래핀이 전도성 지지체 역할 을 수행함으로써 전기화학적 특성을 크게 향상시킬수 있음.이차전지용 그래핀그래핀 기반 리튬 이차전지 음극 ... 율특성또한 좋지 않음 우수한 기계적 특성과 높은 전도도를 보이는 그래핀을 지지체로 사용할 경우 전기화학적 특성 개선 그래핀 표면을 산화 시키면 표면이 (-)극성을 띄는데 산
    리포트 | 8페이지 | 1,500원 | 등록일 2013.11.20
  • 탄소나노튜브 성장 기술
    합성을 위한 화학기상증착장치(보트형태)보트형태로 공간의 효율적인 사용열화학기상증착법을 이용한 탄소나노튜브의 제조방법Invar 사용550도 이하 생성Mo와 Cr 사용산성에칭액 사용Sg ... 를 분리할 필요가 없다.보트형태보다 대용량 생산이 가능하다.열화학기상증착법을 이용한 탄소나노튜브의 제조방법 삼성에스디아이 주식회사, 특허번호 10200200781682. 탄소나노튜브 ... 3탄소나노튜브성장기술탄소 6개로 이루어진 육각형들이 서로 연결되어 관 모양을 이루고 있는 신소재탄소나노튜브 물성전기적 성질열적성질기계적성질아크방전법기술코로나 방전법레이저증착화학
    리포트 | 15페이지 | 3,000원 | 등록일 2011.05.10
  • 생활 속의 나노기술 -탄소나노튜브-
    vaporization)③ 플라즈마 화학기상증착법 (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)④열 화학기상증착법 (Thermal Chemical ... 다.③ 플라즈마 화학기상증착법 (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)플라즈마 CVD는 열 CVD에 비해서 저온에서 탄소나노튜브를 합성시킬 수 있 ... 는 반응로의 온도변화와 위치 등에 따라 반응상태가 영향을 받는 단점이 있지만 장치가 간단하고 대량합성에 절대적으로 유리한 특징을 가지고 있다.열 화학기상증착법을 이용한 탄소나노튜브
    리포트 | 12페이지 | 1,500원 | 등록일 2012.01.07
  • MOCVD 이해
    polycrystalline 박막을 생산하는데 사용되는 화학기상 증착 방법이다. 이 기술은 복잡한 반도체 다층구조를 성장하는 결정층을 만들기 위해 사용되며, physical deposition ... MOCVD(Motalorganic chemical vapor deposition)의 원리와 이해1. 정의유기금속화학기상증착법(MOCVD)은 single 또는 ... 성장을 시작으로 발전되어 많은 화합물 반도체의 성장에 이용되고 있다.2. 원리화학기상증착법에서의 반응은 반응가스의 운송, 흡착, 반응생성물의 이동과정이 있고, 박막 성장과정 중
    리포트 | 16페이지 | 2,500원 | 등록일 2013.12.27
  • 반도체소자와공정-1
    이나 플라즈마를 이용하여 증발된 금속원자를 wafer 표면에 증착시키는 기술이다. 화학 기상 증착법(CVD) CVD는 균일하고 좋은 단차 피복성을 갖는 코팅을 제공하고 한번에 많 ... 만큼 이온 주입이 어렵 다.6) 박막 증착 공정에피텍시얼 성장에 사용하는 기술 화학 기상 증착(CVD:Chemical Vapor Deposition) 1) GAS간의 화학반응으로 형성 ... 제작할 수 있다.6) 박막 증착 공정금속배선(Metallization) wafer 표면에 형성된 각 회로를 Al, Cu등으로 연결시키는 공정이다. 물리 기상 증착법(PVD) 전자빔
    리포트 | 21페이지 | 3,000원 | 등록일 2012.04.21
  • 꿈의 신소재
    나노튜브 합성기술 전기방전법 (arc-discharge) 레이저 증착법 (laser vaporization) 플라즈마 화학기상증착법 (Plasma Enhanced Chemical ... Vapor Deposition) 열화학 기상증착법 (Thermal Chemical Vapor Deposition) 기상합성법 (Vapor phase growth)탄소나노튜브 그래핀 ... 튜브 그래핀 1. 그래핀 Advanced materials of Dream 그래핀 제조방법 고온에서 탄소를 잘 흡착하는 전이금속을 촉매층으로 이용 화학 증기 증착법탄소나노튜브
    리포트 | 20페이지 | 2,000원 | 등록일 2012.04.30
  • 탄소나노 튜브
    이 튜브축을 따라서 나선형으로 배열된 ‘ 키랄 ' 구조 103. 탄소 나노튜브 제조방법 . 플라즈마 화학기상증착법화학 기상 증착법 전기 방전법 레이저 증착기상 합성법 전기분해 ... 법 Flame 합성법 113.1 플라즈마 화학기상증착법 ( Plasma Enhanced CVD) 방전 공간을 전극 사이에 끼움 . 글로우 방전을 발생 . 반응기체 C 2 H 2 ... . 12플라즈마 CVD 법에 의한 탄소나노튜브 SEM 사진 133.2 열화학기상증착법 (Thermal Chemical Vapor Deposition) 기판 위에 촉매금속 증착 (Fe
    리포트 | 23페이지 | 1,000원 | 등록일 2011.11.26
  • 07CVD (2)
    CVD (Chemical Vapor Deposition)목 차CVD의 정의 CVD의 원리 CVD의 장·단점 CVD의 반응 CVD의 종류CVD의 정의화학 기상 증착법 기체 상태 ... (s) + 4HCl(g)CVD법의 반응표면에서의 화학반응이 빠르면, 박막의 퇴적속도는 원료가스가 기판 표면에 도달하는 비율로 결정(공급률속) 원료가스가 기판 표면에 도달하는 것 ... 이 빠르지만 화학반응이 늦은 경우 퇴적속도는 화학반응의 속도로 결정(반응률속)CVD법의 반응일반적으로 CVD법의 퇴적 속도는 퇴적시의 기판 온도와의 관계에 의해 변화함CVD 퇴적속도
    리포트 | 23페이지 | 1,000원 | 등록일 2012.02.18
  • 무전해도금발표_B1
    . 탄소나노튜브의 합성 (2) 화학 기상 증착법 (Chemical Vapor Deposition) 화학 물질을 plasma 및 열을 이용하여 박막을 형성 CVD 는 다른 방법 ... 들과 달리 기판위에 탄소나노튜브를 합성 화학 기상 증착법 모식도2-4-1. 탄소나노튜브의 합성 화학 기상 증착법 아크 방전법 탄소나노튜브 1.2~1.6 nm 의 직경 다른 방법으로 합성 ... 무기공업화학 실험 발표 CNT 코팅 필름의 무전해도금법 을 이용한 구리도금 및 저항 측정 / 평가 B-1 조목 차 CNT 코팅 필름의 무전해도금법 을 이용한 구리도금 및 저항
    리포트 | 42페이지 | 2,000원 | 등록일 2013.02.28
  • MEA & CNT 기술과 특허
    below Ni catalyst by carbon diffusion through the Ni particle아크방전법기술코로나 방전법레이저증착화학기상증착법열분해법HIPCO화학기 ... 으로써 백금 나노 촉매를 담지하는 단계를 포함하여 탄소 종이 표면에 탄소나노튜브를 직접 성장시키고, 그 탄소나노튜브 표면에 화학기상증착 법을 사용하여 백금을 담지시킨 백금 나노 ... 를 10~300sccm흘려줌30분~6시간동안 유지하면 탄소종이 표면에 탄소나노튜브 성장됨. CNT위에 화학기상증착법을 사용하여 백금을 담지시킴-백금 전구체((CH3)3(CH3C5H4
    리포트 | 17페이지 | 3,000원 | 등록일 2011.05.10
  • GaN의 특성과 성장 방법
    년에 26억달러에 이를 전망이다.단결정 성장법○ 하이드라이드 기상성장(HVPE: Hydride Vapor Phase Epitaxy)HVPE법은 CVD의 일종이다. GaN 기판결정 ... 을 지니는 물질로서 청색이나 자외선 영역의 발광소자에 응용이 기대되는 재료이다. 또한 열전도도가 크고(1.3 W/cm), 고온에서 안정하며, 포화 전자 이동 속도가 크고, 화학 ... GaN buffer layer를 증착시키고 그 위에 GaN 를 성장하고 있는데 1000℃ 이상의 고온이 필요하여 박막의 질 저하와 소자의 효율 감소 등의 문제가 대두되고 있
    리포트 | 5페이지 | 1,500원 | 등록일 2016.02.28
  • 세라믹8조탄소나노튜브
    nanotube ) - 하나의 튜브에 탄소원자로 구성된 벽이 여러겹인 튜브형태 - Strait Type( 전기방전법 ), Bamboo Type( 화학기상증착법 ), Cut-s ... 튜브의 합성 기술 전기방전법 (arc-discharge) 레이저 증착법 (Laser vaporization) 열 화학기상증착법 (Thermal CVD) 플라즈마 화학기상증착법 ... 의 SEM 사진 ( 좌 ) 과 TEM( 우 ) 사진 주사전자현미경 ( 시료의 표면관찰 ) 투과전자현미경 ( 시료의 내부관찰 )열 화학기상증착법 (Thermal CVD) 750~1050
    리포트 | 30페이지 | 1,000원 | 등록일 2011.06.08
  • SiC_반도체
    flow rate이다. 화학기상 증착법에는 증착하는 원료를 활성화하기 위하여 에너지를 가하는 방법에 따라 thermal CVD, plasma enhanced CVD, laser CVD ... 물이 포함되는데 이들이 불순물로 존재하여 반도체로서의 우수한 특성을 보이지 않게 된다.2) 화학기상 증착 방법화학기상 증착 방법으로 제조된 탄화규소 (chemically vapor ... 적, 열적 특성이 우수하며 화학적, 기계적 안정성도 뛰어나 차세대 반도체 재료, 특히 고전압, 고출력, 고온 반도체 재료로서 가장 응용 가능성이 뛰어난 재료이다.4. 탄화규소 제조법1
    리포트 | 9페이지 | 1,000원 | 등록일 2012.02.12
  • 탄소나노튜브
    합성 1996년 레이저증착법-다발형 나노튜브 1998년 플라즈마화학기상증착법3. 탄소나노튜브의 종류4. 탄소나노튜브의 합성법전기방전법 레이저증착법 플라즈마 화학기상증착법화학기상 ... (플라즈마 화학기상증착법)플라즈마 화학기상증착 장치에 대한 개략도4. 탄소나노튜브의 합성법 (열 화학기상증착법)열 화학기상증착 장치의 개략도5. 탄소나노튜브의 합성법 (기상합성법)기상 ... 증착기상합성법4. 탄소나노튜브의 합성법 (1.전기방전법)전기방전장치의 구조도4. 탄소나노튜브의 합성법 (2.레이저증착법)레이저 증착장치의 구조도4. 탄소나노튜브의 합성법
    리포트 | 20페이지 | 1,000원 | 등록일 2010.10.25
  • ALD (Atomic layer Deposition) 원자층 증착
    cycle 당 monolayer 이하로 나타나는 특성을 보인다.ALD 원리 및 적용 (TIN ALD)원자층 증착화학증착법의 발전된 형태로 볼 수 있다. 일반적인 화학증착법 ... 이 가능한 공정개발이 요구되고 있다. 따라서 나노크기(nanoscale)로 증착할 수 있는 다양한 박막 증착기술이 개발 되고 있다. 나노크기 박막 증착기술은 크게 PVD법과 CVD법 ... 을 뿐 아니라 원자단위의 박막조절에 한계가 있다. PVD법 중 MBE방법은 원자층 제어가 가능하고 단결정의 epitaxy 박막을 증착시킬 수 있다는 장점이 있는 반면, 초고진공
    리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2011.07.05
  • 나노튜브에 대하여
    으로는 전기방전법, 열분해법,레이저 증착법,플라즈마 화학 기상 증착법, 열화학기상증착법, 전기 분해방법,Flame합성방법이 있음.항공우주. 생명공학, 환경에너지, 재료산업, 의약 ... 의 성장속도가 증가.3) 성장온도가 증가할수록 탄소나노튜브의 수직 배향성이 향상.4) 열 화학 기상 증착법으로 합성한 탄소나노튜브는 성장온도에 관계없음...PAGE:6합성온도 ... 에 따른 구조특성(1)열 화학 기상증착법으로 합성시킨 탄소나노튜브는 합성온도에 관계없이 모두 비어있는 대나무 구조임.2) 합성온도가 높을수록 탄소나노튜브의 다중벽의 그래파이트 면의 갯수
    리포트 | 13페이지 | 1,000원 | 등록일 2011.02.19 | 수정일 2014.10.27
  • 탄소나노튜브 풀러렌
    기상증착법에 의한 탄소나노튜브의 SEM사진⑤ 기상증착법기존의 C2H2, CH4, C2H4, C2H6등의 반응가스를 이용해서 탄소나노튜브를 합성하는 대부분 의 탄소나노튜브 합성방법 ... 은 기판위에 촉매금속을 증착하여 탄소나노튜브를 합성하는 방법이다. 그러나 기상합성법은 기판을 사용하지 않고 반응로안에 반응가스와 촉매금속 을 직접 공급하여 기상에서 탄소나노튜브 ... SEM사진 (c) 다중벽SEM사진② 레이저 증착법 (Laser vaporization)1995년에 미국 라이스대학의 Smalley 그룹은 레이저 증착법에 의해서 탄소나노튜브를 합성
    리포트 | 20페이지 | 2,000원 | 등록일 2012.05.25
  • [코팅 도금] CVD & PVD
    의 약자로 기상에서 고상을 석출하는 과정으로 화학증착법이 라고 불리는 방법이며, 진공증착, 스파터링, 이온 프레팅 등의 물리적 증착 법(PVD: Physical Vapor ... 하며, 다성분계(多成分系)의 피복도 용이하고 공해가 적다는 것이다.4. CVD법의 원리CVD법, 즉 화학증착법은 고온에 의한 수소환원이나 열분해를 이용한 화학적 프로세스에 의한 것이 ... , AlO등 의 경질무기화합물(경질 세라믹)을 기상반응을 이용해서 증착 피복한 공구 를 말한다. 기상코팅의 하나인 방법으로의 CVD는 Chemical Vapor Deposition
    리포트 | 15페이지 | 1,500원 | 등록일 2005.05.29
  • 반도체공정-유전체증착
    - 공정별로는 용액을 스핀코팅하여 박막을 얻을 수 있는 spin-on 형 물질과 기 체 또는 감압상태에서 박막을 얻을 수 있는 화학기상증착법 (CVD) 물질로 분류 spin-on 및 ... , Single crystalline 2. 성장조건 : 온도 , 압력 , 성장률 , 가스 유량 등 . 화학증착 ( CVD ) CVD 의 개략적인 구조저온 증착법 1) 조건 · 대기압 ... 반도체 공정 – 유전체 증착목 차 1. 반도체제조공정 - 박막증착 2 . 박막증착방법 - 물리증착 (PVD) - 화학증착 (CVD) 3 . 박막증착과 박막의 특성 - 유전체증착
    리포트 | 26페이지 | 2,000원 | 등록일 2011.05.19
  • 탄소나노튜브
    온도가 증가할수록 탄소나노튜브의 수직 배향성이 향상.열 화학 기상 증착법으로 합성한 탄소나노튜브는 성장온도에 관계없음...PAGE:86. 합성온도에 따른 구조적 특성(1)열 화학 ... 과 내벽에 있는 그래파이트 면의 결함이 증가함...PAGE:96.합성온도에 따른 구조적 특성(2)열화학기상증착법으로 합성시킨 탄소나노튜브의 팁은 합성온도에 관계없이 끝부분이 막혀있 ... 전기방전이 잘 일어남.◈ 일반적으로 MWNT가 많이 합성됨...PAGE:127. Carbon Nanotube의 제조방법(3)Plasma 화학 기상증착법◈ 열CVD에 비해 저온
    리포트 | 17페이지 | 1,500원 | 등록일 2011.02.19
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2025년 06월 03일 화요일
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