MEMS

소개

MEMS (Micro Electro Mechanical System)에 관한 레포트입니다.
주로 수업에 사용한 교재를 이용하였습니다.
참고만 하세요.

목차

1. MEMS의 정의
2. MEMS의 역사
3. 마이크로머시닝(Micromachining)
4. MEMS에 사용하는 재료
5. MEMS의 설계
6. MEMS를 활용한 예
7. 다른나라의 MEMS
8. MEMS의 전망

본문내용

1. MEMS의 정의
MEMS란 반도체 기술에서 파생되었으며, 마이크로 전자 기계 시스템 (Micro Electro Mechanical systems)의 약자이다. 글자 그대로 풀이 하면 마이크로미터 크기의 전기적이면서도 기계적인 시스템 또는 소자라고 말할 수 있으며, 이에 따라 미소기전시스템이라고 부르기도 한다. 그리고 MEMS는 마이크로 시스템, 마이크로 머신, 마이크로 메카트로닉스 등의 동의어로서 혼용되고 있다.
현미경에 의하지 않고서는 형체를 알 수 없을 정도로 작은 기계가 공상소설의 영역을 벗어나 이제 현실공학의 새로운 분야로 정착 되었다. 한마디로 말해 개미와 같은 마이크로 로봇을 인공적으로 만들어서 미소한 운동이나 작업을 시키려고 하는 것이다. 즉 개미의 눈이나 촉각에 해당하는 각종 센서, 뇌나 신경에 해당하는 논리 회로, 팔과 다리에 대응하는 마이크로 메카니즘, 그것을 움직이게 하는 마이크로 액추에이터를 하나로 하는 시스템을 일컫는다. 크기는 수mm에서 수nm까지에 이르며 수cm크기라 해서 마이크로 머신이라고 불리는 경우도 있다.
마이크로 머신의 아이디어가 제창된 초기에는 혈관 내를 돌아다니면서 환부를 치료할 수 있는 기계에 대한 구상도 있었다. 허나 지금 기존의 기계를 단순히 축소해야 마이크로 머신이 되리라는 생각은 이제 과거의 것이 되었다. MEMS란 마이크로머신이 느끼고 생각하며, 운동 하는 시스템을 일컫는다.


2. MEMS의 역사
1960년대 초에 MEMS는 실리콘 가공기술에서 시작되었으므로 최초의 연구는 실리콘 기판상에서 즉, 밸브, 모터, 펌프, 기어 등의 부품을 2차원 평면으로 제작한 것이 그 시초였다. 이의 발전은 마이크로 센서의 수요 확대에 힘입어 실리콘 기판위에 압력센서, 가속도 센서등과 신호처리용 집적회로, 그리고 센서에 의해서 제어가 가능한 마이크로 액추에이터를 집접화 하여 인텔리전트 시스템을 구현하려는 의도가 있었다.
1970년대에 이방성 에칭을 이용한 여러 가지 디바이스가 연구 되었고 이를 이용한 3차원 구 조를 가진 광학 디바이스, 잉크젯, 홀로그래피 등이 연구 되었다. 이처럼 반도체 기판 자체를 에칭하여 3차원구조를 만드는 것을 마이크로 머시닝 이라 하고 bulk machining 이라고 부른다.

참고자료

· 없음