박막트랜지스터

소개

박막트랜지스터에 관하여 조사하였습니다.

목차

1. 박막트랜지스터?
2. 산화물 박막트랜지스터란?
3. 산화물 박막 트랜지스터의 필요성
4. 산화물 박막 트랜지스터의 종류와 현재 발전상황

본문내용

1. 박막트랜지스터?
박막트랜지스터는 TFT라고도 한다.
제작을 위해서는 반도체와 절연체, 그리고 금속의 박막을 차례로 증착하여 만든다. 전압 대 전류 비의 특성곡선 모양은 단결정 전기장 효과 트랜지스터(MOSFET)의 것과 유사한 형태를 하고 있다. 그러나 반도체 막을 증착에 의하여 만들기 때문에 단결정 반도체 막에 비해서 더 많은 전기적인 결함과 격자구조의 불완전함을 제작 공정에서 동반하게 된다.
그것이 단결정트랜지스터에 비해서 복잡한 전류 전달 모델을 갖게 하여서 특성의 완전한 수치적인 해석은 컴퓨터의 도움을 받아서만 가능하다. 소자의 성능이나, 재현성 그리고 안정성을 개선하기 위해서는, 반도체 내부와 반도체와 절연체와의 계면에서의 트랩과 결함의 밀도를 제어할 수 있어야 한다. 1960년대에 단결정 실리콘을 사용한 바이폴러(bipolar) 트랜지스터와 MOSFET의 개발 이후 미국의 와이머가 황화카드뮴 화합물의 증착막을 이용하여 개발한 것이 최초이다.
지금까지의 TFT는 절연 게이트형의 전기장효과 트랜지스터가 대부분이었다. 반도체 막의 재료로는 저온에서 형성되는 셀렌화 카드뮴 CdSe이나 텔루르 Te 등을 사용하였다. 그러나 이들의 불안정성 때문에 실용화되지는 못했다. 1970년 대 말 수소화비결정성 실리콘과 다결정 실리콘을 이용한 박막트랜지스터가 발표되면서 연구가 활발하게 진행되었다.
TFT는 대면적 기판위에 형성될 수 있는 장점을 이용해 현재에 이르기까지 액정디스플레이, 레이저프린터 헤드 등의 주변 소자, 그리고 스캐너 등의 이미지센서로 개발되어 실용화되고 있다. 특히 1990년대부터는 비결정성 실리콘 TFT를 이용한 평면디스플레이를 이용하여 9.4인치 급의 노트북 컴퓨터 화면으로 제품화가 되고 있으며 15인치 이상의 대화면도 개발되고 있다.

참고자료

· 없음