[OLED, LED] 투명전극 IZO, ITO, ZnO 박막 특성 분석

소개

실험주제 `투명전극으로 이용되는 IZO, ITO, ZnO의 특성을 알아보고 투명전극의 특성 평가요소인 transmittance, sheet resistance와 함께 단차를 측정해보고 IZO, ITO, ZnO를 평가해본다.
`에 대해 실험을 하고 실험에 대한 이론 조사 및 방법, 결과 분석에 대해서 썼습니다. 필요하신 내용이 있으신 분은 참고하시기 바랍니다.

목차

1. 실험목적
2. 실험기구 및 재료준비
3. 실험이론
① ITO ( Indium-Tin Oxide ) : 산화인듐주석
② ZnO (zinc oxide)
③ IZO(indium zinc oxide)
④ Four-Point Probe Measurement
⑤ 물질이 투명할 조건
⑥ 투명전극 재료 및 특징

4. 실험방법
- Sample 세척
-단차 측정
-Sheet Resistance를 이용한 비저항 구하기
- Absorption 및 Trasmittance 측정
- ITO 가열 시간에 따른 특성 분석

5. 실험결과
- Alpha step 을 이용한 두께
- Sheet resistance와 비저항
- Absorption 및 Trasmittance

6. 결과분석 및 고찰

본문내용

1. 실험목적
투명전극으로 이용되는 IZO, ITO, ZnO의 특성을 알아보고 투명전극의 특성 평가요소인 transmittance, sheet resistance와 함께 단차를 측정해보고 IZO, ITO, ZnO를 평가해본다.

2. 실험기구 및 재료준비
ITO, IZO, ZnO Glass, reference glass, UV/VIS Spectrophotometer, IPA, Beaker, Al etchant, ITO etchant, Oven, 4-Point Probe, Alpha-step, 칼

3. 실험원리
① ITO ( Indium-Tin Oxide ) : 산화인듐주석
ITO 는 Indium-Tin Oxide의 약자로서 산화 인듐 주석 이라고도 한다. ITO는 전기전도가 우수하면서 Band-gap이 약 4.3eV으로 work function이 크고, 가시광선영역의 빛의 투과성이 좋고, 전기 전도도가 높으며, pattern하기가 쉽기 때문에 평판 디스플레이 제작에 쓰이기 용이하다. 또 ITO가 투명한 이유는 산화물 세라믹이어서 Band-gap이 크기 때문이다.
ITO는 매트릭스 방식으로 구동되는 PDP, LCD 등의 얇고 평평한 디스플레이에서 투명전극으로 사용된다. 매트릭스 구동방식은 기본적으로 다수의 가로 전극과 다수의 세로 전극을 모기장처럼 배치하고 가로 몇 번째 세로 몇 번째 전극에 신호를 주어 그 위치의 셀이 발광하도록 하는 원리인데, 이 전극들이 불투명하면 전극 사이에서 발생 하는 빛이 전극에 가려져 잘 보이지 않게 되므로 투명한 전극이 필요하다.
ITO는 주원료 In에 의한 재료비의 상승 In의 확산으로 인한 소자열화 수소 plasma 하에서의 In Sn의 높은 환원성 그에 따라 ...

참고자료

· 없음