ITO 투명전극과 TCO

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ITO 재료의 특징
디스플레이내에서 ITO의 직접적인 역할
TCO(transparant conductive oxodes)
투명전극에 대해...

본문내용

ITO기술용어?
ITO는 Indium-Tin Oxide(산화인듐주석)로 전기전도가 우수하면서 Band-gap이 2.5eV이상으로 가시광역에서 투명하기 때문에 디스플레이의 투명전극에서 많이 쓰입니다. 다른 투명전극 재료에 비해 전극 패턴 가공성이 우수하고, 화학적 열적 안정성이 뛰어나며 Coating시 막 저항이 낮습니다.

ITO 재료의 특징
ITO는 indium-tin oxide로 되어 있고 보통 조성은 SnO2가 5~10wt%를 함유하고 있는 물질입니다. 이 조성에서는 전기전도가 좋고 인듐에비해 주석(SnO2) 가격이 싸기 때문에 주석이 많이 함유된 10wt%를 많이 씁니다.

ITO는 전기전도가 우수하면서 Band-gap이 2.5eV이상이어서 가시광역에서 투명하기 때문에 디스플레이의 투명전극에서 많이 쓰입니다. (LCD, PDP, OLED등등...)

보통은 디스플레이 용도로 쓰일때에는 스퍼터링을 사용해서 증착합니다. 고분자 폴리머에 증착하기도 하는데, 보통 반응성 스퍼터링으로 기판을 가열해야 막질이 좋아지기 때문에 널리 쓰이지는 않지요.

ITO는 파우더형태로도 제조됩니다.
분말 제조 방법은 크게 액상법과 기상법이 많이 응용되어지고 있습니다.
액상법은 침전법을 이용하는 방법인데 이것은 ITO의 원료물질을 물에 녹을 수 있는 In(NO3)3, SnCl4등의 원료물질을 이용하여 먼저 물에

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