basic vacuum practice

소개

vasic vacuum practice 의 내용을 한부분도 빠짐 없이 요약 정리 해 놓았고,
발표하기 좋게 정리해 놓았음. ppt는 영문으로 작성 메모란에 한글설명 하였음.
소장가치 있다고 생각함.

목차

Basic Vacuum Practice
What is vacuum?
Gas Laws
Gas Flow
Throughput

Pumps
Roughing pumps
High Vacuum Pumps
Ultra High Vacuum Pumps

Gauges
Systems

본문내용

오일 확산 펌프 :
대기에서 작동하지 않으며 10-3 torr 에서 작동한다. 동작하기 위해서 백킹펌프 또는 포펌프가 필요.
jet assembly : 다단식 제트장치. 제츠장치는 동심원통들의 집합체이다.
Cold cap : 제트장치의 위에 놓여있고 진공용기 밖에 펌프오일 증기가 유지하도록 돕는다.
Oil의 역류를 방지하는 소자를 이용하면 배기 속도는 감소한다.
동작원리:
펌프의 끓는점 까지 펌프오일을 가열함으로써 작동한다.
무거운 고속 오일 증기분자들이 기체 분자들과 부딪칠 때, 기체의 실질적인 배기가 이루어진다.
기체 분자들은 아래로 부딪치고 증기제트 흐름의 움직임에 의해 압축된다.
트랩된 기체는 펌프에서 다시 증발될 수 있고 또 진공용기로 들어갈 수도 있다.이런 현상을 줄이기 위해 오염된 오일을 기화시킴.
확산 펌프는 기체를 직접 대기중으로 방출 시킬 수 없다. 오일이 대기와 만나면 심각한 산화를 일으켜 폭발할 수 있음.심각한오염
최대허용 포라인 압력 : 기체들을 배기하기 위한 확산 펌프의 용량

확산 펌프와 기계적 백킹펌프 의 throughput 이 어울려야 한다. 즉 Q(MP)=Q(DP) -> SP(MP)=SP(DP)
단위 사용에 있어 l/sec 보다는 cfm단위를 사용하므로 1m=60s , 1cubic foot =28.4 l 라는것을 기억해야 한다.

참고자료

· basic vaccum practice