미리보기

소개

Plasma의 기본적인 원리 이론, 응용에 대해 만들어보았습니다.
교육용 자료로 직접 만든 자료입니다.

목차

1. History of plasma and discharge
2. classification of Plasma
3. What is Plasma?
4. Plasma의 생성
5. Characteristic of Plasma
6. Plasma frequency
7. Debye shield
8. 저기압 기체 방전관
9. Plasma 방전 과정
10. Glow 방전
11. Arc 방전
12. Chamber 내에서의 DC Plasma
13. Chamber 내에서의 RF Plasma
14. Plasma application

본문내용

1. History of plasma and discharge
1750년대: Benjamin Frankiln 이Leyden 병을이용하여“번개는전기현상이다.”라는것을밝힘최초의방전에관한학문음전기와양전기등의개념을도입번개를피하기위한피뢰침을고안최초의전기공학자19세기: 방전에관한본격적인연구들이진행되기시작(Michael Faraday) 1898년대: William Crookes, 기체가전자와양성이온으로분리되는것을이온화라고정의1920년대: Irving Langmuir, 플라즈마정의, 플라즈마경계면에대해서Sheath 개념을도입자기장에서의이온들의역학에관한이론들이나오면서많은발전이이루어짐1940년대후반: 2차대전을계기로레이더가개발되면서축적된기술로Microwave를이용한플라즈마개발1950년대: 선진국을중심으로핵융합에대한연구가활발이이루어짐플라즈마물리학의많은발전을이룩1970년대이후: 미세전자회로가공을위해플라즈마를이용건식식각및증착공정을산업에적용
방전과전기의연구에대한연구는약250년정도
플라즈마연구가시작된지는약80년정도
플라즈마가응용되기시작한것은19세기전기아크현상중발생하는빛을이용하여광원으로사용한것

What is Plasma?
정의
-이온화한기체로서고체,액체,기체도아닌“물질의제4상태”
-원자핵과전자가분리된전리기체-전기적으로거의중성을유지-기체분자가전자와이온으로분리된상태-우주구성물질의99% 이상이플라즈마상태로구성예) 번개, 거리의네온싸인, 극지의오로라, 태양

참고자료

· 없음
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