재료공학실험 (SEM)

소개

재료공학실험 레포트입니다. 많은 도움이 되었으면 합니다.SEM의 구성요소에 대한 설명입니다.

목차

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본문내용

SEM은 집광렌즈(condenser)와 대물렌즈(objective)를 가지고 있으나, 광학현미경이나 투과전자현미경(TEM)처럼 빛의 법칙에 따라서 화면을 형성하지 않고, 전자기렌즈가 전기가 통하는 시편의 표면에 초점을 형성한 전자빔 spot을 형성하고 이 spot이 관찰하고자 하는 시편부위를 scanning하여 영상을 형성한다. 이 과정중에 여러가지 형태의 radiation이 발생하지만 SEM에서는 시편의 가장 표면에 가까운 영역에서 발생하는 2차전자(SE: Secondary Electron)를 이용한 것으로 적당한 신호처리 과정을 통하여 CRT에 영상을 나타나게 한다. CRT에 나타난 영상의 한점의 밝기(brightness)는 전자빔과 시편의 상호작용에 의해서 시편의 그 부위에서 발생되는 2차전자의 갯수에 비례한다. 전자빔의 시편의 한점 한점에서 2차전자의 signal을 수집하여 CRT에 보내는데 scanning하는 속도가 빠른 반면 CRT의 phosphor는 비교적 장시간동안 밝기를 유지하기 때문에 CRT에서는 연속적인 tone image를 형성한다.
․ ▶ 구성요소 ◀
1. Vacuum system - Remove air molecules
2. Electrical Optical System - Focus and control the e beam
3. Specimen stage - Insertion and manipulation
4. Secondary electron (SE) detector - Collect signal
5. Electronics - Display image
◎ Vacuum system 은 TEM 의 진공 system과 유사하게 mechanical pumps와 oil diffusion pumps로 구성되어 있다. 진공 system의 기본 기능은 전자현미경의 column내에서 공기분자들이 고에너지 입사 전자나 시편에서 방출되는 2차전자들과의 충돌을 방지하도록 column내의 공기를 빼내는 것이다.

참고자료

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