FE-SEM (주사 전자현미경)의 기본 원리

소개

FE-SEM에 적용된 기본 이론에 대한 소개 및 작동원리를 구체적으로 소개하고 SEM의 기본적인 구성요소에 대해 자세히 알아본다. 각 구성요소에서 각 요소의 사진 및 이론을 직접 설명함으로써 좀더 쉽게 이해할수 있을것이다.
이 자료를 읽은 후 SEM 및 기타 재료학을 공부하는 학생 및 연구원들에게 많은 도움이 되길 바랍니다.

목차

Theory of Scanning Electron Microscope
1. Configuration of a scanning electron microscope
2. Electron　 Gun
3. Lens system
4. Object lens
5. Astigmatism
6. SE Detector
7. Magnifying mechanism in the SEM
8. Non-Conductive Samples Observation
9. Movable　aperture　and　Focus　depth
10. Observation　at　lower　Accelerating　voltages

본문내용

-Magnetic Lens-
전자현미경에 사용되는 렌즈는 magnetic lens이고 Cu coil을 따라서 전류가 흐를 때 자장을 형성하여 중심의 수직방향으로 이동하는 열전자의 진행방향을 조절한다. 바깥쪽에 있는 원형의 자색부위는 자성 물질이고 Cu coil에 전류가 흐를 때 발생하는 열을 차단하기 위하여 coil주위로는 냉각수가 흐르도록 되어 있다. 이렇게 전자기렌즈를 이용하면 coil에 흐르는 전류의 세기를 조절하여 자기장의 세기를 임의로 조절할 수 있기 때문에 렌즈의 초점거리를 임의로 바꿀 수 있어 광학현미경의 렌즈에 비하여 큰 장점이 있다. 즉, 광학현미경에서는 배율을 바꾸기 위해서는 렌즈의 초점거리가 다른 렌즈를 사용하여야 하나 전자현미경에서는 렌즈를 바꿀 필요 없이 단지 자기장의 세기를 변화시켜 배율을 임의로 얻을 수 있다.

참고자료

· 없음