Thermal evaporation system

목차

1. 진공이란?
2. 왜 진공이 필요한가?
3. 진공증착의 분류
4. THIN FILM (박막)
5. 저항가열식 진공증착법 증착
6. Diffusion Pump
7. Rotary Pump
8. 보충자료

본문내용

진공과 자연
진공은 공간의 기체압력이 대기압보다 낮은 상태, 즉 분자밀도가 약2.5´1019분자/cm3보다 적은 상태를 의미한다.

진공의 기술요소
진공을 응용하기 위해서는 지상에 인위적인 진공을 발생시키고 제어해야 한다. 이런 진공기술의 요소는 발생기술, 재료기술, 가공 및 부품기술, 평가 및 제어기술로 대별되며 이 네 가지 요소가 합쳐져서 진공 응용기술이 성립된다.

진공의 특성
진공은 다음과 같은 특성이 있으므로 전 과학기술 분야와 산업분야에서 진공기술이 응용되고 있다. 압력차에 의한 힘의 발생, 극청정 환경 제공, 단열효과, 입자의 장거리 비행가능, 증발과 승화작용, 안정된 플라즈마를 유지, 생화학 반응 억제, 우주환경 제공 등의 특성이 있다.

진공의 응용분야
진공기술의 응용범위는 전 산업에 걸쳐 있으며 반도체의 집적도가 높아 지 고 양자소자 개발 등 첨단기술이 발전하면서 그 중요성은 날로 증가하고 있다. 다음은 진공기술이 응용되고 있는 대표적 분야들이다.

첨단산업 : 반도체, FED
미래산업 : 우주항공, 핵융합, 신소재 개발
산업응용 : TV브라운/모니터,기계/광학부품 코팅,보온병,램프,냉동기
의약 화학 식품 : 의약품 생산, 식품보관, 진공건조식품, 진공증류
첨단과학 : 가속기, 표면분석장치, 질량분석
진공의 구분 및 응용
진공의 상태는 공간의 절대 압력, 즉 기체분자 밀도가 줄어듦에 따라 저진공, 중진공, 고진공, 초고진공 및 극고진공 영역으로 표현된다.

참고자료

· 없음