고진공 펌프

목차

◆ 고진공 펌프란?
◆ Turbo molecular pump
- 구조와 작동원리
- 특징
◆ Diffusion pump
- 구조와 작동원리
- 특징
◆ 사용 예
◆ 국내의 생산업체
◆ 요약 및 정리

본문내용

고진공 펌프란?

고진공 ( 10⁻³ ~10⁻⁸ torr ) 영역까지 진공상태를 만들 수 있는 펌프이다.
고진공 펌프는 크게 Turbo molecular pump( 터보 분자 펌프 )와 Diffusion pump( 확산펌프 ) 로 나눌수 있다.
Cryo Pump( 크라이오 펌프 )도 고진공 펌프에 포함할 수도 있다.

◆ Turbo molecular pump ( 터보 분자 펌프 )
1958년 Becker에 의해 고안되었고, 많은 진공회사들이 이를 제작하고 있다.
기체 분자에 역학적인 힘을 가해 그것을 특정 방향으로 튕겨 날려서 배기를 하는 장치이다. 매우 청결한 기계적 압축을 이용한 펌프로, 부드럽게 작동하며 시스템 작동에 있어 거의 진동이 없고, 순수 기계적 진공 펌프이다.

참고 자료

http://tong.nate.com/050816
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