FE-SEM

소개

Pt coater 사용 순서 및 Menu 설명 등 FE-SEM일반적인 내용

목차

Pt coater 사용 순서
Menu 설명
Icon 설명
FE-SEM 정전시 대처 요령

본문내용

Pt coater 사용 순서
․ 시편(sample)을 넣는다 → main power on(pumping 자동으로 작동) → 10-3 mBar guage로 떨어질 때까지 기다린다.(4-5분 소요) → rinsing(Chamber 내 Ar gas 주입) → time setting(*100Å/15sec) → H.V 1(Ar gas 주입); 압력 상승, 10-2torr에서 안정화 → current 30mA 확인(display pannel에 반드시 떠야한다.) → shutter close에서 open으로 전환 → setting time만큼 증착됨 → main power off(자동 vent) → 완료

Menu 설명


1) Magn(배율) : 화면에 좌측 하단에 현재 배율이 표시된다. 원하는 배율은 사용자 지정 배율 설정에서 가능, display mode 권장

※ 배율 조정 방법
․ 키보드의 [+],[-] 키를 이용. (배율 2배씩 변화).
․ 메뉴바에서 [Magn.]를 클릭하여 나오는 숫자들을 선택하거나 맨 아래 Change에서 임의의 배율을 입력하여 사용.
․ 화면 우측 상단의 setting클릭 → imaging → imaging → magnification 선택


2) Beam
- beam을 on/off 시 5.0kV에서 고정한다. Beam sweep은 5→10→15씩 순차적으로 증가 또는 감소시킨다.
- spot 1 : aperture(beam 직경), manual 상에 표시되는 숫자 3(실제 직경 30um)으로 setting 되어 결정되어 있다.

3) Scan
- TV scan : real time × → 약간의 시간차를 두고 화면(CRT monitor)에 영상을 출력; 시편 위치 이동, 배율 변화와 같은 일반적인 작업 시에 사용하는 mode이다.
- Slow scan : 이미지 사진 저장할 때 사용한다. TV scan에 비해 이미지가 선명하다.
- Full frame : 전체 영역 scan
- Select area : □(녹색상자) 안에 있는 이미지만 scan
- Spot : Hardware spot center ＊ 흰색 표시, 실제 beam center + 녹색 line 표시

참고자료

· 없음