[결과레포트] sem

소개

결과레포트입니다.

목차

1. OM과 SEM의 image를 보고 차이점을 말하고 그 이유를 설명하시오.
2. SEM의image에서 contrast가 나타나는 원리를 설명하시오.
3. 때로는 SEM sample을 준비할 때 Pt ,Au등으로 코팅하는 경우가 있는데 그 이유를 설명하시오.

본문내용

1. OM과 SEM의 image를 보고 차이점을 말하고 그 이유를 설명하시오.

배율의 차이가 있다.

광학현미경은 접안렌즈와 대물렌즈라는 두개의 볼록렌즈를 통해 시료(보고자하는 물건)을 가시광선을 이용하여 확대시켜 보는 것이다. 즉 빛을 이용하는 광학 현미경은 빛의 파장보다 작은 물체를 관찰할 수 없으며 렌즈에 의한 회절 때문에 분해능에 한계가 있다. 그래서 회절하는 정도가 빛보다 작은 짧은 파장을 가진 전자의 물질파를 이용하여 분해능이 높은 현미경을 제작할 수 있는데 그것이 SEM이다.
SEM은 전자가 표본을 통과하는 것이 아니라 초점이 잘 맞추어진 전자선 electron beam을 표본의 표면에 주사, 주사된 전자선이 표본의 한 점에 집중되면 일차전자만 굴절되고 표면에서 발생된 이차전자는 검파기 detector에 의해 수집된다. 그 결과 생긴 신호들이 여러 점으로부터 모여들어 음극선관 cathod ray tube에 상을 형성하게 한다. 주사전자현미경의 특징은 초점이 높은 심도를 이용해서 비교적 큰 표본을 입체적으로 관찰할 수 있다는 것이다.
따라서 파장이 짧은 전자선을 이용한 전자 현미경은 광학 현미경에 비해서 훨씬 높은 배율의 측정이 가능하다.

SEM의image에서 contrast가 나타나는 원리를 설명하시오.


-SEM영상은 전자빔이 시료표면을 조사할 때 발생되는 명암의 차이 때문에 형성된다.
따라서 명암을 결정하는 인자들을 이해하는 것이 매우 중요하다.
명암효과는 2차전자의 발생률 및 시료 표면과 1차 전자빔 사이의 각 변화에 따른 후방산란 전자의 방충 정도에 따라 결정된다. 그 표면의 2점 사이에서 검출되는 신호의 강도차이는 표면으로부터 방출되는 전자수의 차이로부터 발생되는 emission 명암 기구와 검출기에 도달하는 전자수의 차이에 의하여 생기는 collection 명암기구로 구분된다.
collection 명암의 결과

참고자료

· 없음