[반도체공정]진공펌프의 종류와 원리

소개

진공관련자료-진공펌프에 대한 프리젠테이션 레포트입니다.
대학교 학부생들에게 유익하고 쉽게 설명할수 있게끔 정리하였습니다.

목차

진공
-진공상태 용도
진공펌프
-진공 펌프의 종류
Roughing pumps
Rotary vane oil-sealed pump
Rotary piston oil-sealed pump
Dry pumps : Roots pump,
High vacuum pumps
Turbo molecular pump
Molecular drag pump
Summary

본문내용

1) 공기 및 기체의 영향에 의한 부식, 산화등을 예방한다.
(제품보존등)
2) 물질의 끓는점을 낮아져 조기에 증발토록 한다.
(농축, 금속처리 등)
3) 흡착패드 등을 이용하여 타 기구로는 운반하기 어려운 물체의
운반에적합하게 된다. (분체, 판 등의 운반)
4) 물체속의 기체를 제거하고 타물질을 투입하는데 편리하다.
(가스충전, 함침 등)
5) 전기적 특성이 있다. (반도체, 브라운관, 진공관 등)
진공상태의 용도
진공이란?
라틴어의 `Vacua`에서 유래
실제로 진공은 단지 부분적으로 비어 있는 공간을 의미
대기압 (1 기압) 이하의 Gas로 채워진 공간을 말함
실제로는 완전한 진공을 만들기가 매우 어렵기 때문에 보통 1/1000(10-3)㎜Hg 정도 이하의 저압을 진공이라 한다
진공펌프
진공펌프는 인위적으로 진공을 만드는데 사용 되고 있으며 진공을 만드는 정도와 방법에 따라 여러 종류의 진공 펌프가 존재한다.
진공 펌프의 종류
확산 펌프, 터보분자펌프, 흡착 펌프, 저온 냉각 펌프
진공코팅, 진공 동결건조, 진공합금, 신소재 합금
10-3Torr-10-7Torr
고진공
터보분자펌프, 흡착 펌프, 저온 냉각 펌프
원자핵 연구 장치, 전자 현미경, 플라즈마 발생기, 물리 실험장치
10-7Torr
이하
초고진공
다단식 로타리 베인 펌프, 루츠펌프, 피스톤 펌프, 확산 펌프
진공건조, 탈개장치, 진공함칭, 진공증류,진공소결
1Torr-
10-3Torr
중진공
건식 로타리 베인 펌프, 급유식 로타리 베인 펌프 , 냉매 가스 주입용
진공 흡착 이송, 인쇄기 자동급지, 진공 농축 반응기,분말 충진, 진공 성형,진공포장
대기압-1Torr
저진공
진공펌프의 기종
적용되는 공정
진공도 범위
진공영역
Mechanical vaccum pumps
Mechanical Pump
Mechanical pumps
Roughing pumps
Roughing Pump란 그 펌프가 작동하는 압력범위(1X10-3Torr)이상의 압력을 Rough Vacuum이라한데서 유래
고진공·초고진공의 초기진공 배기
고진공용 펌프들이 단독으로는 대기압부근에서 효과적으로 작동하지 못함

참고자료

· 진공 공학, 한국경제신문, 배석희 외 4명 지음, p299~317
· http://ko.wikipedia.org/wiki/%EC%A7%84%EA%B3%B5
· http://psel.snu.ac.kr/psel/files/lecture/vac2-gauge.hwp