진공펌프의 종류

소개

진공펌프의 종류에 대해 알아보았습니다.

목차

■ 진공펌프의 분류
■ 진공펌프의 종류
1. Positive displacement 펌프
1) 로터리 펌프(rotary vane pump)
2) 루츠 펌프(Roots pump)
3) 오일 확산 펌프(Oil diffusion pump)
4) 터보 분자 펌프(turbo-molecular pump)

2. Entrapment 펌프
1) 이온 펌프(Ion pump)
2) Cryogenic pump
3) Getter pump

3. 그밖의 펌프

참고문헌

본문내용

* 역류(backstream)와 트랩(trap)
- 역류는 펌프 오일이 주로 증기의 상태로 진공 용기 쪽으로 이동하는 현상인데 진공 용기오염의 원인이 된다. 실온에서는 증기압이 비교적 낮으나 마찰 등으로 인하여 온도가 오르면 증기압은 쉽게 수백 배 또는 그 이상 증가한다. 표면을 타고 올라오는 경우는 ‘creep이라고 하며 장시간에 걸쳐 이루어지는데 표면을 냉각시키거나 또는 반대로 뜨겁게 하여 증발시킴으로써 방지할 수 있다. 또한 진공용기와 펌프사이에 트랩(trap)이나 역류 방지판(baffle) 등을 사용하여 이러한 현상을 상당히 줄일 수 있다.
* Dead volume
- 로터리 펌프의 배기 과정 중 일부의 가스가 빠져나가면, 압력이 다시 감소하므로 가스가 완전히 빠져나가기 전에 배출밸브가 닫히게 되는데, 이때 빠져나가지 못하는 가스를 의미한다. dead volume은 오일의 증기와 함께 로터리 펌프가 작동할 수 있는 한계압력(ultimate or lowest pressure)을 한정짓는 원인이 된다.
* Gas ballast
- 물과 같이 응축(condensation)이 쉽게 되는 증기류는 펌프 속에서 압축단계를 거치는 동안 응축되어 펌프 오일을 오염시킨다. 예를 들어 수증기를 배기할 경우, 응축된 뒤 기름에 섞여 돌아다니는 물분자는 기압이 낮은 흡입 단계에서 다시 기화하여 펌프 흡입구 쪽의 압력을 높인다. 따라서 펌프의 압축 주기에 외부에서 대기나 다른 가스(N2) 등을 일부러 주입시켜 충분한 방출 압력을 가짐으로 해서 물분자 등이 펌프 안에서 응축이 되는 것이 방치하는 장치이다. 배출과정에서 수증기의 응축은 배출밸브를 열 수 있는 압력을 낮추어 밸브작동을 어렵게 하고, 흡입과정에서의 기화로 최저도달 압력을 낮추는 악영향을 미친다.

참고자료

· 1. 안일신, ‘진공물리 및 진공기술’, 한양대학교 출판부, 1999
· 2. Harland G. Tompkins, Pumps Used in Vacuum Technology, American Vacuum Society(AVS), 1991
· 3. Donald M. Mattox, Handbook of Physical Vapor Deposition Processing, Noyes Publication, 1998