플라즈마

소개글

플라즈마에 대한 전반적인 소개 repotr (응용중심)

목차

1. 플라즈마란?
2. 플라즈마 발생방법
3. 플라즈마 상태
4. 플라즈마 물리특성
5. 플라즈마 응용
6. 플라즈마의 미래
7. 물질의 생성과 가공
8. 재료의 생성
9. 반도체 디바이스 프로세스
10. 느낀점

본문내용

1. 플라즈마란?
플라즈마는 이온화된 상태의 기체이다. 기체에 열을 충분히 가하면 원자들 간의 충돌로 인해 많은 수의 전자들이 원자핵의 구속에서 벗어나게 되는데 이것이 플라즈마이다.
‘플라즈마’라는 용어는 1928년에 미국 GE(General Electric)사의 물리학자였던 Langmuir가 기체방전을 연구하면서 처음으로 사용하기 시작했다. 이때 중성원자의 유무는 상관없으나 중성원자의 밀도에 따라 식(2-1)로 정의되는 전리도에 따라 (전리도) < 10-4 인 경우를 약전리 플라즈마, (전리도) > 10-4 는 강전리 플라즈마로, 거의 대부분의 원자가 전리된 경우를 완전전리 플라즈마로 크게 분류된다.

전리도 = 전자밀도 / ( 전자밀도 + 중성입자 )

그림 1과 같이 플라즈마는 물질의 4번째 상태로 불리는 고 에너지 하전입자 및 중성입자들의 집합체이다. 플라즈마 속에는 전기적으로 중성인 원자들로만 이루어진 고온 기체와는 달리 서로 반대의 전하를 띤 입자들, 즉 전자와 원자핵이 뒤섞여 존재한다. 따라서 전체적으로는 중성이지만 국부적으로 이온과 전자 사이의 전하 분리에 의해 전기장이,

참고 자료

없음