[반도체]기판과 열처리에 따른 Co 박막의 비저항 및 내부조직 변화 관찰

소개

A+받은 과목입니다.. 많은 도움되길 바래요~~

좋은 자료만 찾아서 정리했습니다..

목차

1. 실험목적

2. 이론적 배경

(1) XRD

(2) 펌프의 종류

3. 실험조건

4. 실험결과 및 고찰

5. 참고문헌

본문내용

XRD
XRD는 독일의 물리학자 뢴트겐에 의해 1895년에 발견되었으며, 라우에의 의해 결정에도 이용할 수 있는 X-선의 회절현상이 발견되었다.
이는 계속하여 브래그 부자에 의한 X-선 이 원자가 규칙적으로 배열되어 있는 평행면에서 반사된다는 생각에 기인한 유명한 법칙인 브래그 법칙(2dsinθ=nλ)을 축으로 한 계속적인 발전을 거듭하여 오늘날에 이르게 되었다. 고속의 전자가 무거운 원자에 충돌하면서 발생. 즉, 에너지를 가진 전하가 갑 자기 정지할 때 발생하며, 충돌한 점에서 모든 방향으로 방사된다. 타겟에 충돌하는 전자의 운동에너지는 대부분 열로 변하며, 1 ％ 이하의 에너지가 X-선으로 변하게 된다.

X-선 회절실험의 특징

① 결정구조 및 격자상수 측정 ⑦ 결정의 배향성 조사 가능
② 결정의 방향성 측정 ⑧ 결정내부의 변형조사 가능
③ 물질의 정성분석 가능 ⑨ 혼합물과 화합물의 구별 가능
④ 미소결정 크기 측정 ⑩ 저온, 고운 실험 격자 팽창
⑤ 다양한 시료의 측정 가능 ⑪ 정량분석
⑥ 시료훼손이 적음 ⑫ 실험조작이 용이

(2) 펌프의 종류
- 가스 이동 펌프
가스 분자를 펌핑에 의해 다른 곳으로 이동시켜 압력을 낮춤.
a) Positive Displacement Pump, 기계식 로타리 펌프, 루츠(Roots) 펌프
b) Kinetic Vacuum Pump, 디퓨전 펌프, 터보 펌프
- 가스 Entrapment 펌프
Chamber 속에 장착된 장치 표면에 가스 분자를 응집되게 하거나 화학적 반응에 의해 달라 붙게 해서 시스템의 압력을 낮춤.
흡착 (adsorption), 스퍼터 이온 (sputter-ion), 극저온 (cryogenic) 펌프
- 기계식 로타리 펌프
로타리 피스톤 펌프
피스톤 운동으로 흡입 가스를 압축시켜 밖으로 내보냄.
Sp : 8.3 ~ 416 L/sec
- 로타리 베인 펌프
회전 운동에 의해 날개가 실린더 내부에서 안과 밖으로 이동하며 가스를 압축하 여 밖으로 내보냄.
Sp : 2.8 ~ 55 L/sec, Single-stage Pump : Po = 10-2 torr
Two-stage Pump : Po = 10-4 torr, Po : Q=0 일 때 최종 펌프 압력
- 루츠 (Roots) 펌프
두 개의 8 자 모양의 로브(lobes)가 서로 반대 방향으로 회전하면서 빠른 속도 로 가해 분자를 밖으로 배출. 최대 펌핑 스피드로 10-3 ~ 20 torr 범위의 압력을 만들 수 있고, 앞에 기계식 로타리 펌프를 연결하여 이 압력 범위를 유지하 면 10-5 torr이하까지 도달됨.

참고자료

· - 고집적 반도체 배선용 Cu(Mg) 박막의 전기적, 기계적 특성 평가
· - 안재수, 안정욱, 주영창, 이제훈 서울대학교 공과대학, 삼성전자
· - CVD핸드북-반도출판사, http://www.induction.co.kr/KorMain.htm
· - 원자층 증착법으로 증착된 TiAlN박막의 삼원계 확산방지막 특성에 관한 연구
· - 한양대 학위 논문, 구재형
· - 고체전자공학 김성준 저 사이텍미디어