[화학실험]비정질벌크 및 박막제조(pre레포트)

소개

비정질 벌크 및 박막제조에 대한 프리 레포트입니다
amorphous 박막제조에 필요한 이론 및 진공장치에 대한 내용이 실려있고
박막공정기술에 대한 전반적인 내용이 담겨있습니다

목차

1.실험목적
2.실험이론
3.실험방법
4.참고문헌

본문내용

1.실험 목적
1)amorphous 박막제조에 필요한 다양한 이론
· 진공의 원리와 진공장치
· 박막공정기술
2)amorphous bulk 제작 실험
3)amorphous bulk를 이용한 박막제조 실험
을 수행하고 익히는데 목적이 있다.

2.실험 이론(박막제조)
1)박막생성 과정
①증발(evaporation) - source(target)에서 물질의 제거.
②이동(transportation) - 증발된 물질이 기판(substrate)으로 이동됨.
③응축(condensation) - 기판에서의 핵생성 및 성장.

2)박막 공정의 진공
:증발된 기체 분자가 주위 공기 입자에 의해 어떠한 저항 없이 기판 표면에 도달해야 하며 기판 표면에서 응축 시 다른 불순물의 유입을 방지하기 위해서 진공상태를 유지해야 한다.
가열체와 기판간의 거리는 최소한 MFP보다는 작아야 한다. 그러나 비론 MFP가 크더라도 주위의 공기(불순물) 입자밀도가 크면 막이 형성되면서 불순물이 포함될 확률이 높게 되므로 이를 고려한 비교적 고진공을 유지해야 한다.
진공을 만들기 위해 다양한 종류의 펌프가 이용되고 있으며 2~3개의 펌프를 조합하여 상용하는 것이 일반적이다. 각각의 펌프는 펌핑을 시작할 수 있는 하한진공도와 펌핑으로 얻을 수 있는 상한진공도가 있으며, 이 사이의 영역이 펌프동작영역이다.
진공상태를 측정할 수 있는 gauge의 종류는 다음과 같다.
· Borudon게이지: 얇은 금속진공막(diaphragm)이 압력에 따라 움직이는 것을 이 용.
· direct-reading게이지: 케페시턴스 압력계와 같이 직접 압력을 측정.
· indirect-reading게이지: 온도, 저항, 기체분자수 등의 변화를 압력으로 환산.
· 이온게이지: 이중 박막 제조 시 이용되는 진공시스템에서 가장 널리 이용되는 되는 게이지로 hot filament로부터 나오는 전자에 의해 주위 기체 분자를 이온화시키고 이온전류의 양을 압력으로 환산하는 방식(전자 방출에 따라 hot cathode 이온 게이지와 cold cathode 이온 게이지로 구분)

참고자료

· · 광· 전자 화학 공학 소재 실험2
· · 성균관 대학교 Semiconductor and Trin Film Devices Lab. http://std.skku.ac.kr/
· · 조광 산업. http://www.ckco.co.kr/