MEMS(micro electro mechanical systems)의 현재

소개

멤스의 현재에 대해 소개하듯이 쓴글입니다

목차

1. MEMS (micro electro mechanical systems)란 무엇인가?
2. MEMS의 적용분야
3. MEMS의 활용방안

본문내용

1. MEMS (micro electro mechanical systems)란 무엇인가?

- 21세기를 주도할 신기술로 손꼽히는 것 중 하나가 초소형 정밀기계 기술이다. MEMS는 Micro Electro-mechanical Systems의 약자로 초소형 전자기계 시스템이라 번역되며, 전자회로와 기계부품이 같은 칩 위에 집적된 시스템을 말한다. 이를 제작하는 기술은 반도체 칩을 만드는 실리콘 가공기술에서 시작되었다. 실리콘 기판에 밸브, 모터, 펌프, 기어 등의 미세 기계요소 부품을 3차원구조로 만들기 위해서는 표면 가공 기술(surfacemicromachining)
뿐만 아니라, 깊은 식각을 하는 벌크 마이크로머시닝 기술(bulkmicromachining)과 LIGA 기술(Lithographie, Galvanoformung, Abformung) 등이개발되었다. MEMS기술은 응용 분야에 따라 생물, 의학, 의료 분야 응용의 Bio/medicalMEMS, 광학 응용의 Optical MEMS, 통신 분야 응용의 RF MEMS, 소형 전력쪽의 PowerMEMS, 우주 분야 응용의 Space MEMS 등으로 분류된다.
MEMS의 장점으로 몇 가지를 들 수 있다. 첫째로, MEMS공정은 반도체 제작 공정을 이용 하므로 초소형(수 μm ～ 수백 μm 크기)으로 제작 할 수 있으며, 일괄 공정에 의한 대량 생산이 가능하다. 이로서 소자의 크기와 단가 및 소비 전력을 크게 낮출 수 있다.
둘째로, 기계부품과 센서, 전자회로 등을 한 칩에 집적하여 높은 신뢰도를 얻을 수 있다.
셋째로, 작은 소자를 이용하여 미량의 물질을 다루거나 분석할 수 있고, 다수의 소자를 집적하여 분석시간을 대폭 줄일 수 있다. 현재 MEMS는 화학, 생물, 의학, 기계, 전자 분야에서 응용되고 있으며 앞으로 응용분야가 더 넓어질 것으로 기대된다.
MEMS기술은 구체적으로 마이크로 크기의 구조체복합시스템을 응용한 초 미세기술의 한 분야로 각종 센서와 조절장치, 항법장치 등에 쓰이고 있으며, 특히, 전기, 전자, 기계, 화학 등의 종합적인 지식이 요구되는 복합 기술이다. 반도체 제조기술을 그대로 활용할 수 있고 응용분야가 무궁무진해 각처에서의 연구가 활발하게 진행중이다. MEMS는 실리콘 세라믹 등의 반도체 재료에 광 반응 물질을 덧씌우고 빛으로 노광하고 화학용액으로 깎아냄으로써 3차원 구조체를 만들 수 있다. 이를 이용해, 마이크로 혹은 나노 미터 단위를 제조할 수 없는 기계적 방법의 한계를 극복하는 것이다.

참고자료

· 없음