진공펌프열증착법

소개

"진공펌프열증착법"에 대한 내용입니다.

목차

1. 진공 펌프(Pump)
1) 진공 펌프
2) 사용 목적과 효과
3) 종류와 범위
4) 진공 펌프의 선택
5) 진공 펌프의 분류
6) 저진공 펌프
7) 고진공 펌프

2. 열 증착법
1) 열 증착법

본문내용

1. 진공 펌프(Pump)

1) 진공 펌프
대기로부터 격리된 용기 내부의 기체분자들을 적절한 방법으로 제거해 원하는 진공상태를 만드는 기계설비이다.

2) 사용 목적과 효과
① 용기속의 공기분자를 펌프를 통해 배기시켜 밀도를 감소시키는 것 밀도가 작을수록 좋은 진공이다.
② 진공속에 다른 물질이 없어 충돌이 감소하고 외부의 영향을 최소화한다.
③ 깨끗한 환경, 적절한 환경, 진공의 특성을 이용한다.

<중 략>

2. 열 증착법
우선 열 증착법에 대해 살펴보기 전에 진공 층착법을 살펴보면 진공 증착법은 1857년에 Faraday가 처음으로 행한 방법으로 이 방법은 박막제조법 중에서 널리 보급된 방법이라 할 수 있다. 원리는 간단하고, 진공 중에서 금속, 화합물, 또는 합금을 가열하여 용융 상태로부터 증발시켜 evaporated된 입자들을 기판 표면에 증착 시키는 방법이다. 증발과정이 열 교환과정 이라는 점이 스파터링법과 다른 점이기는 하지만 이렇게 하여 만들어진 박막을 진공증착박막이라 한다.
제조된 박막재료는 금속, 합금을 비롯하여 화합물과 비금속 산화물 등이 있으며 이들 박막의 기능과 성질은 매우 다양하며, 사용범위는 소자의 소형화, 경량화, 초 집적화의 추세에 따라 다방면으로 급격히 확산되고 있다.

참고자료

· 없음