[정보디스플레이] Thin Film Transistor

소개

A-Si:H TFT에 대한 구조에서 동작원리, 특성까지 상세히 들어 있습니다.

목차

1.TFT(Thin Film Transistor) 란?

2. 박막트랜지스터의 기본구조
2.1 역스태거드 구조

3. 비정질 실리콘 박막트랜지스터의 동작 원리
3.1 선형영역 (linear region)
3.2 포화 영역(saturation region)

4. 비정질 실리콘 박막트랜지스터의 동작 특성
4.1 전이(transfer) 특성
4.2 출력(Output) 특성
4.3 전계효과 이동도(mobility) 특성

본문내용

1. TFT(Thin Film Transistor) 란?

TFT는 액정의 신호전압을 인가하고 차단하는 switching소자이다. 따라서, TFT LCD의 높은 품질의 핵심이 되는 것이 액정화소 각각에 붙어있는 switching 소자이다. TFT-LCD는 Notebook PC응용을 시작으로 모니터 등 다른 응용 분야로 그 비중이 점차 증대되고 있다. TFT-LCD산업의 발전과 그 응용의 보편화는 크기의 증가와 해상도 증가에 의해 가속되었으며, 현지는 생산성 증대와 저가격화가 관건으로, 이를 위한 시도는 제조공정의 단순화와 수율 향상의 관점에서 제조 업체는 물론, 관련 재료 산업과 제조 장비 업체의 공동의 노력이 요구되고 있다.
최근 관심이 집중되고 있는 TFT-LCD는 액정 TV, Notebook PC, 액정 게임기, 투사형 TV, HD-TV, View finder, optical computer 등에 이용되고 있다. 수소화된 비정질 실리콘 박막 트랜지스터는 넓은 면적으로 낮은 기판온도에서 제작 할 수 있고 제작비가 저렴하다는 점에서 액정 사용 기술의 발전과 더불어 많은 관심을 받고 있다. TFT-LCD Panel의 제조는 Pixel 단위의 신호를 인가하는 Switching 소자들을 형성하는 TFT Array 공정과 색상을 구현하기 위한 Color RGB Array를 형성하는 Color Filter 공정, TFT 기판과 Color Filter 기판 사이에서 액정 Cell을 형성하는 액정 공정으로 나눌 수 있다. TFT-LCD panel은 반도체 산업과 동일한 일관 제조공정을 가지는 장치 산업이나, 제품의 크기와 획득 수량, 생산성과 수율이 투입되는 유리 기판의 크기와 제조 설비 및 공정에 크게 좌우되는 Giant microelectronics 산업의 성격을 가지므로, TFT-LCD 산업은 유리기판 크기에 의존하는 제조 line과 설비에 따라 그 발전 단계를 구분할 수 있다.

참고자료

· 1) 디스플레이 공학Ⅰ/ 이종덕 등 저 / 청범출판사
· 2) LCD Engineering / 노봉규 등 저 / 성안당
· 3) http://tftlcd.khu.ac.kr/lecture/TFT-LCD/mat/index.html
· 4) http://quanta.khu.ac.kr/expr/4_2/lccell/lccell.html
· 5) http://www.anseo.dankook.ac.kr/~idrc/lcd.htm
· 6) http://cim.postech.ac.kr/cimerr/lcd.html#3-6
· 7) http://my.dreamwiz.com/goodlcd/tft-lcd.htm
· 8) http://www.edirak.org/kor/data/lcd.htm