[현미경] 주사전자현미경

소개

아무쪼록 많은 도움이 되는 자료였으면 하네요..
즐거운 하루 되세요(--)(__)

목차

주사전자현미경의 역사
현미경의 구조
렌즈의 원리
전자총
상(Image)의 형성의 원리
사용목적
사용분야
분해능
초점심도
시료의 형태

본문내용

◎주사전자현미경의 구조
SEM은 광학현미경과 달리 가시광선 대신 가속전자빔을 광원으로 하며 유리렌즈 대신 자기렌즈 이용한다 가속전자와고체표면의 반응으로 발생되는 2차전자를 전자검출기로 검출하여 CRT 스크린에 영상화 한다.이때 가속전자빔을 TV처럼 시료표면에 주사하고 검출된 2차전자 신호도 CRT의 해당하는 위치로 주사한다. 또한 SEM은 광원,시료 및 검출기 등이 진공에 있어야 한다.
◎렌즈의 원리
자기렌즈는 코일이 감아진 원통의 전자석으로 전자가 자장에의해 휘는 성질을 이용하여 전자를 모으는 역할을 한다.일반적 전자빔의 크기는 10~50㎛ 로 보통두개의 수렴렌즈와한 개의 대물렌즈를 이용함 수렴렌즈Condenser Lense)는 전자총을 빠져나온 전자빔을 모아주는 역할을 하며 전자빔의 세기를 결정하는 2차인자가 된다.
빔의 크기를 결정하는 대물렌즈(Object Lense)는 probe형성렌즈 라고도 불리우며 작은 전자빔을 만들기 위해서는 초점거리가 짧고 가능한 시료 표면에 가깝게위치한다.
대물렌즈와 시료표면사이의 거리를 작동거리(Working
Distance)라 하며 작동거리가 작을수록 spot을 형성할 수 있으므로 영상의 해상력은 증대된다.
대물렌즈 속에는 주사코일 조리개 비점수차 코일이 있으며 대물렌즈로 전자빔을 시료의 표면에 맞추므로 영상의 배율이 변하여도 초점은 변하지 않는다.

참고자료

· 없음