[기계재료] SEM에 관한 보고서

최초 등록일
2002.05.10
최종 저작일
2002.05
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주사전자현미경(SEM)에 대한 상세 정보

목차

▶전자현미경의 기원
▶전자현미경이란?
▶주사전자현미경(SEM)의 개발 역사
▶SEM
▶주사전자현미경(SEM) 구성
1) Vacuum system
2) Electrical Optical System
3) 대물렌즈(object lens) - 마지막 집광렌즈
4) Deflection coil
5) Correction
6) Apertures(50-200 micrometer)
▶주사전자현미경(SEM)의 작동원리
▶SEM 기본동작 방법
▶SEM은 어떻게 동작하는가?
▶SEM의 분해능(resolution)
▶일반 SEM의 단점

본문내용

전자현미경의 기원
광학현미경은 가시광선을 사용하여 영상을 형성하기 때문에 1000배정도의 배율과 0.2micrometer 정도의 분해능의 한계이다. 1930년대 초기에 이미 광학현미경은 이러한 한계에 직면하였다. 한편 10,000배 이사의 배율이 필요한 유기물 세포의 내부구조(핵, 미토콘드리아 등)를 연구하고자 하는 과학적 필요가 전자현미경을 탄생시키게끔 되었다. 1931년에 독일 과학자 Max Knoll과 Ernst Ruska가 광학현미경과 같은 형태의 현미경에서 가시광선대신에 전자비임을 사용한 첫 번째 투과전자현미경(TEM)을 사용한 것이 효시이다. 주사전자현미경(SEM)은 전자비임을 시료의 표면 한점에 초점을 맞추어 보고자하는 시료영역에 걸쳐 "scan"을 하여야 하기 때문에 전자회로기술의 발전이 늦어 1942년에 시도되었으며 1965년에야 첫 번째 상업용 기기가 시판되었다.
전자현미경이란?
전자현미경은 아주 에너지가 큰 전자빔을 이용하여 아주 작은 크기의 물체를 분석하는 기기로서 다음과 같은 정보들을 얻을 수 있다.
Topography
: 물체의 표면의 형상(texture) : 미세구조와 hardness, reflectivity 등의 물성과 연관성
Morphology
: 물체를 구성하는 입자들의 형상과 크기 : ductility, strength, reactivity 등의 물성과의 직 접적인 관계

참고 자료

없음

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