재료공학실험(세라믹) 박막 증착된 웨이퍼들의 XRD 분석

목차

1. 실험 목적

2. 실험 원리

3. 실험 장치의 설명
1) Generater
2) Goniometer
3) Detector

4. 실험 과정

5. 실험 결과

6. 실험 결과에 대한 고찰
1) Chromium
2) ITO(Indium Tin Oxide)

7. 결론

본문내용

실험 목적
회절 X선을 이용하여 시료에 함유된 결정성 물질의 종류와 양에 관계되는 정보를 알 수 있다.

실험 원리
회절 X선이 나타내는 입사각 θ가 정해지면 격자면 간격 d가 구해지게 된다. 보통, X선 회절법에 관해서는 입사 X선과 격자면이 이루는 각도 θ보다도 측정계의 기하학적인 배치를 잘 반영하는 각도 2θ(회절각)가 사용되고 있다.
조사한 X선의 파장에 대한 2θ- d 대조표가 구해져 있어서, 이 표로부터 격자면 간격 d를 알 수 있다. 분쇄한 시료를 사용한 분말 X선 회절법에는 각 입자의 배열이 λ로 존재하여 여러 가지 격자면 간격의 원자 면이 나타난다.

참고자료

· 없음