인하대 공업화학실험Patterning and treatment of SiO2 thin film A+ 예비보고서

소개

인하대 2020년 1학기 공업화학실험 A+ 받은 보고서 입니다.

목차

1.실험목적
2.실험이론
3.참고문헌

본문내용

1.실험 목적
박막에 패턴이 새겨지는 과정을 이해하고, 애칭을 하기 전후의 박막 표면의 두께를 측정하고 조사한다.

2.실험 이론
1) 플라즈마 (Plasma) 란?
정의: 양전기를 띤 입자와 음전기를 딘 입자의 밀도가 같아 전기적으로 중성을 유지하여 분포해 있는 입자집단을 일컫는다. 또한 물질의 기본적이 세가지 상태인 기체, 액체, 고체와 초임계상태와 더불어 다섯번째 상태로 취급한다.

특징
1. 자유전자로 인해 높은 전기전도도와 전자기장에 대해 큰 반응성을 가진다.
2. 플라즈마의 (준)중성: 플라즈마는 전하를 질량으로 나눈 값, 비전하의 값이 크므로 전기장의 영향을 쉽게 받는다. 만약에 플라즈마 속에서 전하의 불균일이 생겨 전기장이 생기면 전자는 전기장의 전기력을 받아 움직이게 된다. 또한 전자의 질량은 작기 때문에 전자의 가속도는 매우 크게 움직인다. 전자는 전하의 특성상 양전하 영역으로 움직이는 경향이 있다. 즉 전기적으로 중성이 되려는 경향이 있다는 것을 알 수 있다.
3. 디바이 차폐: 플라즈마는 외부에서 걸어준 차폐시키는 특징이 있다. 이를 다바이 차폐라고 한다.
플라즈마 내부에 두 개의 대전된 구가 있다고 가정을 하자. 대전된 두개의 구는 플라즈마 안에서 전기장을 형성한다. 하지만 대전된 구는 반대전하를 주변으로 끌여들이게 되고, 끌어들이는 전하량이 대전된 구의 전하량과 같게 되면 구에 의해 생기는 전기장이 사라진다. 결국 프라즈마는 다시 전기적인 중성이 된다. 이런 현상을 차폐된다고 한다.
4. 플라즈마의 진동: 플라즈마는 전기적으로 준 중성으로 가끔씩 전기적인 중성에서 벗어나는 경우가 있다. 즉, 어느 곳은 전자의 밀도가 높고, 다른 곳은 양전하의 밀도가 높을 수 있다는 의미이다. 이런 현상으로 만들어진 전기장은 질량이 가벼운 전자들이 반응하게 한다. 반응하는 전자가 진동으로 나타내는데 이를 플라즈마의 진동이라 한다. 플라즈마의 진동수는 플라즈마 상태에 따라 고유한 값을 가진다는 특징이 있다.

참고자료

· https://www.samsungsemiconstory.com/1458, 삼성반도체이야기 1탄~9탄 참조.
· 반도체 웨이퍼 가공공정의 이상감지 및 분석을 위한 방법론 개발, 유준수 외 1이, 대한산업공학회
· 반도체 공정용 리소그래피 기술의 최든동향, 정태진,유종준, 한국전자통신연구원
· 위키피디아, https://www.plasma-universe.com/plasma/ (플라즈마 정의 및 특성, OLED정의 와 원리)
· http://news.samsungdisplay.com/4660 삼성디스플레이 뉴스룸 (OLED의 구조 및 원리)
· 인하대 실험메뉴얼
· https://www.skcareersjournal.com/194 SK 하이닉스 <반도체 공정>
· OLED의 발광원리 및 백색구현기술, 신백균 외 2인, 한국조명, 전기설비학회