Post annealing effect of BaTiO3-based MIM capacitors for high capacitance 실험 레포트

목차

1. 실험날짜
2. 실험주제
3. 예비이론
4. 출처

본문내용

- 실험날짜 : 2018년 11월 06일
- 실험주제 : Post annealing effect of BaTiO3-based MIM capacitors for high capacitance
- 예비이론
• MLCC (Multi-Layer Ceramic Capacitors) 의 구조 및 원리
적층 세라믹 Capacitor(MLCC, Multi-Layer Ceramic Capacitors)는 전자회로에서 일시적으로 전하를 충전하고 Noise를 제거하는 일반적인 타입의 Capacitor로 유전체 층과 니켈(Ni)로 된 내부전극 층이 상호 교차된 층 구조로 되어 있다.

그림 1. MLCC 의 구조와 동작 등가 회로
MLCC의 용량은 유전체 재료의 유전율과 유효전극면적, 유전체 두께 그리고 적층수에 의해 결정된다. 특히 칩 사이즈와 유전체가 결정된 상태에서는 유전체 두계와 적층수가 고용량을 구현하는데 있어서 핵심 설계 요소가 된다. 이에 따라 유저체층의 박층화가 유전채재료개발과 함계 MLCC 기술 개발에 있어서 핵심으로 간주되고 있으며, 이 박층화에는 유전체층의 바층화 뿐 아니라 내부전극층의 박층화도 함께 고려 대상이다. 그리고 여기서 예기하는 MLCC 박층화 기술은 후막기술을 이용한 소재와 공정의 범위내에서 논의 하며, 현재까지 상품화되어 있는 박층화의 최고수준은 유전체층 두께 약 0.6um, 내부전극층 두께 약 0.5um 정도이다.

참고자료

· http://www.samsungsem.com/kr/product/passive-component/mlcc/general-n-high-cap/index.jsp
· 위성권, ‘MLCC 제품 개발 동향’, 후막세라믹, 제 14권 제 1호 2011년 2월 pp41-45
· http://blog.daum.net/hadc0543/18350099
· 도승우, 배군호 이재성, 이용현 / HfO₂ MIM capacitor의 하부 금속에 따른 전기적 특성 변화 /전자공학회 2007년 하계종합학술대회, 2007.7, 869-870 (2 pages)
· https://ghebook.blogspot.com/2011/06/capacitor.html
· 최공희, et al. "MIM 소자 전류전압특성에 대한 열처리의 영향." 대한전자공학회 학술대회 (2004): 1611-1614.
· Lee, Sang Woon, et al. "Atomic layer deposition of SrTiO3 thin films with highly enhanced growth rate for ultrahigh density capacitors." Chemistry of Materials 23.8 (2011): 2227-2236.