엘립소미터의 구조와 구동원리

소개글

엘립소미터의 각 부문 명칭과 역할에 대한 소개와 그 구동원리에 대한 레포트입니다.
사진도 포함되어 있습니다.

목차

1. 엘립소미터의 구조와 각 부문 명칭과 역할
2. 엘립소미터의 구동원리

본문내용

2. Ellipsometry의 동작원리에 대해 서술하시오.

① null ellipsometry
가장 먼저 사용된 기술로 측정속도가 너무 느린 점이 있으나 그 정확성 때문에 아직도 많이 사용하고 있다. 그 구성면에서 보면
Null ellipsometer의 구조. 각 A, P, C, 그리고 입사각 중 일부를 움직인다.

polarizer-compensator-sample-analyzer(PCSA)로 되었는데 시편을 제외한 광부품의 위치각 또는 입사각을 detecter에 빛이 들어오지 않을 때까지 조절하여 그 때의 광부품의 위치로 ellipsometry 각 (Δ, Ψ)를 찾아내는데 이와 같이 detecter에 들어오는 빛이 없도록 하는 것을 ‘null(또는 nulling, 소광)’시킨다고 한다. 즉, 시편에서 반사된 빛이 선편광이 되도록 polarizer와 compensator의 위치각과 retardation 각이 조합을 이루어야 하고 (때로는 입사각을 바꿀 때도 있으며 compensator의 경우 위치각은 일반적으로 고정) 이때 analyzer의 편광축을 이 선형편광에 수직이 되도록 돌려보면 null 점을 찾을 수 있게 된다. 처음에는 빛의 감지를 육안에 의존하였으나 점차 PMT 등의 detecter를 이용하여 그 불편을 크게 줄이게 되었고 정확성도 향상시켰다. 또한 nulling 시키는 작업이 수동이었기 때문에 한 파장(또는 광량자 에너지)에서 한 쌍의 (Δ, Ψ)를 측정하는데 수 분에서 십 수분은 족히 걸리고 눈의 피로가 심하여 이 원리를 이용하는 분광 ellipsometry는 생각도 못하였다.
보통 compensator의 위치각은 입사면에 대해 45도로 고정시킨 채 polarizer와 analyzer 만의 위치각을 조절하여 null점을 찾는다. 아주 정확한 실험을 위해 3개의 광부품을 회전시키면서 0.01도의 정밀도로 측정해야 된다.

참고 자료

없음