진공 펌프

소개

진공에 대한 개념설명과 진공 펌프 그리고 게이지에 대한 내용을 21장의 분량으로 정리한 내용입니다.

목차

1.진공의 성질
1)진공이란?
2)진공의 응용
3)현대 물리학에서의 진공
4)진공의 이용
5)진공의 정도
6)진공의 용도

2.배기의 과정

3.진공 펌프
1) 오일 확산 펌프 (Diffusion Pump)
2) 이온펌프 (Ion Pump)
3) 크라이오 펌프 (Cryo Pump)
4) 터보분자펌프(Turbomolecular Pump)

4.게이지 (Gauge)
1) 피라니게이지(Pirani Gauge)
2) 전리게이지(Ionization Gauge)
3) 다이아프램 게이지(diaphragm gauge, 격막식 게이지)

본문내용

1. 진공의 성질

1)진공이란?
물질이 전혀 존재하지 않는 공간. 그러나 실제로는 완전한 진공을 만들기란 극히 어려워 보통 1/1000(10-3)mmHg 정도 이하의 저압을 진공이라 한다. 진공으로 만든 용기 내에 남아 있는 기체의 압력을 그때의 진공도라 한다. 진공전구의 진공도는 10-2∼10-5mmHg, 수신용 진공관은 10-4∼10-6mmHg, TV브라운관은 10-6mmHg 정도이다. 현재 인공적으로 도달할 수 있는 최고진공도는 10-12mmHg 정도인데, 이때에도 1㎤당 약 3만5000개나 되는 기체분자가 남아 있다고 한다.
진공은 진공펌프를 써서 용기 속의 기체분자를 뽑아내어 얻게 되는데 진공도를 유지하는 데는 진공펌프를 계속 동작시키면서 작업하는 진공건조기와 같은 조립장치나, 전구·진공관처럼 배기 후에 용기를 밀봉하는 방법 등 몇 가지의 다른 기술들이 있다.
예를 들면 조립장치에서 용기에는 금속제품을 쓰며, 접합부에는 기체가 방출되기 쉬운 고무 등은 쓸 수가 없다. 또 진공관 내에 봉입한 전극 등의 금속부분은 배기하면서 적열(赤熱)하여 사전에 기체를 충분히 방출하는 작업을 하며, 또한 관 내부에 바륨·마그네슘·붉은인 등을 주재료로 하는 금속편(金屬片)을 봉입하여 관 밀봉 전후에 증발시켜, 관벽에 막을 만들어 전극에서 나오는 기체를 이것에 흡착시키는 방법을 쓴다.

참고자료

· 없음