SEM, TEM

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주사전자현미경 scanning electron microscope(SEM)은 보다 최신에 개발되었으며 투과전자 현미경과는 다소 다르다.
주사전자현미경은 전자가 표본을 통과하는 것이 아니라 초점이 잘 맞추어진 전자선을 표본의 표면에 주사한다.
주사된 전자선이 표본의 한 점에 집중되면 일차전자만 굴절이 되고 표면에서 발생된 2차 전자는 검파기 detector에 의해 수집이 된다.
그 결과 생긴 신호들이 여러 점으로부터 모여 들어 음극선관 cathod ray tube에 상을 형성하게 된다.
주사전자 현미경의 특징은 초점이 높은 심도를 이용해서 비교적 큰 표본을 입체적으로 관찰 할 수 있다는 점이다.

<중 략>

TEM의 작동원리는 슬라이드 프로젝터와 닮은 꼴이다. 프로젝터에 의해 발사된 빛은 슬라이드를 통과하는데 이때 슬라이드 상의 형성과 구조에 따라 변형된다. 그 결과 슬라이드를 특정 부분을 투과한 빛 중 일부분만이 스크린에 투영되어 슬라이드의 확대 된 상을 보여준다.
TEM도 마찬가지인데 단지 시편(슬라이드와 같음)에 전자빔을 발사 한다는 것만이 다르다.
시편을 투과한 빔은 인광체 스크린에 투영되어 관찰을 가능하게 해준다.
TEM의 재료는 전자가 통과할 수 있는 얇은 두꼐로 준비되어야 한다.
이것은 기존의 광학현미경과 같은 논리이다. 양질의 TEM 상을 얻는데 재료의 준비과정이 많은 영향을 준다. SEM에 비해 TEM이 많은 필요로 하는 것이 널리 사용되지 못하는 이유이다.

참고자료

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