화공기실 MEMS 예비보고서 - 5조

소개

화학공학실험

목차

A. 서론
B. 설계 목적
C. 실험 이론
a. PDMS(Poly Dimethyl Siloxane)
b. Photolithography
c. 미세유체공학
d. 기판현상
e. Etching
f. Plasma cleaner
D. 실험 방법
E. 예상 결과
F. 제한 요소
G. 주의 사항
H. 참고 자료
I. 참고 문헌

본문내용

서론

현대의 기술은 무서운 속도로 발전하고 있다. 단적인 예로 무어의 법칙은 마이크로 칩의 저장용량은 2년마다 배로 늘어난다는 것을 말하고 있다. 지속적인 고집적화와 기술의 발전은 바로 얼마 전만 해도 상상 할 수 없는 속도로 이루어지고 있다.
그 중에서도 MEMS(micro electro mechanical systems)는 정보기술과 초미세기술의 집약체로 자기 디스크, 광디스크, 고집적 반도체 등의 정밀, 정보기기 산업과 초미세 의료용 기구나 특수 정밀소형 센서 등의 정밀공학 분야의 유망 산업으로 각광받고 있다. 특히 반도체 및 광전자 기술의 발전이 초정밀 기술과 밀접한 관계를 갖게 되고, 전기, 전자 공학기술이 기계 및 바이오 시스템 등에 접목되면서 MEMS는 비약적으로 발전하고 있다. 이는 현재의 위치나 기술 자체의 특성으로 보아 산업의 고도화를 통한 경제성장을 달성하기 위해 육성이 절실히 요구되는 산업이다. 그러므로 정밀공학의 신기술 개발 및 연구와 더불어 우수 인력 확보를 위한 노력을 해야 할 것이다.

<중 략>

DMS coated Slide glass 제작

1) 위에서 섞은 Sylgard를 slide glass에 소량 떨어뜨린다.
2) 다른 slide glass로 맞대어 잘 누른다.
3) PDMS가 얇게 펴지도록 누른 후 조금씩 slide glass를 옆으로 밀어낸다.
4) 얇게 코팅된 slide glass를 30분 정도 반가교 시킨다.

PDMS와 glass의 접착 (plasma cleaner)

1) Plasma cleaner의 전원을 킨다.
2) 트레이에 접착면이 위로 가도록 하여 PDMS와 PDMS로 coating된 glass를 놓는다.
3) Start버튼을 누른다.
4) 공정 완료 후 문이 열리면 트레이를 꺼내고 plasma 처리된 PDMS와 glass를 채널이 붙지 않도록 조심히 붙인다.(잘 접착된 곳은 투명하게 보인다.)

참고자료

· Chang W-J, Akin D, Sedlak M, Ladisch MR, Bashir R (2003)
· Poly(dimethylsiloxane)(PDMS) and silicon hybrid biochip for bacterial culture. Biomed Microdev ,
· 281-290p
· Unit Operation of Chemical Engineering, 7th ed., McGraw-Hill,
· Warren L. McCabe, Julian C.Smith, Peter Harriott,
· 73-78p, 84p
· Leclerc E, Sakai Y & Fujii T (2003) Cell Culture in 3-Dimensional Microfluidic Structure of PDMS (polydimethylsiloxane) Biomedical Microdevices,
· 109-114p
· 사구식물의 형질개선 및 세포배양을 위한 일체형 “Lab on a chip(LOC)"의 개발, (2007),
· 환경부 30-36p