SAW_설계보고서

소개

반도체 프로젝트로서 MEMS 기술 중 하나인 SAW sensor의 기술 동향과 이론적인 내용 및 설계, 제작과정을 정리하였습니다. A+자료입니다.

목차

Ⅰ. Introduction 3
1. 프로젝트 목적 3
2. 현재 시장 및 기술 동향 4
3. 현재 소자의 문제점과 해결 방안 6


Ⅱ. Theoretical Background 7
1. Saw Device의 원리 7
2. SAW sensor 10


Ⅲ. Design 13
1. 설계 목표 13
2. 설계 변수 13
3. 설계 사양 13
4. Mask 도면 16


Ⅳ. Fabrication & Measurement 17
1. Fabrication 17
2. Measurement 20


Ⅴ. Estimation & Analysis 21


Ⅵ. Consideration 25

본문내용

Ⅰ. Introduction
1. 프로젝트 목적
(1) RFID 기술의 중요성
RFID(Radio Frequency Identification)는 현재 세계적으로 관심의 대상이 되고 있는 기술의 하나이다. 자동인식(Automatic Identification)기술의 하나로써 데이터 입력장치로 개발된 무선(RF: Radio Frequency)으로 통하는 인식 기술이다. Tag안에 물체의 ID를 담아 놓고, Reader와 Antenna 를 이용해 Tag를 부착한 동물, 사물, 사람 등을 판독, 관리, 추적 할 수 있는 기술이다. RFID 기술은 궁극적으로 여러 개의 정보를 동시에 판독하거나 수정, 갱신 할 수 있는 장점을 가지고 있기에 바코드 기술이 극복하지 못한 여러 가지 문제점들을 해결 또는 능동적으로 대처함으로써 물류, 보안 분야 등 현재 여러 분야에서 각광 받고 있다. RFID는 산업 규모가 매년 큰 폭으로 증가하고 있으며, 세계적인 전문 조사 기관들은 2002년의 약 1조 2천억의 시장에서 2010년에 약 12조의 시장을 형성할 것으로 예측하고 있다. 특히 유비쿼터스 시대의 중요한 핵심기술의 하나로 판단하고 있으며, 우리나라에서도 정부와 대학에서 RFID에 대해 활발하게 연구가 진행되고 있는 상황이다.

(2) SAW 소자의 중요성
RFID는 기존의 바코드를 대신하는 것이 가능하다. 특히 기존의 CMOS를 이용한 RFID보다 간단한 방법으로 제조가 가능하다는 장점이 있다. SAW소자는 수동형 소자로써 전원이 필요 없고 또한 응답 속도가 빠르다는 장점을 지니고 있다. 이러한 장점을 이용하기 위해 무선 센서, RFID tag로 사용하기 위한 많은 연구가 활발하게 진행되고 있다. 제작에 이용되는 압전기판은 온도에 따라 표면탄성파의 속도가 달라지기 때문에 이를 이용한 온도 센서 제작이 가능하다. 표면탄성파의 속도는 빛의 속도보다 10만배정도 느려 이를 이용해 속도 변화의 감지가 편리하고, 그로인해 우수한 감도를 가진 온도 센서 제작이 가능해진다. SAW소자를 이용해 수동형 RFID tag를 만들면 기존 능동형 태그와 비교해 응답 속도가 빠르고 전원이 필요없게 되므로 영구적 사용이 가능하다는 장점이 있다. 또한 하나의 소자에 센서 기능과 RFID tag의 기능을 함께 제작할 수 있기 때문에 가격 절감의 측면에서도 매우 유리하다고 할 수 있다.

(3) 프로젝트 목적
위와 같은 RFID의 발전 가능성 및 기술의 현황을 알고, 현재 소자의 기술 문제점을 파악하여 이것을 최근 활발하게 연구되고 있는 SAW 기술을 사용해 해결해 보고자 하는 것이 이번 SAW RFID, 온도센서 제작의 목적이라고 할 수 있다.

참고자료

· 없음