[재료공학] TFT의 특성 및 제작과 LCD에의 활용

목차

1. TFT와 LCD는 무엇인가?

2. TFT와 LCD의 역사
2.1. TFT의 역사
2.2. TFT-LCD의 역사
2.3. TFT-LCD의 현재

3. TFT-LCD의 동작원리
3.1. TFT-Array의 동작
3.2. Row Driver
3.3. Column Driver
3.4. System Configration

4. TFT-LCD의 구조
4.1. Color TFT-LCD Module의 구성
4.2. TFT-LCD Panel
4.3. 구동 회로 및 Chassis Unit
4.4. TFT-LCD Panel 의 구조
4.5. TFT-Array
4.6. TFT 기판

5. 제작방법
5.1. TFT기판
5.1.1. 세정
5.1.2. 노광
5.1.3. 식각
5.1.4. 검사
5.1.5. 증착
5.2. TFT-LCD의 제작 공정

6. 중요한 이슈
6.1. 다결정 실리콘
6.2. 저온 공정
6.3. 저온 다결정 실리콘 형성 방법
6.4. MILC(Metal Induced Lateral Crystallization)

본문내용

1. TFT와 LCD는 무엇인가?
TFT란 전계효과 트랜지스터(FET:Field Effect Transistor)인 MOS(Metal Oxide Semiconducter)FET의 일종으로 유리기판위에 아모퍼스 실리콘(amorphous-Silicon) 등의 반도체박막을 형성시켜 여기에 FET구조를 만든 것을 말 한다. 박막(thin film)형성기술은 수백옹스트롬 내지 수천옹스트롬의 얇은 막을 절연기판상에 진공증착에 의해 형성하는 기술로서 처음엔 박막재료로서 CdS 등이 사용됐으나 지금은 아모퍼스 실리콘막이 주류를 이루고 있다. TFT-LCD는 Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display의 약어로 TFT를 이용해서 만들어진 액정표시를 말한다. TFT-LCD는 각 픽셀마다 하나씩 트랜지스터를 갖고 있다. 따라서 픽셀에 빛이 나게 하는데 보다 적은 전류를 소모하며, 매우 빠르게 끄고 켤 수 있다는 것을 의미한다. TFT-LCD는 CRT에 비해 시인성이 우수하고, 평균소비전력은 같은 화면 크기의 CRT에 비하면 30-40%정도이며, 발열량도 작다. 그렇기 때문에 LED(발광다이오드) PDP(플래즈마표시판) EL(전계발광표시)등의 표시부품 중 LED와 함께 가장 널리 사용되고 있으며 전자손목시계를 비롯, 각종 문자 도형표시는 물론 TV의 화면표시에까지 활용되고 있다.

참고자료

· 없음